Устройство для подгонки в номинал сопротивления пленочных резисторов из вентильных металлов

,РЕСПУБЛИК А 01 С 17/ АНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ МУ СНИДГЕЛЬСТВУ ГЖЖЬЧфСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРЙО ДЕЛАМ7 И)".3331044/18-21;,(56): 1. Прибор ППДСА. С. А. Эпштейн и др. Справочник по измеритель:;ным, приборам для радиодеталей. Л.,ф 9 нергияф, 1980, с. 148 150. 1: 2. Авторское свидетельство СССР :по заявке Н 3260795/18-21.13.03.81.(54) (57) 1УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДГОНКИНОМИНАЛ СОПРОТИВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХРЕЗИСТОРОВ ИЗ ВЕНТИЛЬНЫХ ИЕТАЛЛОВ, ,содержащее балансную схему, включаащв онтактный узел.с катодом, эта. онный резистор, компаратор с источ. Ником опорного напряжения, источник , переменного напряжения, выходы кото-рого соединены с соответствующими входами контактного узла, источник тока анодирования, вход которого со- . единен с третьим выходом:блока развязывающих диодов, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью расширении диапазона номиналов подгонки и йовошения точности подгонки резисторов, в него введены формирователь измери;. тельного тока н инвертор, причем первый вход формирователя измерительно. го тока соединен с первым входом компаратора, второй вход которого соединен с выходом инвертора, первый и второй входы которого соединены соответственно с первые и вторым выходами контактного узла, при этом выход форьщрователя измерительного тока через эталонный резистор соединен с общей шиной, а второй входс четвертым выходом блока развязывающих диодов. С:1014049 2. Устройство по п, 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что формирователь измерительного тока выполнен на операционном усилителе и транзисторе, база которого соединена с выхО дом операционного усилителя, коллектор - с вторым входом формирователя измерительного тока, эмиттер - с пер вым входом операционного усилителя Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологии изготовления тонкопленочныхрезисторов,Известно устройство для подгонки, 5резисторов аводированием о применением четырехзондовой схемы их,подключения 1.Однако быстродействие и надежность устройства относительно невысоки из-эа применения электромехани-,ческих коммутаторов (реле). Кроме,того, диапазон номиналов подгоняемыхрезисторов ограничен снизу предель-,но допустимым током источника питания и током через контактный узел.Известно также устройство дляподгонки в номинал сопротивленияпленочных резисторов из вентильныхметаллов, содержащее балансную схему 2 рвключающую контактный узел с катодом,эталонный резистор, компаратор систочником опорного напряжения, источник переменного. напряжения, выходыкоторого соединены с соответствующимн входами контактного узла, источник тока анодирования, вход которогосоединен с третьим выходом блокаразвязывающих диодов2 .Недостатком этого устройства является то, что точность подгонкирезисторов различных номиналов относительно невысока, так как мостовая схема включения эталонного и поДгоняемого резисторов имеет максималь;ную чувствительность лишь в относительно. узком диапазоне номиналов.Цель изобретения ; расширениедиапазона номиналов и повышение;точности подгонки.Поставленная цель достигается 10тем, что в устройство для подгонки.в номинал сопротивления пленочныхрезисторов из вентильных металлов,содержащее балансную схему, включающую контактный узел с катодом, эта 45,лонный резистор, компаратор с источ"ником опорного напряжения, источникпеременного напряжения, выходы которого соединены с соответствующими.и выходом формирователя измерительаого тока. 3. Устройство по пп, 1 и 2, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что кон- . тактный узел выполнен по четырех-. ;эвенной схеме, третий вход которой соединен с общей шиной, а второй вход - с катодом. входами контактного узла, источниктока анодирования, вход которогосоединен с третьим выходом блокаразвязывающих диодов, введены формирователь измерительного тока и инвертова, причем первый вход Формирователя измерительного тока соединенс первым входом компаратора, второйвход .которого соединен с выходоминвертора, первый и второй входы которого соединены соответственно спервым и вторым выходами контактно".го узла, при этом выход формирователя измерительного тока через эталон"ный, резистор соединен с общей шиной,а второй вход - с четвертым выходомблока развязывающих диодов,При этом формирователь измеритель.ного тока выполнен на операционномусилителе и транзисторе, база которого соединена с выходом операционного усилителя, коллектор - с вторым входом Формирователя измерительного тока, эмиттер - с первым входом операционного усилителя и выходом формирователя измерительного тока. Кроме того контактный узел выполнен по четырехзондовой схеме, третий вход которой соединен с общей шиной, а второй вход - с катодом.Укаэанное включение формирователя измерительного тока, протекающегочерез эталонный и подгоняемый резисторы, позволяет с большой точностью реализовать закон Ома при изменяющихся в широких пределах сопротивлениях подгоняемых резисторов, позволяетприменить четырехзондовое включениеподгоняемого резистора, что существенно повышает точность измеренияв широком диапазоне номиналов вплотьдо самых ниэкоомных резисторов,Кроме того, тавое построение устройства позволяет применять кон тактные приспособления с малыми прижимныфеь усилиями на измерительных зондах, что благоприятно скаеывается на качестве тонкопленочных резисто, филиал ППП "Патент", г. Ужгород,ул.Проектьая,4 ров (отсутствуют царапины на контактных площадках).На чертеже представлено предлага"емое устройство,Оно содержит цепь анодирования,состоящую из источника 1 переменного напряжения, регулируемого источника 2 тока аподнрования и источника ц управляющего напряжения, цепьизмерения, содержащую эталонный резистор 4, контактный узел 5, компаратор б со строб-выходом 7, формирователь 8 измерительноготока, выполненный на операционном усилителе 9с оконечным транзистором 10, блок 11развязывающих диодов,. инвертор 12, 15источник 13 опорного напряжения.Контактный узел 5 содержит катод,выходные потенциальные зонды 14,соединенные с входами инвертора 12,и токовые входные зонды 15. 20. Выход компаратора через электронный исполнительный блок (не показан)соединен с источником ц управляющегонапряжения.Для помехозащищенности примененкомпаратор б со строб-входом.Для повышения точности срабатывания уровень источника 13 опорногонапряжения взят много меньше допустимого входного синфазного напряжения.примененного компаратора.30Снятие опорного напряжения непосредственно с источника 13 опорногонапряжения, а не с эталонного резистора 4 позволяет повысить точностьподгонки, так как исключено шунтирующее влияние входа компаратора бв области наибольших номиналов.Источник ц управляющего напряжения может быть реализован для осуществления различных режимов анодирования: режим с уменьшающейся величиной тока подгонки или воздействиеразверткой напряжения (режим постоянной плотности тока).Устройство работает следующим обфаз ом.Подключается эталонный резистор 4.требуемого номинала, потенциальные14 и токовые 15 зонды контактногоузла 5 устанавливаются на контактныеплощадки 1 б подгоняемого резистора 17 50Катод 1 ц,фиксируется в электролите18 иа подгоняемый резистор 17,Так как в исходном состоянии. Йзт 7 В, где кз - сопротивлениеэталонного резистора 4, й - сопротивление подгоняемого резйстора 17,то при подаче питания на устройствочерез эталонный резистор 4 протекаетизмерительный ток1 Ооп /Вчт ю . 60Где Оо" величина опорного напряжения.Измерительный ток вызывает наподгоняемом резисторе 17, точнееВНИИПИ Заказ 3029/62 между потенциальными эондами 14,падение напряженияЗа счет инвертора 12 с Я,= 1 обанапряжения синфазно поступают на компаратор, причем Орс О .Так как устройство работает начастоте сети,то, например, при положительных полупериодах, благодарязасинхронизираванным с ними стробимпульсам происходит сравнение Ойс О , а при последующих отрицатель-,ных - подгонка за счет протеканиятока анодирования.По мере увеличения сопротивления:подгоняемого резистора 17 Оц,- Мю,компаратор 6 сработает при О0оо йищет е, Ки= й,За счет связи компаратора б систочником ц управляющего напряженияподгонка прекратится.Из рассмотрения работы устройстваследует, что падение напряжения наподгоняемом резисторе .17 не превышает опорного напряжения, благодаряэтому повышается точность срабатывания компаратора.Кроме того, независимо.от номииа"ла опорное напряжение одно и то же,следовательно систематическая ошибка срабатывания постоянна, что может быть учтено при первоначальнойрегулировке устройства,За счет контактного сопротивлениятоковых входных зондов 15 подгоняеьий резистор 17 находится под "плавающим" потенциалом относительнообщей шины ("земли"), что особенноощутимо для низкоомных подгоняежхрезисторов. Однако дифференциальноеподключение подгоняемого резистора17 к входам инвертора 12 существенноуменьшает влияние переходных напряжений на контактных сопротивлениях,что способствует более стабильнойи точной работе компаратора б,Технико-экономическая эффектив-,ность изобретения состоит в том,что- диапазон номиналов подгоняеьнх- повышается надежность работыза счет строб-входа компарацора;воэможность работать как в режиме с постоянным током уменьшающейся величины, так и в режиме постоянной.плотности тока анодирования, чтопозволяет получить оптимальную про"иэводнтельность устройства для любыхтипоразмеров и номиналов резисторов.Благодаря изобретению на одном, устройстве при минимальной переиаладке можно подгонять резисторы любыхтипоразмеров и номиналов.раж 701 Подписное