Полый катод

(71) Заявитель чно-техническое обьединение АН ССС КАТОД н рукции этого ность изгото е большая по так как для торцов общая Недостатком конс катода является слож пения катода, а такж требляемая мощность обеспечения нагрева длина нагреваемой ч а сти к Изобретение относится к конструк циям катодных узлов с полым катодом и может быть использовано в масс-спектрометрии электронной спектроскопии, в электронной и ионной микроскопии,в газоразрядных источниках света, в электронно-лучевой сварке.Известен полый катод, изготовлен ный из фольги тугоплавкого металла, в котором нагрев стенок до температуры термоэмиссии производится прямоканально, а равномерность темпера туры по рабочей части катода и на" грев торца катода обеспечивается конструкцией токоподводов и системой тепловых экранов1 1. тельно превыаает его рабочую дл Известен также полый катод, содержащий металлический цилиндр с эмиссионным веществом на его внутреннейповерхности и токоподводы 2 1.Недостатками катодов такого типаявляются их значительный внутреннийдиаметр, необходимый для нанесенияактивного слоя методом намазки, и1 Осложность конструкции. Для формиро"вания тонких пучков заряженных частиц из-за невозможности изготовитьполый катод соответствующего малого15диаметра, торец катода приходитсязакрывать диафрагмой с малым отверстием, причем диафрагма изнутри такжедолжна быть покрыта активным слоеми нагрета до одинаковой со стенками го температуры.Целью изобретения является умень.шение поперечного сечения электронного пучка, эмиттируемого катодом,и упрощение конструкции катода.991528 1Поставленная цель достигается Протекание тока в направлении,пертем, что. в полом катоде, содержа" пендикулярном оси цилиндра по двум щем металличеСкий. цилиндр с,эмисси- параллельно соединенным поверхностям онным веществом на его внутренней полуцилиндров, практически исключает поверхности и токоподводц, полый влияние магнитного поля тока накала цилиндр и токоподводы выполнены из на заряженнце частицы внутри цилиндфольги тугоплавкого металла в виде Яддвух полуцилиндров, переходящих в В качестве примера исполнения бы плоские участки, прилегающие друг ли изготовлены и испытаны опытные к другу по всей их поверхности, 16 образцы предлагаемого катода с ди-:На фиг.1 и 2 изображены варианты аметром цилиндрической полостиф конструкции катода. 50 мкм и толщиной эмиссионного слояПолый цилиндр 1 в виде микрока-20 мкм. Испытания показали, что пилляра из эмиссионного материала предлагаемая конструкция работоспозаключен в оболочку из фольги туго собна и позволяет создавать электронплавкого металла, образованную из ные пучки с р дго аз о меньшим диаметдвух полос фиг.1) или одной, сло- ром, чем известные полые катоды. женной вдвое фиг.2и соединенной формула из ретения ф об ения так что средняя часть образует обУ легающий капилляр-цилиндр 2, явля в Полыи катод, д рсо е жащий металлиющийся одновременно нагревателем и ческий ц дркий илин с эмиссионным вещестэкраном, а концы Фольги Ф 3 служат то- вом на его внутренней поверхностии токоподводы, о т л и ч а ю щ и йкоподводдми.с я тем, что, с целью уменьшения Полый катод работает следующим25 поперечного сечения электронного образом.и п ения конструкции, поНа токоподводы 3 подается напря- пучка и упрощелый илин р и токоподводы выполнены жение накала, обеспечивающее нагрев лыи ц диз фольги тугоплавкого металла в ви капилляра из эмиссионного материала о его рабочей температуры. Мате- де двух полуц дрилии ов, переходящих до его раг в плоские участки, прилегающие друг риал тугоплавкой оболочки вокруг зо вк г по всей их поверхности. капилляра выбирается с работои выхо- к дру уИсточники информации, да электронов большей, чем у веществаи и экспертизеиапазоне принятые во внимание при э капилляра с тем, чтобы в диапа 1. Пытьева М, . и др.,Б. . Высокова- рабочих температур катода эмиссия сЯтф т 34к мный ионный источник. . . т.поверхности оболочки нагревателя бы- З уу ла пренебрежимо мала. В этих услови х виях вып.1, 1964, с.1 2. 2. Дубинина 5.И. и др., олыеП нагреваемая оболочка служит одновре-д нов исп - катоды с различными активными поккрыменно экраном для электронов, испутиями, Известия А . ер.Н СССР. Се .Физискаемых внешней поверхностью эмиссическая, т.28, Р о, 19 , с," 8 64 ,1332- 1336, онного капилляра. аоИПИ Заказ 154/73аж 701 Подписно а а теЩе филиал ППП "Патент г. Ужгород, ул. Провтная,