Электроннооптическая система

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик и 991529(5)М. Кл. Н 013 918 Мкудерстеееай кавтет Опубликовано 23.01,83. Бюллетень Ь 3 вв девам изобретений и етхевтий(84) ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА 1Изобретение относится к электровакуу- мной технике, а именно к конструкции электронно-оптических систем, и может быть использовано в элементах конструкции электронных пушек, электронных миьроскопов, масс-спектрометров и других устройств, где требуется повышенная тжность установки деталей,Известно устройство, предназначенное для установки деталей по двум цилиндри ческим отверстиям с помощью двух направляющих стержней, один из которых цилиндрический, а другой ромбический 1 .Однако в подобных устройствах соединение деталей осуществимо только при наличии определенного зазора между направляющим ;ояском ромбического стерж.- ня и отверстием детали, который приводит к увеличению погрешности центровки за счет возможных угловых перемещений 20 относительно оси другого направляющего стержня.Известно также устройство, содержащее два продольных центрирующих стержня, неподвижно закрепленных в основании,направляемые детали, в которых выполыены отверстия для размещения стержней2 .Это устройство устраняет указанныйнедостаток, но при центрировании нескошких деталей, набранных в пакет, не даетвысокой точности установки из-за имеюшейся в пределах допуска неперпендикулярности поверхности центрируюших отверстийотносительно посадочного торца детали,что вызывает в пакете перекосы и деформации или же введение в соединение между стержнями и отверстиями сборощогорасчетного зазора.Целью изобретения является повышениеточности сборки электродов электроннооптических систем,Указанная цель достигается тем, чтов электронно-оптической системе, содержащей соосно расположенные электроды,в каждом из которых вне рабочей зонывыполнены диаметрально противоположныеответстня, в которых размещены центрирующие изоляционные стержни, толщина29 4менее 1,5. В случае же исполнения электродов, например, из алюминия с модулемупругости 0,7 10 фкг/смтолшина электрода не превышает 0,3 диаметра стержня.Углубление 13 снижает жесткость электрода вокруг стержней и повышает его податливость в направлениях изгиба так,что электрод получает возможность пристяжке пакета во время сборки. системыза счет упругих деформации на участкенаклоняться относительно центрируюшегостержня на угол, соответствующий допуску на перпендикулярность отверстий и темсамым самоцентрироваться,Конструкция электронно-оптическойсистемы позволяет повысить точность центрирования электродов, снизить различноговида абберации и повысить разрешающуюспособность системы. Кроме того, сопряжение центрнрующнх стержней по посадкес натягом в пределах упругости препятст-.вует возникновению в соединении тепловыхзазоров и нарушению центровки иэ-заразличия температурных коэффициентовлинейного расширения различных материапов деталей электронно оптическойсисгемы в условиях изменяющихся температур. 3 9915 электрода в области отверстий не превышает 0,3 диаметра стержней. При этом отверстия для стержней могут 6 ыть выполнены в мембранах, закрепленных на электродах. 5На фиг. 1 изображено устройство, общий вид, "на фиг. 2 - один иэ электродов; на фиг. 3 - разрез А-А на фиг. 2.Электроды 1 электронно-оптической системы (фиг. 1) установлены на основа- О нии 2 через дистанционные изоляционные втулки 3, сцентрированы изоляционными стержнями 4, например керамическими, закрепленными на основании 2 винтами 5 и стянуты в пакет винтами 6 через нажим 15 ное кольцо 7. Каждый электрод (фиг. 2) в области отверсгий имеет уточнение или мембраны 8, одно центрирующее цилиндрическое отверстие 9 и одно овальное центрирующее отверстие 10, выполненные в ЗО мембранах 8. Отверстия находятся на одной прямой 11 симметрично относительно ф оптического центра 12 и могут быть выполнены с углублением 13.Для существенного повышения точности центрирования электродов, которую возможно обеспечить конструктивно, беэ применения ручной юстнровки, необходимо исключить из сопряжения центрируюший стержень - отверстие сборочные зазь- ЗО ры и скомпенсировать допуск на перпендикулярность центрируюшнх отверстий относительно посадочной плоскости электродов без потери точности центровки, Для этого целесообразно выполнить сопряже- з 5 ние электродов с центрирующими стержнямн по посадке без зазора, компенсируя в то же время неперпендикулярность цент рируюших отверстий упругими деформациями электрода в районе стержней как мем бра ны.Это достигается в приводимом приме. ре (фнг. 3) уменьшением толщины электрода вокруг центрируюших отверстий 9 и 10 соосным с ними углублением 13 н 15 посадкой стержней 4 в центрирующие отверстия по посадке, например, с натягом.В случае исполнения стержней 4, например, из керамики 22 ХС, электродо иэ стали с модулем упругости 2,1 10 кг/ 5 /смс точностью по 6-7 квалитетам, отношение толщины диска электрода в области отверстий к диаметру стержня следует брать не более 0,1, а отношение диаметр углубления к диаметру стержня не 55 ф о р м у л а изобретения 1. Электронно-оптическая система, содержащая соосно расположенные электроды, в каждом из которых вне рабочей зоны выполнены два диаметрально противоположнык отверстия, в которых размещены центрирующие изоляционные стержни, о т л и ч а ю ш а я с я тем, что, с целью повышения точности сборки, толншна электрода в области отверстий не превышает 0,3 диаметра стержней.2. Система по п. 1, о т л и ч а ющ а я с я тем, что отверстия для размещения стержней выполнены в мембранах, закрепленных на электродах.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Картавов С. А. н др. Технологиямашиностроения. Киев, Техникаф, 1965,с. 112114,2. Орлов П. И. Основы конструиромния. М., "Машиностроение", Т. 1, 1977,с. 592 (прототип).Фж Составитель В, ГаврюшинТехред М, Надь КорректорГуиьк охненко Заказ 184/7 3 Т ВНИИПИ Гос по дела 13038, Мкраж 701 Подлисноеударственного комитета СССРм изобретений и открытийосква, Ж, Раушскан наб., д. 4/8 филиал ППП фПатент, г. Ужгород, ул. П