Способ изготовления тонкопленочных тензорезисторов

Номер патента: 1820416

Опубликовано: 07.06.1993

Авторы: Волохов, Зеленцов, Песков

МПК: H01C 17/00

Метки: высокотемпературного, тензорезистора, тонкопленочного

...К - 0,14 определяли п 1 0,2 поб, ДлЯ полУчениЯ заДанной величины .удельного поверхностного сопротивления рл число циклов. нанесения тонких резистивных слоев поб составляет 120. Отсюда число циклов нанесения резистивных слоевсовместно наносимых пленок двух материалов составляет п 1 4, 1820416При скорости вращения. карусели Ч = 60о /мин время совместного напыления резистивных пленок (3, 4) из материалов Х 20 Н 75 Ю и МР 47 ВП составило 24 с, После совместного напыления магнетронный ис точник с материалом Х 20 Н 75 Ю отключали и продолжали напыление верхнего слоя 3 из материала МР 47 ВП в течение 84 с, Затем вновь напыляли пленку 4 из материала Х 20 Н 75 Ю до получения заданной величины 10 р,реэистивного слоя, После завершения напыления...

Номер патента: 1818557

Опубликовано: 30.05.1993

Авторы: Агабабян, Пушик, Сабурин, Сердюков, Собакин, Сороколетов, Толмачева

МПК: G01L 9/04

Метки: материал, тензорезисторов, тонкопленочных

...с температурной компенсацией тена одатчика.Получение тонкопленочных тензорезисторов на основе многокомпонентного материала, как правило, осуществляетсяионно-плазменным распылением составных мишеней, приготовленных из отдельных чистых компонентов в определенноййропорции по площади с учетом их коэффициентов распыления,Для получения материала из сплава вышеупомянутого состава была приготовленасоставная мишень, выполненная следующим образом.На поверхность столика. мишени диаметром 124 мм укладывается диск германия диаметром 125 - 130 мм и толщиной 5-10мм, а на поверхности германия располагаются пластины кремния с суммарной площадь 64 - 680 от площади пластиныгермания и 60 - 72 диска из алюминия диаметром 5 мм с суммарной площадью 2-6...

Номер патента: 877292

Опубликовано: 30.10.1981

Авторы: Ванжа, Волохов, Дорогой, Максименко, Мирко, Митрохин, Мудрый, Тищенко, Школьников

МПК: F27B 15/10

Метки: газораспределительная, кипящем, печи, решетка, слое, сыпучего, термообработки

...целесообразно снабжать установленными на внутренней и внешней поверхностях и выступающими с торца металлическими пластинами для перекрытия щели между торцами металлических вставок, а донные части вставок выполнять с конфигурацией в плане в виде прямоугольника,или квадрата, или круга. На фиг. 1 изображена предлагаемаярешетка с металлическими вставками,донные части которых выполнены сконфигурацией в плане в виде прямоугольника, поперечный разрез, нафиг. 2 - то же, в плане, на Фиг.3 -разрез А-А на фиг. 1, на Фиг.4 - металлическая вставка, донная частькоторой выполнена с конфигурацией вплане в виде прямоугольника, на фиг.5 решетка со вставками, донные части,которых выполнены с конфигурацией вплане в виде квадрата, в плане" нафиг,б - то...

Номер патента: 1200100

Опубликовано: 23.12.1985

Авторы: Гудим, Кикалишвили, Корточенко, Лукачевский, Сажин

МПК: F26B 17/10

Метки: дисперсных, псевдоожиженном, слое, термообработки

...8, выполненная с возможностью поворота на осях 9. Сушильная камера 1 снабжена соплами 10 для подачи дополнительного теплоносителя в объем камеры. Сопла 10 установлены на боковых сторонах основания камеры навстречу потоку материала посредством шаровых шарниров 11, позволяющих изменять угол наклона сопла по отношению к боковой поверхности основания. Сопла 10 соединены с магистралью,12. Кроме того, камера 1 снабжена патрубком 13 для отвода отработавшего теплоносителя и патрубком 14 подвода теплоносителя,Установка работает следующим образом.Обрабатываемый дисперсный материал поступает в аппарат по патрубку 3 и образует на газораспредели 1200100тельной решетке 8 взвешенный слойматериала. Готовый продукт выводится из аппарата по патрубку 4...

Номер патента: 144509

Опубликовано: 01.01.1962

Авторы: Крымский, Рогов

МПК: C21D 1/10, C21D 1/673, C21D 9/46

Метки: пластин, правки, термообработки

...с одной операции на другую, вневмопривода пресса и электропривода. Привод установки осуществляется следующим образом (см. фиг. 3). Электродвигатель 10 через вариатор 11, шестерни 12 и 13 и червячную передачу 14 и 15 вращает вал 1 б, на который насажено водило 17 и кулачок 18 для управления пневмоприводом пресса 19, На водиле 17 закреплен ролик 20, который при каждом обороте вала 1 б входит в паз мальтийского креста 21 и поворачивает его и насаженную на один вал с ним шестерню 22, а следовательно, и шестерню 23. Поворот144509шестерни 22 и 23 на 1/4 оборота приводит к перемещению обрабатываемых пластин по загрузочному и рабочему столам на очередные операции, так как на их валах закреплены стальной и медный четырехперые ножи 8 и 9,...