Травильный раствор
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 20,02,81 (21) 3250270/29-33с присоединением заявки Нов(23) ПриоритетОпубликовано 3009.82, Бюллетень Йо 36Дата опубликования описания 30.09.82 Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик п 1962233 ф 1511 М. Кл.з С 03 С 15/00Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(54) ТРАВИЛЬНЫИ РАСТВОР 1 1 25 ненты 1 2 . 3 60 40 НР ЗО К СО, 20 10 18 Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, а именно к обработке поверхности стеклянной подложки травлением.Известен травильный раствор 1 , включающий, вес.%:НР 19-32ИНАР 19-32ОстальноеЭтот раствор используют при изготовлении фазовых рэндомизирующих масок путем создания рельефа. Глубина вытравливания составляет 0,03 мкм.Наиболее близким к предлагаемому по составу является травильный раствор 2), включающий, вес.ч:НГ 10Кгсо 3ИНФО 3Указанная травильная смесь применяется для матирования стекол с высоким содержанием Вг 03. Однако этот раствор не может обеспечить заданный класс шероховатости поверхности,Цель изобретения - обеспечение шероховатости 0,32-0,40 мкм.Указанная цель достигается тем, что травильный раствор, включающий НГ, ННННГ и КгСОз, дополнительно со держит КГ НГ и,КгСтгО при следующем соотношении комйойентов,вес.В:НЕ 40-60%14 Е 10-30КгСОз 10-20КГ НГ 3-5КгСтгО т 5-10Введение в комплекс КР НР и КгСЩ обеспечивает высокое качество получаемой поверхности, ее тонкозернис тую одноРодную структуру, регламентирует получение параметра шероховатости йо 0,32-0,40.От качественного состояния поверхности стеклянных или кварцевых подложек, на которые наносится микропленка, зависит в конеином итоге и качество изготавливаемого в целом полупроводникового прибора.В таблице приведены составы травильного раствора. Компо- Содержание, вес.Ф, в составах22 Составитель О. СамохинаТехред М. НадьКорректор Г, Решетник Редактор Ю, Ковач Заказ 7418/34 Тираж 508 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4 Компо- Содержание, вес., в составах П р и м е ч а н и е. Шерохова-тость обработанной поверхности всоставах 1-3 составляет 0,36, 0,32и 0,40 мкм соответственно. 5 Процесс обработки заключается в следующем.Пластины из стекла, в том числе кварцевого, обезжиривают в 5-ном растворе фтористоводородной кислоты НР, далее помещают в травильную смесь предлагаемого состава и обрабатывают при 60-70 С в течение 7- 10 мнн. Затем детали извлекают из раствора, нейтрализуют в 3-5-ном растворе аммиака, промывают последо.вательно в проточной и дистиллированной воде и просушивают в сушильном шкафу 5-7 мин при 50-70 С. Использование изобретения в полупроводниковой технике дает возможн 1 эсть улучшить качество изготавливаемых приборов и заменить дорогостоящий процесс механической обработки поверхности стекла на химический.Приборы с использованием подложек, обработанных предлагаемым составом, найдут применение в медицине, электровакуумной косщеческой технике,электронике. формула изобретенияТравильный раствор, включающийНР ИНАР и К 1 СОЗ, о т л и ч а ющ с я тем, что, с. целью обеспещийс. чения шероховатости 0,32-0,40 мкм,он дополнительно содержит КР НРи К СтСт 07 приследующем соотношениикомпонентов, вес.%;НР 40-60ИНАР 10-30К 2 СОЗ 10 20КР;НР 3-5К 1 СгЪО т 5-10Источники информации,принятые во внимание прии экспертизе1. Авторское свидетельство СССР9 703513, кл. С 03 С 15/00, 1977.2. Авторское свидетельство СССР256188, кл. С 03 С 15/00, 1967.
СмотретьЗаявка
3250270, 20.02.1981
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3726
КОНДАКОВА ЛЮДМИЛА ВЛАДИМИРОВНА, МИХАЙЛОВА ВЕРА АЛЕКСАНДРОВНА, КАБАЕВА ИННА СЕРАФИМОВНА, ТЕРЕНКОВА ЕВГЕНИЯ МИХАЙЛОВНА
МПК / Метки
МПК: C03C 15/00
Метки: раствор, травильный
Опубликовано: 30.09.1982
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-962233-travilnyjj-rastvor.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Травильный раствор</a>
Способ непрерывного травления меди в рецикле с электрохимической регенерацией травильного раствора
Номер патента: 1514829
Опубликовано: 15.10.1989
Авторы: Атанасянц, Кочетков, Кучеренко, Туманов, Шумилов
Метки: меди, непрерывного, раствора, регенерацией, рецикле, травильного, травления, электрохимической
...6 обеспечивалитремя выпрямителями РГТ, подключеннымй параллельво,-3Скорость протока 6 10 м/с является минимальной, которую смогли получить на полупроизводственном комплексе оборудования травильная машина - регенератор.За счет постоянной циркуляциираствора и выделения джоулева теплапри регенерации раствор нагреваетсядо 35 С, Данная температура являласьрабочей температурой раствора,Скорость травления меди оценивалипо времени, необходимому для полного 55стравливания медной Фольги с незащи-,щенных резистом участков ПП,Определение катодного выхода потоку меди проводили весовым методом - по массе, выделенной из травильного раствора металлической меди.П р и м е р 1, Образец печатных плат (в соответствии с известным способом) помещали в...
Способ регулирования процесса холодной прокатки полос в валках с шероховатой поверхностью
Номер патента: 969339
Опубликовано: 30.10.1982
Авторы: Акишин, Дитц, Козлов, Куликов, Мазур, Ноговицын, Сосковец, Чернов
МПК: B21B 1/26
Метки: валках, поверхностью, полос, прокатки, процесса, холодной, шероховатой
...в следующем.Для обеспечения условия постоянства прокатки и получения полос с минимальной 5 разнотолшинностью по ширине и высокой плоскостностью, как показано выше, тре-. буется регулирование величины обжатия в функции изменения величины шероховатости валка, Эту зависимость можно 1 О представить в следующем виде:М сК(где , - начальная величина относитепь- И- ного обжатия;К - начальная величина шероховатосОо- ти валков, оцениваемая параметром по ГОСТ 2789-73,Преобразуя эту зависимость, получим1 о 25Обозначая О= - , окончательноимеемре ф ЗОКак уже указывалось ранее, в приведенных выше формулах Ь и ЬКс представляют абсолютные значения (по. модулю) изменений величины шероховатости поверхности валка и относительного35 обжатия.Показатель И...
Способ получения шероховатой поверхности на резиновых изделиях, например, подошвах
Номер патента: 93202
Опубликовано: 01.01.1952
Автор: Курочкин
МПК: A43D 37/00
Метки: изделиях, например, поверхности, подошвах, резиновых, шероховатой
...ости на резиновых ючается в том, что ют шкурками на ткаабразивными зерна- этого способа явн требует большого тоящей наждачной Предлагаемый с применения нажда полнительной опера ние подошвы; шер ность, подвергающ получается непоср цессе формования форме,пособ не требует чной шкурки и дэции на шершсваоховатая поверхаяся склеиванию едственно в проподошвы в прессИзвестный спо ховатой поверхн подошвах закл подошву шершу невой основе с ми. Недостатком ляется то, что о расхода дорогос шкурки. длагаемого способа ом, что поверхность тор ая формует новы, приклеиваемую снабжают абразив- создающими неровподошвы,Сущнэсть пре заключается в т прессформы, ко верхность подош к верху обуви, ными зернами, и 1 о поверхност Предмет изэбретения Спосэб...
Бесконтактный фотометрический способ измерения высоты шероховатости поверхности прозрачных образцов
Номер патента: 872959
Опубликовано: 15.10.1981
Автор: Скрелин
МПК: G01B 11/30
Метки: бесконтактный, высоты, образцов, поверхности, прозрачных, фотометрический, шероховатости
...о определяемые, напр формулами Френеля, воначальном положе разца;Т 1 - коэффициент пропускания4измеряемой поверхности итолщи образца в первоначальном его положении;Т " сигналы от диффузного и1полного потоков, отраженных от поверхностей в первоначальном его положении, , г - коэффициенты зеркальногоотражения измеряемой и противоположной изповерхностей образределяемые, напримформулами френеля,перевернутом положеобразца;У - коэффициент пропуспротивоположной измой поверхности и ний за счет искажений, вносимых слоем при воспроизведении микрорельефа, и в ряде случаев делает непригодными образцы для эксплуатации.Целью изобретения является повышение точности и упрощение процесса измерения.Поставленная цель достигается тем, что после...
Способ измерения касательного напряжения на шероховатой поверхности, обтекаемой турбулентным потоком
Номер патента: 964282
Опубликовано: 07.10.1982
МПК: F15D 1/06
Метки: касательного, обтекаемой, поверхности, потоком, турбулентным, шероховатой
...продольной скорости и расстояние У от максимума до стенки, .Измеряют значение ффО средней продольной скорости нарасстоянии от стенки У. Значения0, У, у и р подставляют в соотношение (1) и методом подбора опреде"ляют касательное напряжение на стен-. фВке щ например, по соответствующейпрограмме в ЭВМ.Причем возможно одновременное измерение среднеквадратичной пульсациипродольной скорости и средней прадоИльной скорости одним и тем же датчиком, например термоанемометром, измеряющим одновременно обе эти величины, или измерение указанных величин разными датчиками последовательно во времени.Можно также измерять только среднюю продольную скорость в пристенной части слоя, определяя излом профиля скорости и расстояние до него от стенки УВ...
Предыдущий патент: Глазурь
Следующий патент: Способ очистки стеклянных ампул и устройство для очистки стеклянных ампул
Случайный патент: Штукатурная машина