Интегральный диэлектрический волновод

Номер патента: 1736304

Опубликовано: 20.03.1998

Авторы: Валеев, Волк, Воротилов, Петровский

МПК: H01L 21/324

Метки: диэлектрического, изолирующего, интегральных, металлизации, многоуровневой, планаризации, слоя, схемах

Способ планаризации изолирующего диэлектрического слоя многоуровневой металлизации в интегральных схемах, включающий нанесение плазмохимическим методом на поверхность интегральной схемы с металлизацией первого слоя диоксида кремния, последующее нанесение пленкообразующего спиртового раствора тетраэтоксисилана, отжиг при 100-150oC при нагревании со стороны подложки с образованием планаризующего слоя диоксида кремния, плазмохимическое травление этого слоя, нанесение второго слоя диоксида кремния, отличающийся тем, что, с целью повышения качества планаризации за счет устранения растрескивания и отслаивания слоев диоксида кремния, нанесение пленкообразующего раствора производят при температуре подложки 40-60oC, а отжиг...

Номер патента: 1762334

Опубликовано: 15.09.1992

Авторы: Лысенко, Мардилович, Мухуров, Сидоренко

МПК: H01J 9/02

Метки: вакуумных, высокотемпературных, диэлектрических, интегральных, схем

...способные удерживать молекулярный СО 2,При добавках в З -ный раствор Н 2 С 20 менее 0,2 Н 2304 после отжига при Т1100 К диэлектрические детали содержат включения как щавелевой, так и серной кислот, При увеличении концентрации Н 2304 от 0,4% и вплоть до 4 о , можно добиться, что в решетку будут внедряться только ионы серной кислоты, Однако при таком содержании Н 2304 в электролите формируется оксид обладающий, особенно после отжига, очень низкими прочностными характеристиками (в связи с этим такой оксид совершенно не пригоден для изготовления диэлектрических деталей для высокотемпературных ВИС) и содержащий большое количество сорбированной воды. Только добавки Н 2304 в количестве 0,2 - 0,4% позволяют формировать диэлектрические...

Номер патента: 253188

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Вайнберг, Дубицкий, Кузнецов, Павельев

МПК: G01B 21/08, G01R 27/28

Метки: внутреннего, диэлектрического, металлической, покрытия, средней, толщины, трубы

...диапазоне толщнн покрытий. 30 На черттройство У го способа.От источника СВЧ-колебаний генератора 1 энергия вводится в контролируемую трубку 2. В трубе, рассматриваемой как волновод, возбуждаются бегущие волны, Тип возбуждения волны выбирается в зависимости от длины и диаметра контролируемой трубы и толщины покрытия, В каждом случае измерения (то есть для каждого типоразмера трубы и каждой толщины, покрытия) может быть ттодобран оптимальный тип волчины так, чтобы получить оптимальную точность контрольной аппаратуры. Тип волны выбирают такой, чтобы изменение фазы волчины, прошедшей через трубу с даиным,номером сортировочной группы по контролируемой толщине покрытия, отличалось от изменения фазы волны, прошедшей через контролируемую...

Номер патента: 464436

Опубликовано: 25.03.1975

Авторы: Васильев, Громов-Бархин, Копысов

МПК: B23Q 15/00

Метки: диэлектрических, металлических, покрытий

...в направлении подачи, на которое зона обзора датчика выступает за периферию режущего инструмента, равное длине, на которой происходит плавный переход поверхности диэлектрического покрытия над выступом ца поверхности металлического изделля, ял. Зона обзора - поверхность, огкругом радиусом Я, на которой дамещения обладает требуемой чувсстью. Зона обзора должна бытьнесколько больше площади основапов.Датчики перемещения 1 подключены через блок выбора максимального сигнала 2 ко входу блока управления поперечной подачей д, осуществляющего управление механизмом поперечной подачи 4 режущего инструмента 5, Сигналы с датчиков перемещения 1 поступают на вход блока выбора максимального сигнала 2. Блок выбора максимального си464436 Предмет...

Номер патента: 998090

Опубликовано: 23.02.1983

Авторы: Громов-Бархин, Копысов, Кублицкая

МПК: B23Q 15/00

Метки: диэлектрических, металлических, покрытий

...линию 21 задерж"ки к другому входу триггера 18.Кроме того, установлен блок 22 фиксации оборота иэделия 23, представляющий собой расположенный на шпинделеустройстваобыкновенный диск с двумяотверстиями, напротив которых имеютсядва фотодиода. Выходы этих фотодиодовподключены к входам триггера,Выход триггера берется с его правого плеча.В течение почти полного оборотаизделия на выходе триггера имеетсяотрицательный потенциал, а в течениенебольшого промежутка времени - положительный.Выход этого блока подключен к другим входам схемы И 15, схемы ИЛИ 19 идискриминатора-накопителя 13.Устройство работает следующим образом.Рассмотрим работу устройства в момент, когда глубина резания большедопустимой.Сигнал с датчиков 2 перемещаетсячерез...