Способ изготовления фольговых тензорезисторов

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик н 1194 7635(23) ПриоритетОпубликовано 3007,82. Бюллетень М 28 Дата опубликования описания 30.07.82 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(71) Заявитель аучно-исследовательский и конструкторский ин спытательных машин, приборов и средств измере я мас(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОЛЬГОВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ бретен ется с нзорез что по олитог к друг подсуш Изобретение относится к измерительной технике, в частности к технике тензометрических измерений.Известен способ изготовления тензорезисторов, заключающийся в формировании подложки из клея в жидкой фазе непосредственно на фольге путем нанесения его с помощью фильеры, валика или кистью с последующей сушкой на воздухе и термообработкой в термостате, затем покрывают другую сторону фольги Фотореэистом, производят фотолитографию и травление (11.15Однако этому способу присущие скручивание пакета иэ-за большой разницы в коэффициентах линейного расши- . рения фольги и клея, поэтому заготовки фольги необходимо закреплять на специальных сетках, на которых.они проходят термообработку и последующие операции, что снижает производительность труда.Наиболее близким к иэо ия по технической сущности явля пособ изготовления фольговых те исторов заключающийся в том, следовательно производят фот рафию на одной стороне фольги, ой стороне фольги через слой ен клея присоединяют подложку,рмообрабатывают и травят (2),Недостатком этого способа является малая производительность трудаиз-за длительности процесса сушки итермообработки, требующего длительной выдержки пакета заготовок тензорезисторов под прижимом.Цель изобретения - повышение производительности и улучшение метрологических характеристик.Поставленная цель достигается тем, что в способе изготовления фольговых тенэорезисторов, заключающемся в том, что производят Фотолитографию на одной стороне Фольги, к другой стороне фольги через слой клея присоединяют подложку, травят и термообрабатывают, присоединение подложки к фольге и травление производят при жидкой Фазе клея, а затем термообрабатывают.Способ осуществляется следующим образом.фольгу для очистки пропускают через ряд ванн, сматывая с рулона. Затем в процессе перемотки наносят на поверхность фольги Фоторезист, например, вытягивая из раствора, осуществляют копирование дискретным методом, сохраняя целостность фольги,зи Составитель В. СавичевРедактор С. Тараненко Техред Л. Пекарь Корректор Г, Решетник Тираж 614 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Заказ 5613/61 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 проводят в непрерывном режиме проявление и дубление, Далее, также в непрерывном режиме, производят прикатку фольги к жидкому клею, нанесенному на подложку, и травят. После травления, когда значительная часть фоль ги удалена и открыт доступ к выходу растворителя, осуществляют термообработку.Присоединение подложки к фольге в ходе выполнения операции травления, 1 О осуществляемое за счет снл сцепления жидкого клея, приводит к качественно новому эффекту - возможности осуществления непрерывного технологического процесса,в котором вспомогательное время практически отсутствует. Это позволяет в несколько раэ повысить производительность и сократить количество специального оборудования и одновременно улучшить метрологические характеристики типоразмеров.20 Способ изготовления фольговых тензорезисторов, заключающийся в том,что производят фотолитографию на одной стороне фольги, к другой сторонефольги через слой клея присоединяютподложку, травят и термообрабатывают,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, сцелью повьааения производительности иулучшения метрологических характеристик, присоединение подложки к фольгеи травление производят при жидкойфазе клея, а затем термообрабатывают.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Технологический процесс изготовления фэльговых тензореэисторовНИКИМП. 1967, с. 33-48,2. Авторское свидетельство СССРР 316922, кл. С 01 В 7/18, 1971