Способ изготовления фольговых тензорезисторов

: КЯФЛКРНРЕСПУБЯ В ЗОБР ло гвэдАРстеенньй комитет сссПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТМР(56) 1. Авторское свидетелцство СССйф 725092,.кл. О 01, В 7/18, 19782, Авторское свидетелцство СССРУ 744221, кл. 6 01 6 7/20 1978(54)(57) спосов изготоВления фОльгоВНХ ТЕНЗОРЕЭИСТОРОВ, заключавМййсяв том, что на одну из поверхностей, 1019230 Д тензочувствителцного элемента, пред"назначенную для соединения с иссле"дуемым объектсж, наносят электроизо"ляционный слой полиамидоимиднаго ла"ка и термообрабатывавт,этот слой,о т л и ч. а в щ и й с я тем, что,с целью повыщения. стабильности метро"гических. характеристик тензорезисторов, на заготовку из полиимид- Р ной пленки наносят слой клея на основе бутадиенакрилонитрилцного каучука, термообрабатывавт их совместно. при 176+10 С в теченйе 40+5 мин, накладывают заготовку на другую поверхностц тензочувствителцного элемента и прессую 2 т при 176 й 5 оС, давле- рнии 15+2 кгйм ., выдерщке 60+15 мин. ф10192Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензометрическим измерениям.Известен способ изготовления Фольговых тензорезисторов, заключающийся в том, что на одну из поверхностей тензочувствительного элемента иэ константановой Фольги накладывают адгезивную сторону полиимидной пленки, затем сверху и снизу прокладывают их медной Фольгой, помещают между стальными пластинами и термообрабатывают при 275+30 ОС, давлении 15- 20 кг/см 2, и выдержке 10-30 мин 1 1 1.Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является способ изготовления Фольговых тензореэисторов, заключающийся в том, что на одну из поверхностей тензочувствительно" го элемента, предназначенную для со" единения с исследуемым объектом, наносят электроизоляционный слой полиамидоимидного лака и термообрабатыва" ют этот слой 20 мин при 8 ООС и 30 мин при 250 оС 2Недостатками указанных способов ,являются низкая устойчивость к воздействию влаги и агрессивных сред, а также малая механическая прочность так как чувствительный элемент неза щищен, что приводит к нестабильности метрологических характеристик тензо" резисторов.Цель изобретения - повьаение ста" бильности метрологических характерис тик тенэорезисторов.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления Фольговых тензорезисторов, заключающемуся в том, что на одну из поверхностей 40 тенэочувствительного элемента предназначенную для соединения с исследуемым объектом, наносят электроизоляционный слой полиамидоимидного лака и термообрабатывают этот слой, на заго-товку из полиимидной пленки наносят слой клея на основе бутадиенакрилонит" . рильного каучука, термообрабатывают их совместно при 170+10 С в течение 40+5 мин, накладывают заготовку на О другую поверхность тензочувствительного элемента и прессуют,при 170+5 фС, давлении 15+2 кг/см и выдержке 60+ М 5 мин. Т а б л и ц а Иве щ а п е 4 в Давле" Адгезияние,кг/см Температура, С Время,мин Неудовлетворительная Хоровая Хорошая Хоровая Неудо.влетворительная 20 Предложенным способом были изго" 55 овлены 5 партий тензорезисторов типа КФч и КФ 5. Полученные тензореэисторы при испытании в среде с 98-ной влажнос. Способ осуществляют следующим образом.На однойиз поверхностей тензочувствительного элемента из константано 2вой Фольги, прошедшей очистку, отжиг, и процессы ФотолитограФии и предназначенной для соединения с исследуемым объектом, наносят электроизоляционный слой полиамидоимидного лака ПАИИ, Затеи производят термообработку при режиме: температура 1 = 80 оС, время выдержки ь = 30 мин, температура 4= = 250 С, время выдержки с,= 30 мин. Скорость подъема температуры 2,5 Со в минутуеЗатеи на заготовку иэ полиимидной пленки ПИнаносят слой клея на основе бутадиенакрилонитрильного каучука, термообрабатывают их совместно при ПО+10"С в течение 40+5 мин, сверху и снизу прокладывают их антиадгеэивной пленкой, двумя листами ватмана и по" мещают между стальными калиброванными пластинами. Набранный пакет помещают в пресс, в котором создается давление 15 кг/см 2. Пресс помещают в нагревательное устройство, повышают температуру до 170 С и выдерживают бО мин, затем проводят остывание на воздухе.Примеры режимов прессования приведены в табл, 1.( поЛиеимидное Наименование характеристик5 Тензорезисторбеэ покрытия покрытие Предельная относительная деФормация., 2Надежность,циклы 0,3 10 Таблица 2 тНаименование характеристик Тензоретэисторбеэ по" Тензоре"эисторыполиимидноепокрытие крытия Предельное отклонение сопротивления от но" минального, Ф-0 в 2 Составитель А. БосойРелактоо Т. Кчгоыщева Техоев О.НецеКоооектор Е. РощкоееЯеетей иветттюитеюттюетюЕтЬТЕеетааЕ Е ее ва т е а ю е в т и е в т т т и ав те иЗаказ 3666/333 е Тираж 602 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035 Москва Ж-ЗБ Раущская наб. 8. 4/тюаюттваютееЪеаввавюетииЕетеаюаетаетееюещететив тфилиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, ч.тью сохранили свои первоначальные характеристики в течение 500-1000 ч, в отличие от тензорезисторов с полиимидной основой без покрытия, вышедших из строя через 5 ч.Наличие защитной пленки улучшает также и метрологические характерис" тики, делает их стабильными в щиро" ком диапазоне статических и динами" ческих деформаций.Сравнительные данные характеристик .тензорезисторов КФ 4 ( полиимидное покрытиеи тенэореэисторов без покрытия представлены в табл.2. Таким образом, преимуществами пред" ложенного технического решения являются повышение механической прочности тензорезисторов, повышение устой" чивости к воздействию влаги .и агрессивных сред, повышение термостабильности, т.е. возможность длительнойо работы в диапазоне температур (-.200- +300 С), а также повышение стабильности характеристик тенэорезисторов в широком интервале статических и динамических деформаций.