Интерферометр для измерения перемещения

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциапистическихРеспублик ит)947636(61) Дополнительное к авт. саид-ву- (22) Заявлено 22.12. 78 (21) 2699559/25-28 с присоединением заявки М 9(511 М, Кп.з С 01 В 9/02 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(0888) Дата опубликования описания 3007. 82(72) Автор А.Л. Старков изобретени 1) Заявитель ститут электроники АН Б ско 54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМВЦЕНИЯ к контроль=и можетности т для ля- рен гоите изсем а являчностьости к-45 -басе гипо"авлени О очннкте- делиник 5, е моно-т ржи тзлуч2, сотопрен в Изобретение относитсяно-и змеритель ной техникебыть использовано, в частизмерения перемещенияИзвестен интерферометр, содерщий источник монохроматическоголучения, телескопическую системусветоделительную пластину, два уковых отражателя, две диафрагмыфотоприемника для регистрации инФеренционной картины 1).Недостатком интерферометрнедостаточно высокая торения из-за чувствительнр юстировке. Наиболее близким к изобретению п технической сущности и решаемой задаче является интерферометр для измерения перемещения, содержащий посл довательно расположенные источник монохроматического излучения, телес копическую систему и светоделитель, делящий излучение на два потока, в одном иэ которых расположены оптиче ки связанные диафрагма и Фотоприемник, а в другом - последовательно установленные по ходу излучения отражатель, связанный с объектом, диафрагма и фотоприемник (2,Недоста яв тся недост ме ия.Цель изобретения - повышение точости измерения.Указанная цель достигается тем, то светоделитель и отражатель выолнены идентично в виде моноблокапрямоугольной усеченной призмы полупрозрачным отражающим покрытина гипотенуэной грани и углом при ершинеВтптй тП ти где 1 " угол между нормал ю ктенузной грани и апр ем перемещения;и - показатель преломления приэ 2 мы, и ориентированы друг от- Ю носительно друга таким образом, что для подающего излучения гипотенуэная грань одного из них является выходной, а другого - входной.На чертеже Дана принципиальная схема интерферометра.Интерферометр соде ист1 монохроматического и ения лескопическую систему вето тель 3, диафрагму 4, Ф ием светоделитель 3 выполн вид947636 3 30 Н. Захаренекарь Составитель коактор С, Тараненко Техред Л, П Корректор Г. Решет каз 5613 Тираж 614 ВНИИПИ Государств по делам изобре 035, Москва, Ж, Поомит етаоткрытийя наб.,исноСР нног ений Рауш/5 Филиал ППП Патент, г. ужгорОд, ул, Проектная, 4 блока из прямоугольной усеченной призмы с полупрозрачным отражающим покрытием на гипотенузной грани, причем его выходная гипотенузная грань расположена под углом, близким 45 ф, диафрагму б, фотоприемник 7, 5 аналогичную конструкцию и ориентацию имеет отражатель 8, у которого гипотенузная грань является входной и который жестко связан с перемещающимся объектом. (ОИнтерферометр работает следующим образом.Пучок света от источника 1 моно- хроматического излучения расширяется телескопической системой 2 и разде(5 ляется светоделителем 3 на два потока; рабочий (прошедший) и эталонный (отраженный во внутрь стекла). Рабочий поток падает на отражатель 8, преломляется на входной грани и воз вращается параллельно самому себе. Эталонный поток, аналогично отразившись от граней полного внутреннего отражения, вновь возвращается на светоделительную поверхность, где сме" мивается.с рабочим потоком.Таким образом оба потока частично направляются на фотоприемник 5, а частично - на фотоприемник 7.Диафрагмы .4 и б вырезают участки интерференционных полос, сдвинутых друг относительно друга на 0,25 их ширины.Формула изобретенияИнтерферометр для измерения перемещения, содержащий последовательно ;35 расположенные источник монохроматического излучения, телескопическую систему и светоделитель, делящий излучение на два потока, в одном иэ которых расположены оптически связанные диафрагма и фотоприемник, а в другом - последовательно установленные по ходу излучения отражатель, связываемый с объектом, диафрагма я фотоприемник, о т л и ч а ю щ и й - с я тем, что, с целью повышения точности измерения, светоделитель и отражатель выполнены идентично в виде моноблока иэ прямоугольной усеченной призмы с полупрозрачным отража" ющим покрытием на гипотенузной грани и углом при вершине4 , ( 1371и где 1 - угол между нормалью к гипотенузной грани и направлением перемещения;и - показатель преломления призмы,и ориентированы друг относительнодруга таким образом, что для подающего излучения гипотенузная граньодного изних является выходной, адругого - входной,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Коломийцев Ю, В. Инте рферометры,Л., 1967, с. 191.2, Патент ФРГ 9 2207722,кл, 6 01 В 9/02, 1975 (прототип).1