Способ изготовления фольговых тензорезисторов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
1 ц 928426 Союз СоввтсинкСоцналнстнчвсинаРеспублик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ,8 (088,8) пп делан изебретеннк к открытейОпубликовано 15,05,82., Бюллетень ЭВ 18 Дата опубликования описания 15,05,82 С, А. Николаева, Ф. А. Гордеева, Ю. М, Базжин, В, А.Опыта, О. Е. Конева, В. Я, Агароник и В. М, Розонова(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОЛЬГОВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в производстве фольговых тенэорезисторов,Известен способ изготовления фольговых тенэорезисторов, включающий отжиг фольги иэ железохромоалюминиевого сплава и фото. литографическое изготовление на ней топологии тензореэистора 1) . Недостатки известного способа изготовле. ния фольговых тензорезисторов состоят в сложности технологии и низкой термостабильности тензорезнсторов в диапазонене охватывающем низких температур,Ъ Наиболее близким к изобретению техни. ческнм решением является способ изготовле. ния фольговых тензорезисторов, включающий отжиг фольги из сплава платины, палладия и иридия и фотолитографическое изготовление на ней топологии тензорезистора 21Недостаток этого способа изготовления тен. зорезисторов заключается в низкой термоста. бильности тенэорезисторов. Цель изобретения - повышение термостабильности тензореэисторов в диапазоне температур от - 200 до +700 ОС.Цель достигается тем, что согласно спосо.бу изготовления фольговых тензорезисторов,включающему отжиг фольги и фотолитографическое изготовление на ней топологии тензореэистора, используют фольгу из ннкельмолнбденового сплава, легированного 1,8 -;2,2 вес,% алюминия и .2,5 - 2,9 вес.% хрома,а отжиг проводят в вакууме при 440 - 480 Св течение 2-3 ч. Способ изготовления фольговых тензорезисторов осуществляется следующим образом,Три нартни фольги из ннкельмолибденового сплава, легированной 1,8 - 2,2 вес.% алю. минна и 2,5-2,9 вес,% хрома, обезжиривают в бензине и отжигают в вакуумной печи первую партию при 480 С в течение 2 ч, вторую партию при 460 С в течение 2,5 ч и третью партию при 440 С в течение 3 ч. Подготовленную фольгу затемподвергают процессом фотолитографии, формируя на3ней рисунок тензорезисторов, н наклеивают на стальные пластины.Изобретение позволяет упростить технологию изготовления фольговых тензорезисторов, повысить термостабильность тензореэис. торов.в диапазоне температур от -200 до +700 С и повысить надежность и воспроизводимость характеристик фольговых тенэореэис торов. Способ изготовления фольговых тензорезис.торов, включающий отжиг фольги и фотолиСоставитель Ю, ГерасичкинТехред Ж. Кастелевич Корректор В. Бутяга Редактор О, ПерсиянцеваЗаказ 3250/65 Тираж 758 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб д. 4/5филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4 Формула изобретения 928426 4тографическое изготовление на ней топологии тенэореэистора, о т л и ч а ю щ и й.с я тем, что, с целью повышения термостабильности тенэореэисторов в диапазонетемператур от -200 до +700 С, используютфольгу иэ никельмолибденового сплава, легированного 1,8 - 2,2 вес.% алюминия и 2,5 -2,9 вес.% хрома, а отжиг проводят в вакууме при 440-480 С в течение 2-3 ч.1 Е Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССР Нф 185528,кл. Н 01 С 17/00, 1960.2, Патент Великобритании И 1047412,кл. Н 01 С 17/00, 1966 (прототип).
СмотретьЗаявка
2885975, 26.12.1979
НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ И КОНСТРУКТОРСКИЙ ИНСТИТУТ ИСПЫТАТЕЛЬНЫХ МАШИН, ПРИБОРОВ И СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЯ МАСС
НИКОЛАЕВА СВЕТЛАНА АЛЕКСЕЕВНА, ГОРДЕЕВА ФАИНА АЛЕКСАНДРОВНА, БАЗЖИН ЮРИЙ МИХАЙЛОВИЧ, ОЛЬША ВЯЧЕСЛАВ АЛЕКСАНДРОВИЧ, КОНЕВА ОЛЬГА ЕГОРОВНА, АГАРОНИК ВЛАДИМИР ЯКОВЛЕВИЧ, РОЗОНОВА ВЕРА МИХАЙЛОВНА
МПК / Метки
МПК: H01C 17/00
Метки: тензорезисторов, фольговых
Опубликовано: 15.05.1982
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-928426-sposob-izgotovleniya-folgovykh-tenzorezistorov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления фольговых тензорезисторов</a>
Предыдущий патент: Кабельный ввод
Следующий патент: Широкополосный трансформатор
Случайный патент: Измеритель вязкости жидкости