Способ изготовления фольговых тензорезисторов

О П И С А"Н И Е.(11712651ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(51) М. Кл.6 01 В 7/16 аявкисоединением Гасударственный комнт СССР) Приоритет убликовано 30,01.80, Бюлл та опубликования описан(088.8) по делам наобретеннй н открытнй(71) Заявител ий и ибор торскии институтств измерения масс Научно-исследовател ытательных машин,СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ф ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ ОВЫХ ыш ение тора за отивлеИзобретение относится к области измерительной техники, в частности к измерениям механических величин электрическими параметрами.Известен способ изготовления печатных б форм с использованием фоточувствительной эмульсии, заключающийся в том, что наносят на очищенную поверхность заготовки фоточувствительный раствор поливинилового спирта, фоторепродуцируют нане сенное покрытие, задубливают его и вытравливают форму в водном растворе хлорного железа, промывают в воде, просушивают и удаляют задубленную пленку в растворе из смеси щавелевой кислоты (150 в 15 200 г/л) и хлорного натрия (50 в 1 г/л) при 85 - 95 С в течение 3 - 5 мин 1,Недостатком этого способа является длительность процесса удаления задубленной пленки и необходимость механического 20 вмешательства при удалении.Наиболее близким по технической сущности к изобретению является способ изготовления фольговых тензорезисторов, заключаюшийся в том, что наносят на очи щенную поверхность фольговой пластинки фоточувствительную эмильсию поливинилового спирта, фоторепродуцируют нанесенное покрытие, задубливают его, наносят на его противоположную поверхность клеевую ЗО основу, травят задубленную пленку в водном растворе хлорного железа и промывают ее в воде 2.Недостатком этого способа является то, что нити тензорезпсторов подвергаются боковому растравлпванию, а это ведет к большому разбросу по сопротивлению рабочего поля фольги и браку, а также низкая производительность.Целью изобретения является пов точности изготовления тензорезис счет уменьшения разброса по сопр нию и повышение производительности.Это достигается тем, что задубленную пленку удаляют в водном растворе перекиси водорода концентрации 1: 2 при 60 - 80 С в течение 20 - 40 с.Способ осуществляется следующим образом.Поверхность фольговой пластинки тщательно очищают от жира и грязи и наносят на нее фоточувствительную эмульсию поливинилового спирта. С целью равномерного распределения эмульсии на поверхности пластинки ее обрабатывают в центрифуге, Затем высохшу,о пленку фоточувствител" ной эмульсии фоторепродуцпруют и задубливают при 120"С в течение 1 - 1,5 ч.После охлаждения пластинки на ее противоположную поверхность наносят клееЗаказ 2790/13 Изд. М 124 Тираж 810 Подписное НПО Поиск Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 вую основу, что придает фольге жесткость, протравливают задубленную пленку в водном растворе хлорного железа и промывают пластинку в воде.Задубленную пленку удаляют в водном растворе перекиси водорода концентрации 1: 2 при 60 - 80 С в течение 20 - 40 с.Введение метода химического снятия задубленной пленки улучшит качество изготовления тензорезисторов и повысит производительность за счет снижения брака. Формула изобретенияСпособ изготовления фольговых тензорезисторов, заключающийся в том, что наносят на очищенную поверхность фольговой пластинки фоточувствительную эмульсию поливинилового спирта, фоторепродуцируют нанесенное покрытие, задубливают его, наносят на его противоположную поверхность клеевую основу, травят задубленнуюпленку в водном растворе хлорного железаи промывают ее в воде, отличающийсятем, что, с целью повышения точности из 5 готовления тензорезистора за счет уменьшения разброса по сопротивлению и повышения производительности, задубленнуюпленку удаляют в водном растворе перекиси водорода концентрации 1: 2 при 60 -10 80 С в течение 20 - 40 с.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Справочник по печатным платам, перевод с английского под ред, Файзулаева15 Б. Н. и Квасницкого В, Н, М., Советскоерадио, 1972, с. 85 - 90.2. Анкунданов Д. Т. и Мамаев К. Е. Малобазисные тензодатчики сопротивления.М., Машиностроение, 1968, с, 37 - 4120 (прототип),