Устройство для интерферометрического измерения высоких скоростей смещения поверхности

О П И С А Н И Е909637ИЗОБРЕТЕНИЯ Сою Советск инСоциалистическихРеспублик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(53 ) М. Кл. 601 Р 3/36 с присоединением заявки М Государственный еинтет СССР но делам нзобретеннй н вткрытнйелевитнев, Ю. ф, Застро М. И. Пе Рижский ордена Трудового Красного Знамени пол инсхихух и Всесоюзный заочный машиностроитель) Заявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОГО ИЗМЕРЕНИ ВЫСОКХ СКОРОСТЕЙ СМЕЩЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ства слеругог преом известного устрочто при движениихности отраженные ля один относительноточность и уменьшае являетс20цуемойже смещчто снцелы и по ере Устройство относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано цля бесконтактного измерения высоких скоростей смешения поверхности.Известны устройства цля интерферомет рического измерения скоростей смешения поверхностей, использующие оанолучевые, цвухлучевые или многолучевые интерферометры 13 .Нецостатком известных устройств является ограниченность их применения случаями сравнительно невысоких скоростей смешения, при которых получаемые цопплеровские смешения частоты меньшечастотного разрешения применяемых в них фотоэлектрических приемников.Наиболее близким к предлагаемому является устройство цля интерферометрического измерения высоких скоростей смешения поверхностей, основанное на использовании интерференции когерентных лучей, направляемых на исслеауемую поверхность поц разными углами, Устройствоодержит лазер и оптически связанные с ннм через светоаелитель и исслецуемую поверхность первое и второе непоцвижные зеркала и фотоприемник.Кроме этого, в цанном устройствесодержится второй светоаелитель. Приэтом когерентное излучение источникацелится первой светоцелительной пластиной на ава луча и направляется на исследуемую поверхность поц разными углами. Отраженные от исслецуемой поверхности лучи совмещаются в пространстве при помощи второй светоцелительной пластины цля создания интерференционной картины на поверхности фотоприемника. Вьбор углов падения определяет 5частоту сигнала на выхоае фотоаетектора при максимальной скорости смешения2 )Нецостатк й1. Коломийцев Ю, В. Интерферометры.Машиностроение", Л., 1976, с. 277 у2, Марон. Методы измерения оченьвысоких скоростей смешения поверхностей.-"Приборы для научных исследований,1977, М 12, с. 157-161 (прототип). НИИПИ Заказ 886/69 Тираж 883 Подписное ороц, ул. Проектная, т литл ГП И 1 Патент", г. У 3 909637 4мешении исследуемой поверхности парал 1 ель изобретения - увеличение точлельно первоначальному, Кроме того, изности расширения прецелов измерений.мерение можно производить при меньшихПоставленная цель достигается тем,ее лазе и углах падения лучей.что в устройство, содержащее лазер6Устройство может применяться цляоптически связанные с ним через светоизмерения скорости поверхности при исцелитель и исследуемую поверхность пер- ибследовании параметров ви рат.ии и удара.вое и второе неподвижные зеркала иПр . й позволяет поПрименение устройства позволяетфотоприемник, ввецено третье непоцвижвысить точность измерения, проводитьное зеркало, при этом второе и третьет 0 измерения в более широких пределах пенеподвижные зеркала установлены орто- т 0 иемешения поверхности.гонально отраженным от поверхности ла- Рзерным лучем.На чертеже показана блок-схема устформула изобретенияройства цля измерения высоких скоростейсмещения поверхности, 15Устройство для интетерферометрическоУстройство содержит источник 1 когей мешего измерения высоких скоросте смешерентного излучения, светоцелительное3-6 ния поверхности, содержащее лазезеркало 2 неподвижные зеркала 3- иерез светоцетически связанные с ним через сфотоприемник 6. Устройство позволяетщ литель и исследуемую поверхность перизмерить скорость поверхности . 20р еркала и фовое и второе неподвижные зеркала иУстройство работает слецуюшим обра- вотоприемник, о т л. и ч а ю ш е е с ятем, что, с целью повышения точности иЛуч света источника 1 излучения це- тем чий в негорасширения пределов иэмеренилится светоцелительным зеркалом назе,.кало прина авляется д введено третье неподвижное зедва луча, один из которых направляетсят етье неподвижные зер- .под углом В, к исследуемо и рй ове хиос- этом второе и третье неподвкала установлены ортогон ально отраженти 7 а второй при помощи неподвижного1Фным от поверхности лазерным лучом.зеркала 3 направляется поц углом ф,в ту же точку поверхности. ОтраженныеИсточники информации,от поверхности лучи попадают на плоские З 0экспертизеп инятые во внимание при эксзеркала 4 и 5 отражаются от них, от приняисследуемой поверхности 7 и совмещаются в пространстве при помощи зеркал3 и 2, Картина интерференции регистрируется фотоприемником 6,На чертеже пунктиром показан хоцлучей при смешении поверхности. При равенстве угловс =О 2 иВ, =6 не происходит раэыостировки устройства при пере