Интерферометр для контроля вогнутых параболических поверхностей

Союз Советских Социалистичвских Республик(22) Заявлено 21.03.80 (21) 2899348/25-28 с присоединением заявки Йо 6 01 В 9/02 Государственный комитет СССР но делам изобретений н открытий(088.8) Дата опубликовамияописания 30,12.81 Б.А. Шапочкин, Б.М. Комраков и В.А. ЧудаковаМосковское ордена Ленина и ордена Трудового-КрасногоЗнамени высшее техническое училище им. Н.Э. Баумана(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВОГНУТЫХ ПАРАБОЛИЧЕСКИХПОВЕРХНОС,РЕЯ 2 Изобретение относится к оптичес кому приборостроению и гложет быть использовано для контроля вогнутых параболических поверхностей.Известен интерферометр для контроля вогнутых параболических поверхностей, содержащий источник монохроматического излучения, светоделитель, микрообъектив, линзу с эталонной сферической светодели тельной поверхностью, вспомогательное плоское или сферическое зеркало с отверстием, а также систему наблюдения 1.Недостатком устройства является 15 сложность оптической системы и ее юстировки, так как при контроле необходимо с высокОй точностью выставлять вспомогательное зеркало с отверстием. Кроме того, интерференцион-Зл ная картина, получаемая на устройстве, очень чувствительна к малым смещениям светоделительной поверхности, вспомогательного зеркала с отверстием и контролируемой поверхности,что 2 не позволяет получить стабильную во времени интерференционную картину при наличии вибраций.Наиболее близким по технической сущности к изобретению является интерЗО Ферометр для контроля вогнутых параболических поверхностей, содержащий источник монохроматического излучения и последовательно расположенные по ходу излучения микрообъектив, свето делитель, объектив, эталонную пластину со светоделительным покрытием на одной из граней, установленную покрытием к объективу, и систему для наблюдения интерференционной картины 2.Недостатком известного интерферо" метра. является наличие двух эталонных пластин, что усложняет оптическую схему интерферометра и его юстировку.Цель изобретенияупрощение интерферометра.Указанная цель достигается тем, что пластина выполнена клиновидной с отражающим покрытием на одной из половин второй грани и с просветляющим - на второй половине этой же грани.Яа чертеже представлена схема интерферометра.Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучения, последовательно расположенные по ходу излучения микрообъектнв 2, светоделитель 3, объектив 4, эталонную плас894351 Формула изобретения Соста Техре актор С. Тараненк Тираж 645 ВНИИПИ Государственного по делам изобретений 113035, Москва, Ж, РаПодписноемитета СССРоткрытийкая наб., д. 4/5 Заказ 11437/б Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная,тину 5 с клиновидностью порядка 5- 60" и со светоделительным покрытием б на одной из граней, с отражаюцим покрытием 7 на одной из половин второй грани и с просветляющим покрытием 8 - на второй половине этой же грани, систему 9 наблюдения интерференционной картины и контролируемую поверхность 10.Интерферометр работает следуюцим образом.Излучение от источника 1 проходит микрообъектив 2, светоделитель 3, объектив 4, которые образуют телескопическую,систему, выходит параллельным потоком и падает на светоделительное по.:рытие 6 пластины 5.Часть излучения, отраженная от светоделительного покрытия б,используется в качестве эталонного пучка сравнения;Половина прошедшего излучения, расположенная выше оптической оси интерферометра . отражается от отражательного покрытия 7 пластины .5 и при взаимодействии с эталонным пучком сравнения образует вспомогательную интерференционную картину в виде прямых равноотстоящих полос.Другая половина излучения,расположенная ниже оптической оси, проходит через просветляющие покрытия 8 пластины 5, последовательно отражается от нижней половины контролируемой поверхности 10, от отражающего покрытия 7, вновь проходит через просветляюцее покрытие 8 и светоделительное покрытие б пластины 5.Эта часть излучения, взаимодействуя с эталонным пучкой сравнения, при наличии ошибок формы контролируемой поверхности 10 вызывает искривление интерференционных полос,которые исследуются в системе 9наблюдения интерференционной картины,Таким образом, интерферометр содержит только один эталонный опти- -ческий элемент, что упрощает оптическую схему устройства, а интерференционная картина, получаемая наустройстве, стабильна во времени. Интерферометр для контроля вог 15 нутых параболических поверхностей,содержащий источник монохроматического излучения и последовательнорасположенные по ходу излучениямикрообъектив, светоделитель, объ 2 О ектив, эталонную пластину со светоделительным покрытием на одной изграней, установленную покрытием кобъективу, и систему для наблюденияинтерференционной картины, о т л иа ю щ и й с яупрощения интерферометра, пластинавыполнена клиновидной с отражающимпокрытием на одной иэ половин второй грани и с просветляющим - навторой половине этой же грани.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Пуряев Д.Т. Методы контроляоптических асферических поверхностей.З 5 М "Машиностроение", 1976,с, 134136 78-82.2. Авторское свидетельство СССРпо заявке Р 2779651/25-28,кл,б 01 В 9/0215.06.79. итель Н. ЗахаренкоТ. Маточка Корректор С. Шекма