Способ изготовления пъезорезонансного датчика

Союз СоветскихСоциапистичесиикРеспублик ОП ИСАНИ ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1 и 892655. по делам язабретеиий и аткрытнйДата опубликования описания 23,1281 Ж Ленинградский институт авиационного приборостроения- "Министерства высшего и среднего специального образоваТщтт-:- РСФСР(5 Ь) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОРЕЗОНРНСНОГО ДАТЧИКА Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано приизготовлении пьезорезонансных датчиков аммиака.Известен способ изготовления пьезорезонансных датчиков газового состава, основанный на нанесении сорбционного покрытия на поверхность пьезо"элемента, при котором в качестве покрытия используют пленки стекла, кремнеземе, МЯР, медь, золото, сульфиро 10ванный поли стирол, сили к а гел ь с различными пропитывающими составами,причем покрытия наносят на пьезоэлемент, например, вакуумным напылением,тзэлектрохимическим осаждением, нанесением раствора с последующим испарением растворителя 11Недостатком этого способа является от сутст вие избирател ь ной чу вст вительности по аммиаку,Известен также способ изготовленияпьезорезонансных датчиков, при котором на электроды пьезоэлемента наносят пленочное покрытие, чувствительное к парам определяемого вещества, В качестве покрытия при этом исполь. зуют производные капрона, растворенные в муравьиной кислоте, которое наносят на вращающийся с определенной скоростью пьезоэлемент распылением через диаФрагму ) 2 1.Недостатком известного пьезорезонансного датчика также является отсутствие избирательной чувствительности к,аммиаку, поскольку присутствие в атмосФере паров аммиака выводит из строя датчик вследствие необратимого химического взаимодействия аммиака и его производных с капроном.Цель изобретения - обеспечение избирательной чувствительности пьезорезонансного датчика к аммиаку.Указанная цель достигается тем, что в качестве материала покрытия выбирают медь споследующим воздействием на нее паров хлорида титана ,(Ч), при этом весовое соотношение2655 Формула изобретения Составитель Л, СтерликоваРедактор В. Лазаренко Техред д дч Корректор Г. Решетник еЗаказ 1 278/82 Тираж 991 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, 3-35, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4 3 89 выбирают из условия непревышения соотношения 1:4.П р и м е р. Последовательность операций при выполнении предлагаемого способа следующая: пьезоэлемент с серебряными электродами обезжиривают и очищают, затем на поверхность серебра электрохимическим способом наносят медь так, чтобы уход частоты вследствие нанесения меди составил 10-150 кГц. Пьезоэлемент с медным электродом тщательно промывают дистиллированной водой, сушат и затем обрабатывают парами Т 1 С 1 в потоке газа, осушенного от паров воды до влагосодержания не выше 200 мг/м или в вакууме с остаточным давлением не выше 0,1 мм рт.ст. Пленка продуктов спосоЬна реагировать с аммиаком с образованием различных комплексных соединений аммиаком с образованием различных комплек. сных соединений аммиакатом меди и титана. Таким образом масса пленки возрастает, что сопровождается уменьшением резонансной частоты, По мере увеличения концентрации аммиака образуется большее число аммиакатов с высоким содержанием аммиака и масса пленки растет. При снижении концентрации аммиака аммиачные комплексы начинают разрушаться и масса пленки уменьшается,Предлагаемый способ позволяет изготовить пьезорезонансный датчик, обладающий высокой чувствительностью к аммиаку и дающий возможность измерять количество аммиака в атмосфере при его концентрации от 1 до более 2000 мг/м. Способ изготовления пьезорезонансного датчика, при котором на электроды пьезоэлемента наносят лленочное покрытие, чувствительное к парам определяемого вещества, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью обеспечения избирательной чувствительности датчика к аммиаку, в качестве материала покрытия используют медь с последующим воздействием на нее паров хлорида титана (1 Ч), при этом весовое соотношение выбирают из условия непревышения соотношения 1:4.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Малов В.В. Пьезорезонансные датчики. М., "Энергия", 1978, с. 201-210.2. Авторское свидетельство СССР й 441426, кл. О 01 й 25/60, 1974.