Электрический ввод в высоковакуумную камеру

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советскнк Соцнаанстнческнк респубпнкК АТОМСКОМУ СВИ ВТИЛЬСФУ(61) Дополнительное к ает. семд-ау -Ц 2) Заявлено 240579 (21) 2769168/24-07 )М с присоединением заявим Ио -Н 01 В 17/26 Государственный комитет СССР, ио декам изобретений и открытий(71) Заявител дала; 54) ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ В ВЫСОКОВАКУУХНУ РУ еског металлоке а О кн Изобретение относится к электротехнике, а именно, к устройствам электрического ввода в вакуумные камеры напылительных установок.Известны электрические вводы, которые содержат гибкий уплотняющий элемент - сильфон, металлокерамический узел, используемый в качестве изолятора, стержень н фланец. Тако проводящий стержень через металлокерамический узел соединен с фланцем через сильфон. Фланец крепится к вакуумной камере 11 . Однако эти электрические вводы непригодны для периодического использования между повторными напылениями электропроводящих материалов, особенно для точных измерений, поскольку их изолирующий элемент закорачивается в результате напыления этими материалами.Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является электрический ввод, содержащий металлокерамический узел, используемый в качестве изолятора,. соединенй через сильфан одним концом с корусом вакуумной камеры, а другимс токопроводящим штоком, проходя.щим внутри его р мич оузла) 23Однако в этой конструкции, каки в других известных электрическихвводах, изолирующий элемент металлокерамического узла незащищен отнапыления.Применяемые на практике способызащиты изоляции: (экранированнем, О термохимическим восстановлениемилн прогревом), являются полумерамн,не устраняющими токовые утечки, чтоне обеспечиваез высокой надежности. устройства.5 Цель изобретения - повышение надежности.Поставленная цель достигаетсятем, что в известном вводе в высоковакуумную камеру, содержащем шток, 20 соединенный с корпусом камеры черезсильфон и изолирующий элемент, иэкран, выполненный в виде цилиндра,один из торцов которого вакуумплотно соединен с корпусом камеры, шток 5 выполнен с возможностью перемещения,на одном из его торцов расположеназаглушка, контактирующая с другимторцом экрана.Ва чертеже изображен электричесй ввод, общий вид. Ввод состоит, 875476 формула изобретения ПП Патент,д,ул.Проектная,филиа г.ужг иэ подпружиненного зонда 1 (один из вариантов гибкого. контакта), закрепленного на клапане 2, который закреплен на штоке 3. Металлокерамическ.й узел 4 соединен вакуумплотно со штоком 3 и сильфоном 5.Сильфон 5 закреплен на корпусе камеры б, имеющем цилиндрический экран 7.Шток 3 от корпуса б изолирован втулкой 8. Шток может перемещаться по оси при вращении гайки 9, через опорные кольца 10 и шарики 11, 10 Гайка изолирована от накидного фланца 12 прокладкой 13. Накидной фланец 12 крепится к фланцу б болтами 14. Ввод работает следующим образом. Перед распылением электропроводя щих материалов,.вращают гайку 9, шток при этом перемещается по оси, и клапан 2 прижимается к цилиндрическому экрану 7, перекрывая при этом вакуумплотно металлокерамичвский узел 2 О 4, т,е. изолятор от камеры. При прекращении распыления или перерыве процесса распыления можно произвести электрические измерения. Для этого гайку 9 вращают в обратную сторону, клапан 2 отделяется от цилиндрического экрана 7, и электрический ввод оказывается изолирован от корпуса. Подпружиненный зонд 1 соприкасается с исследуемым материалом, и проводится измерение,Наличие в электрическом вводе цилиндрического экрана с седлом и клапана, закрепленного на токовводе, позволяет надежно перекрывать металлокерамический узел, т.е. изолятор отобъема рабочей камеры в период распыления в ней конденсирующихся металли-ческих паров, что позволяет в своюочередь устранить токовые утечкиэлектрического ввода в камерах напылительных установок,Электрический ввод в высоковакуумную камеру, содержащий шток, соединенный с корпусом камеры через сильфон и изолирующий элемент, и экран, выполненный в виде цилиндра, один из торцов которого вакуумплотно соединен с корпусом камеры, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности, шток выполнен с возможностью перемещения, на.одном из его торцов расположена заглушка, контактирующая с другим торцом экрана. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР М 598131, кл. Н 01 В 17/26, 1974.2, Данилин Б,С. и др. Основы конструирования вакуумных систем. М., "Энергия", 1971, с.234. ВНИИПИ Заказ 9358/7 Тираж 787 Подписное