Зондовая головка

Опубликовано 30.06.81. Бюллетень24Дата опубликования описания 05,07,81 по денем нэебретеннй н етермтнй(54) ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА Изобретение относится к измерению электрофизических параметров полупроводниковых материалов и может быть использовано в зондовых датЧиках для измерения удельного сопротивления, например, германия и кремния контактными методами,Известны зондовые головки, содержащие зонды, зондодержатели, механизм перемещения и регулировки давления зондов 1,Эти зондовые головки позволяют повысить измерения за счет плавной регулировки усилия прижима зонда, но механизм регулировки давления зонда очень сложный.Наиболее близкой к предлагаемой по технической еущности является зондовая головка, содержащая размещенные в корпусе зонд, в виде заостренного стержня, зондодержатель, токоподвод и штеккер с регулировочным винтом 12.Однако конструкцией известной. зондовой головки не предусмотрена возможность плавной регулировки усилия прижима зонда к поверхности кристалла полупроводникового материала, кроме того, на участке токоподвода от штеккера к зонду имеется три контактных перехода между различными металлами. Отсутствие плавной регулировки усилия прижима зонда к поверхности полупроводника может привести к искажениям измеряемых параметров полупроводников за счет неомичности контактов на гра нице металл-полупроводник при недостаточном прижиме зондов к поверхности пластины или к погрешности за счет изменения удельного сопротивления в местах контактирования зондов при избыточном давлении 10их на поверхность кристалла. Наличие многих контактных переходов из различных металлов в токоподводе приводит к дополнительной погрешности при прохождении тока за счет термоэлектронных явлений, а также снижает надежность токоподвода, что влияет на точность измерения.Цель изобретения - повышение точности измерения.Указанная цель достигается тем, что взондовой головке, преимущественно для измерения электрофизических параметров полупроводниковых материалов, содержащей корпус, зонд с зондодержателем, токоподвод и штеккер с регулировочным винтом, зонд и токоподвод выполнены в виде единого Г-об843325 Формула изобретения 20 Л. Прокойкас Составител Техред А. Б Тираж 889 дарственногоизобретений Ж - 35, Рау нт, г. Ужго енкоКорректор М. ДемчПодписноеСССРийд. 4/5Проектная, 4 едактор Ю. Ковач аказ 5179/85 ВНИИПИ Госу по делам13035, Москва,филиал ППП Патекомитета и откры шская иа од, ул. разного стержня, причем токоподвод снабжен спиральным изгибом, в полости которого размещена ось, жестко закрепленная на корпусе, а конец токоподвода размещен в прорези винта.На чертеже изображена предлагаемая зондовая головка.Зондовая головка содержит корпус 1, выполненный из изоляционного материала, в котором закреплены штеккер 2 и зондодержатель 3. В отверстиях зондодержателя 3 запрессованы рубиновые подшипники 4. Зонд и токоподвод выполнены в виде единого Г-образного стержня 5, в средней части которого выполнен спиральный изгиб 6, с помощью которого стержень установлен на оси, закрепленной на корпусе с некоторым зазором для возможности прямолинейного перемещения зонда в подшипниках 4. Другой токоподводящий конец Г-образного стержня 5 скользит по прорези регулировочного винта 7, закрепленного в штеккере 2 с возможностью вертикального перемещения и служащего для регулировки усчлия прижима зонда к поверхности полупроводникового материала. На зондодержателе 3 закреплена насадка 8, выполненная из изоляционного материала. При проведении измерения, зондовую головку приводят в соприкосновение зондами с контролируемым полупроводниковым материалом. Зонды, перемещаясь в рубиновых подшипниках, вызывают раскручивание спирального изгиба 6, создающего давление зондов на материал. Другой конец Г-образного стержня 5 скользит по прорези винта 7, не препятствуя прямолинейному перемещению зонда в подшипниках 4.Выполнение зонда и токоподвода в виде Г-образного стержня 5 со спиральным изгибом 6 в средней части и размещение регулировочного винта в штеккере позволяет плавно регулировать усилие прижима зонда к поверхности кристалла, что уменьшает возможность появления неомичности контактов на границе металл-полупроводник при недостаточном прижиме зонда к поверхности полупроводникового материала, а также позволяет уменьшить погрешность измерения, возникающую за счет изменения удельного сопротивления в местах контактирования зондов при избыточном давлении их на поверхность кристалла.Предлагаемая конструкция зондовой головки позволяет уменьшить число контактных переходов из различных металлов в токоподводящие цепи, благодаря чему снижается влияние термоэлектронных явлений при измерении и повышается надежность токо- подвода. Зондовая головка, преимущественно дляизмерения электрофизических параметров полупроводниковых материалов, содержащая корпус, зонд с зондодержателем, токоподвод и штеккер с регулировочным винтом, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности измерения, зонд и токоподвод выполнены в виде единого Г-образного стержня, причем токоподвод снабжен спиральным изгибом, в полости которого разме щена ось, жестко закрепленная на корпусе,а конец токоподвода размещен в прорезивинта. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР661868, кл. Н 05 К 1/04, 1976.2. Авторское свидетельство СССР333732, кл. Н 05 К 3/00, 1972 (прототип).