Зондовая головка
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сааэ Саветсеив Сециалистическиа Реееубаиеовано 1. 1 Ъ.1972 га опуоликования описани Авторыизобретени еев, А, Е. ВолпянВ. И, Щипунов П, Н. Быков, В ий, В, Т. Лозово Государственный научно-исследовательски редкометаллической промыш и проектный инститнности аявит ОНДОВАЯ ГОЛО Во втулках б помещены то зондодержате полненная из 5 Токоподвод в виде штекке крепленного в Соединение ной схемой о о подводящих ввыполнены пр коподводящие ле 3 закреплен изоляционного ящий узел мож ра с радиальнь головке.зондовой голов существляется илок 2. орези, пружи а наса матери ет быть м отве в которые ны 7. На дка 8, выала.выполнен рстием, за ки с измеритель. с помошью токоПри проведении измерени тивления зондовая головка ми 5 в соприкосновение с ко 15 териалом. Зонды 5, переме подшипниках 4, изгибают то ны 7, которые создают дав,материал. Свободный конец зит по прорези токоподвод 20 препятствуя прямолинейно зонда 5.я удельного сопроприводится зонда нтролируемым ма щаясь в рубиновых конесущие пружитение зондов 5 на пружины 7 скольящей втулки 6, не му перемещению В то же время сопротивление ме 25 кой б и токонесущ пружина 7, наход щей втулки 6, пре круг собственной ность измерения 30 зонда.Изобретение относится к области измерения электрофизических свойств полупроводниковых материалов и предназначено для использования в зондовых датчиках для измерения удельного сопротивления германия и кремния контактными методами.Известна зондовая головка, например, для измерения электрических параметров полупроводниковых материалов, состоящая из корпуса, зонда, выполненного в виде заостренного стержня, зондодержателя, токопроводящего узла и штежкера.Цел ь изобретения - повышение точности измерения и обеспечение удобства в эксплуатации.Для этого токоподводящий узел выполнен в виде насаженной на зонд втулки, на торцовую поверхность которой опирается конец упругого стержня, другой конец которого расположен в радиальном отверстии штеккера.Зондовая голонка изображена на чертеже.В корпусе 1 из изоляционного материала закреплены токоподводящие вилки 2 и зондодержатель 3. В зондодержателе 3 выполнены отверстия, в которые запрессованы .рубиновые подшипники 4. В подшипниках 4 установлены зонды 5, на которых укреплены токоподводяшие втулки б, выполненные из материала с малым удельным сопротивлением и высокой устойчивостью на истирание, например, меди. создается малое переходное жду токоподводящей втулей пружиной 7 Токонесущая ясь в прорези токоподводяпятствует повороту зонда вооои, что увеличивает точпри эксцентричной заточкеЗондовая головка, например, для измерения электрических параметров полупроводниковых материалов, состоящая из корлуса, зонда, выполненного в виде заостренного стержня, зондодержателя, токоподводящего узла и штеккеСостави 1 соь Н, Герасимоводанстор Л. Маауронок Техред Т. Ускова ректор Н. Коваленко дписноеСССР Заказ 2272 Ид о 429ЦНИИПИ Кжитета по делам .ивобретенвйМосква, Ж, Рауш Тираж 448сткрыпий при Совепеая иаб., д. 46 оСтромского управления по печа ластиая типогра Предмет изооретения ра, отличающаяся тем, что, с целью повышения- точности измерения и удобства эксплуатации, токоподводящий узел выполнен в виде насаженной на зонд втулки, на торцовую поверх ность которой опирается конец упругого стержня, другой конец которого расположен в радиальном отверстии штеюкера.
СмотретьЗаявка
1456863
П. Н. Быков, В. А. Гуреев, А. Е. Волп нский, В. Т. Лозовой, В. И. Щипунов, Государственный научно исследовательский, проектный институт редкометаллической промышленности
МПК / Метки
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-333732-zondovaya-golovka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Зондовая головка</a>
Предыдущий патент: Способ удаления слоев фоторезистов
Следующий патент: Устройство для намотки монтажных проводников на контактные штыри
Случайный патент: Способ электрошлакового переплава