Способ регулирования частотно-температурных характеристик кварцевых резонаторов

Союз Соеетскнв Соцнаенстнческни РеспублнкОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 2 б 12,77 (21) 2560354/18-23 (51) М с присоединением заявки Йо(23) Приоритет -Н 03 Н 3/04 Государственный комитет СССР оо делам изобретений и открытий(54) СПОСОБ РЕГУЛИРОВАНИЯ ЧАСТОТНО-ТЕМПЕРАТУРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ 10 Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано при изготовлении кварцевых резонаторов,Известны способы регулирования частотно-температурных характеристик (ЧТХ) кварцевых резонаторов, подверженных действию механической нагрузки, например резонаторов-пьезодатчиков механических параметров, при которых пьезоэлемент, заранее ориентируют относительно вектора механической нагрузки так, что угол между вектором и кристаллографическойо осью Х кварца составляет 30-35 11,Недостатком этих способов являет ся невозможность коррекции ЧТХ после монтажа пьезсэлемента.Известен также способ регулирования частотно-температурных характеристик кварцевых резонаторов, при 20 котором на пьезоэлемент, снабженный возбуждакщими электродами, наносят или удаляют с него пленочное покрытие 21.Этот способ позволяет корректи ровать ЧТХ резонаторов после, их монтажа. Однако при использовании этого способа изменение ЧТХ пьезоэлемента под нагрузкой и пьезоэлемента без нагрузки происходит прак тически одинаково, В результате этого разность ЧТХ резонатора под нагрузкой и ЧТХ резонатора без нагрузки практически остается неизменной как до ее коррекции, так и после.Целью изобретения является повышение стабильности ЧТХ кварцевых резонаторов, подверженных действию механической нагрузки. Это достигается тем, что по описываемому способу смещают центр тяжести возбуждакщих электродов в плоскости пьезоэлемента к его периФерии, если разность температурных коэФФициентов йагруженного и ненагруженного пьезо-.элемента положительна, или от периферии к центру, если она отрицательна, до получения необходимой частотно- температурной характеристики.Способ иллюстрируется чертежом.На чертеже показан пьезоэлемент 1, подверженный действию сжимающих механических усилий г, ориентированных относительно оси 7. пьезоэлемента под углом 9 ф. На пьезоэлемент с двух сторон нанесено первоначальное электродное покрытие 2 с центром тяжести в точке 3, имеющее токоотводы 4. Электродное покрытие после792535 Формула изобретения акаэ 9598/62 Тираж 995 Подписно НИИП Патен Филиал П настройки 5 с центром тяжести в точке 6 смещено относительно покрытия 2,Регулирование частотно-температуррой характеристики согласно предлагаемому способу осуществляется следукщйм образом.После монтажа пьезоэлемента иапо ример, под углом 7" =52-56 относительно вектора усилий измеряют разность ЬТ температурных коэффициентов частоты пьезоэлемента под нагрузкой и без нагрузки, Затем проводят смещение центра тяжести электродов напылением серебра и снятием части электродного покрытия и операциЮ измерения Ь Т повторяют. Если ЬТ - величина положительная,то необходимо смещать центр тяжести электродов от центра пьезоэлемента к периферии, если отрицательная, то в , от периферии к центру. Расстояние, на которое необходимо сместить центр тяжести электродов, для того, чтобы ДТ=О, зависит от положения электродов и угла Ф . в тех случаях, когда угол Чф после монтажа определить с высокой точностью затруднительно, регулировку ЧТХ производят поэтапно, повторяя операции измерения Т и смещения центра тяжести электродов до получения необходимой частотно-температурной характеристики. Дополнительное покрытие может быть выполнено как из металла, так и из полупроводника или диэлектрика. Перемещение центра тяжести может быть осуществлено и такими известными операциями, как неравномерное по толщине наращивание электродов, стравливание или испарение лазерным лучем части электродов.Использование предложенного способа повышает выход годных кварцевых резонаторов для термокомпенсированных генераторов, подверженных действию механической нагрузки, позволяетизбавиться от такой операции в серийном производстве пьезодатчиков механических параметров, как индивидуальный подбор резонаторов по температурной стабильности, повышает температурную стабильность пьезочастотных датчиков,Способ регулирования частотно-температурных характеристик кварцевых ре 1 зонаторов,при котором наносят на пье-зоэлемент,снабженный возбуждающимиэлектродами, или удаляют с него пленочное покрытие,о т л и ч а ю ц и йс я тем, что, с целью повышения стаЯ бильности частотно-температурной характеристики кварцевого резонатора,подверженного действию механическойнагрузки, смещают центр тяжести воз -буидающих электродов в плоскости пье зоэлемента от центра пьезоэлемента кего перйферии,если разность температурных коэффициентов частоты нагруженного и ненагруженного пьезоэлементаположительна, или от периферии кцентру, если она отрицательна, до получения необходимой частотно-температурной характеристики,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе351. Авторское свидетельство ГССРР 274517, кл. Ь 01 Р 3/54 1968.2. Авторское свидетельство СССР9 187092, кл. Н 03 Н 3/04, 1965,г, Ужгород, ул, Проектная, 4