Способ коррекции хроматической аберрации в системе из двух электронных линз

ОПИСАНЙЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 14. 07. 78 (21) 2645310/18-25 (51) М. Кл. с присоединением заявки М -Н 01 д 3/12 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытийДата опубликования описания 150980(54) СПОСОБ КОРРЕКЦИИ ХРОМАТИЧЕСКОЙАБГРРАЦИИ В СИСТЕМЕ ИЗ ДВУХ ЭЛЕКТРОННЫХЛИНЗ Изобретение относится к электронной технике, к электронно-оптическим системам (ЭОС) электронно-лучевых приборов (ЭЛП).Известен способ уменьшения влияния 5 пульсации потенциала экрана на размер пучка на экране (хроматическая аберрация, обусловленная нестабильностью питающего напряжения,по которому пучок фокусируют одиночной элек тростатической линзой, средний электрод которой электрически соединен с катодом 111 .Наличие катодного потенциала на среднем электроде линзы делает пра. ктически независимой оптическую силу 15 одиночной линзы от изменения потенциала на крайних электродах. Однако одиночная электростатическая линза не обеспечивает получения требуемой высокой разрешающей способности в ЭЛП с боль шими токами пучка.Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ коррекции хроматической аберрации в системе из двух электронных 25 линз, по которому электронный пучок фокусируют на экране бипотенциальной и магнитной линзами (21 .Однако известный способ не указывает оптимального решения задачи ком пенсации расфокусировки пучка и пол" костью не устраняет хроматическую аберрацию, хотя скорости изменения фокусных расстояний бнпотенциальной и магнитной линз можноподобрать равными по абсолютной величине.Цель изобретения - упрощение схе-. мы электропитания за счет уменьшения требований и стабильности. потенциала экрана.Это достигается тем, что оптичес кие силы бипотенциальной и магнитной линз вибирают одинаковыми при максимальной магнитодвижущей силе магнитной линзы для заданного значения потенциала экрана и неизменного потенциала тГервого электрода бипотенциальной линзы.На фиг.1 показана схема ЭОС; на фиг.2 - зависимость смещения ыа экране от его потенциала.Электронно-оптическая система состоит изкатода 1, модулятора 2, первого 3 и второго 4 электродов би потенциальной линзы, магнитной фоку сирующей катушки 5.Электронный пучок 6, формируемый иммерсиоиным обаективом, фокусируется иа экране 7 при отображении кросовера 8 пучка в пятно 9 малых раз-.764004 Формула изобретения ВНИИПИ Заказ 6295/46Тираж 844 Подписное меров. При этом второй электрод 4бипотенциальной линзы электрическисоединен с экранам, так что их потенциалы одинаковы О = ОВ основе способа лежит характеризменения смещения гз при колебанияхпотенциала экрана (фиг.2)., 5Смещением г при определенных доЭпущениях можно характеризовать хрома"тическую аберрацию, которая создаеткружокрасбаянйя радиусом г объектаввидеточки. Степень требуемой стабильности источника пктания можнохарактеризовать крутизной кривойг Ю(О) в точках О. и О , гдеточка,О получила название точкиповторной фокусировки (кривая 1, 15фиг. 2),Обычно в ЭЛП задано рабочее значение потенциала экрана О .Выбором.-геометрии ЭОС изменением Ои числаампер-витков (потенциал первого электрода) Г 4 магнитной линзы можно добиться такого положения, чтобы О =О,а.,где = О, т.е. настроить систедОму таким образом, чтобы на экране 25при изменении О наблюдалась однаточка гауссовой фокусировки (криваяП, фиг.2) В режиме одинарной фоку - сировки хроматическое смещение фокусаравно нулю, причем число ампер-витковмагнитной линзы максимально для заданный рабочих О"О ; О при выбраннойгеометрии. В этом случае требованиярпо стабильности источника питаниястановятся максимальными при обеспечении высокой разрешающей способности, обусловленной применением магнитной линзы.Дополнительно становится возможным3компенсировать отверстную хроматическую аберрацию.В целом снижение требований к источникам питания повышает надежность снижает габариты и вес аппаратуры.Способ может Найти применение в установке элионной технологии,электронной микроскопии, а также в других областях техники, где применяются электронные и ионные пучки. Способ коррекции хроматической аберрации в системе из двух электронных линз, по которому электронный пучок фокусируют на экране бипотенциальной и магнитной линзами, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения схемы электропитания за счет уменьшения требований и стабильности потенциала экрана, оптические силы бипотенциальной и магнитной линзы выбирают одинаковыми при максимальной маг)тодвижущей силе магнитной линзы для заданного значения потенциала экрана и неизменного потенциала первого электрода бипотенциальной линзы. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1.К 1 еарегег ОЕ 1 ессгоп Орйсь,СааЬг 1 дде Опчегв 1 су Ргевя,1971, р.83 2;Патент Великобритании Р 744127,кл. О 4 Е, опублик.1951 (прототип).