Способ получения многослойных интерференционных зеркал
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 742400
Авторы: Гайнутдинов, Глебов, Несмелов
Текст
742400 Формула изобретения ФСоставитель Г. БуровцеваРедактор Е. Полионова Техред И,Асталош Корректор С. Шекмар Тираж 528 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Заказ 3394/24 Филиал ППП ффПатентф, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 эового угла, перед измерением фазового угла осуществляют травление наружного слоя, который наносят с толщиной, более расчетной на 1-10 Ъ, причем травление и измерение фазового угла ведут многократно.Ниже приведены примеры изготовления интерференционных зеркал.Изготавливают две партии зеркал системы Д(ВН) В 2 Н, где слои В выполнены иэ двуокиси циркоиия (Зле),1 слои Н - иэ двуокиси кремния (ЯЫ)., путем нанесения в вакууме с помощью электронно-лучевого испарителя на установке типа А 700 Я Фирмы ЬеуЬоЫНегаецэ, укомплектованной механизмом двойного планетарного вращения под ложек. Контроль толщины слоев осуществляют с помощью фотометра, В среднем по всем партиям (40 зеркал) выход зеркал с фазовой анизотропией в пределах +1 составил 1 Ъ, 20При изготовлении другой партии зеркал контроль толщины отдельных слоев выполняют также с помощью фотометра, но нанесение последнего слоя иэ Я 1 О осуществляют с перепылением на 5 Ъ от расчетной толщины. Затем образцы подвергают ионному травлению в режиме высокочастотного распыления в среде аргона со скоростью 0,2-0,51 сек в2-3 приема (суммарное время травления 3-15 мин) . После каждой операции травления измеряют фазовый угол на эллипсометре ЛЭФ"2, Выход годных зеркал с фазовой анизотропией в пределах +1 составил 90-95 Ъ. Таким образом, предлагаемый способ получения многослойных интерференционных зеркал позволяет изготавливать зеркала с заданным фазовым углом с точностью +1 и повысить выход годных зеркал, например, с малой фазовой анизотропией (фазовый угол в прделах " 1 ) при угле падения света 45 до 90-95 Ъ по сравнению с 1-5 Ъ по известному способу. Способ получения многослойных интерференционных зеркал путем нанесения на подложку преимущественно вакуумным испарением чередующихся слоев с высоким и низким показателями преломления, контроля толщины каждого слоя и последующего измерения фазового угла, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности заданного фазового угла между р- и Я-компонентами отраженного излучения, перед измерением фазового угла осуществляют травление наружного слоя, который наносят с толщиной, более расчетной на 1-10 Ъ, причем травление и измерение фазового угла ведут многократно. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1Крылова Т,Н. Интерференционныепокрытия Л Машиностроение, 1973,с, 134-139 (прототип),
СмотретьЗаявка
2674989, 05.10.1978
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4671
ГАЙНУТДИНОВ ИЛЬДУС САЛЯХОВИЧ, ГЛЕБОВ ВЛАДИСЛАВ НИКОЛАЕВИЧ, НЕСМЕЛОВ ЕВГЕНИЙ АНДРЕЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: C03C 17/00
Метки: зеркал, интерференционных, многослойных
Опубликовано: 25.06.1980
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-742400-sposob-polucheniya-mnogoslojjnykh-interferencionnykh-zerkal.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения многослойных интерференционных зеркал</a>
Предыдущий патент: Эмалевый шликер
Следующий патент: Способ обработки изделий из кварцевого стекла
Случайный патент: Контактное устройство