G01B 19/14 — G01B 19/14

Номер патента: 750274

Опубликовано: 23.07.1980

Авторы: Петровский, Скалецкий, Тулуб, Цейтлин

МПК: G01B 19/14

Метки: контактного, молекулярного, слоя, толщины, эффективной

...параметры эллипсадеполяризации отраженного от слоя моиохроматического поляризованного све Ота, по ним производят определениеточной эллипсометрической добавни визмеряемой эффективной толщине прослойки с помощью, например, расчетныхмонограмм и эллипсометрические периодытолщины, исключают неоднозначностьэллипсометрического способа определения этой толщины слоя определениемточного числа эллипсометрических периодов в виде целой части отношенияинтерференционного значения эффек- ЗОтивной толщины к периоду, а о толщине молекулярного контактного слоясудят по соотношениюН= д + 0 х И-Ь,Эффективность способа состоит в повышении точности измерений малых, иэмеЬний толщины молекулярного контактного слоя между полированными поверхностями...