Способ обработки изделий из кварцевого стекла

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскнх Соцналнстнческнх Республик(22) Заявлено 01.1178 (21) 26 82062/29-33 с присоединением заявки Й 9 Ф)М, д. С 03 С 23/00 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(71) Заявитель Воронежский ордена Ленина государственный университет имени Ленинского комсомола(54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ ИЗ КВАРЦЕВОГОСТЕКЛА Изобретение относится к способам . .обработки ампул иэ кварцевого стекла, испольэумых для синтеза полупроводниковых материалов с высокой темпера турой плавления.Известен способ нанесения покрытий углерода на кварц, осноьанный на пиролиэе чистых органических соединений. Суть его заключается в том, что в специальном аппарате в кварцевую трубу, нагрев которой осуществляется нихромовой обмоткой, изолированной слоем асбеста, помещают контейнер из кварцевого стекла, Трубу нагревают до 700 оС и пропускают в нее пары ацетона в течение 30 мин в потоке инертного газа. Затем для увеличения связи углерода с кварцем проводят высокотемпературный отжиг при 1100-1200 Со в течение 2-3 ч графитизированного кварцевого изделия в вакууме (1.Недостатком этого способа является необходимость использования специальной аппаратуры, недостаточно высокая температура отжига не позволяет повысить жаропрочность кварцеВых контейнеров до 1500 С.Наиболее близким к предлагаемому изобретению по технической сущности и достигаемому результату является способ обработки кварцевых труб, включающий кислотное тразленненагрев до 1100-1500 С в восстановительном пламени и нагрев наружной поверхности трубы до 1900-2200 С в окислительном пламени (2)Этот способ позволяет увеличить срок службы кварцевых труб, однако он не пригоден для обработки кварцевых ампул.Целью изобретения является повышение жаропрочности.Это достигается тем, что одновременно с высокотемпературной термо- " обработкой внешней поверхности при температуре 1600-1900 С в течение 3-5 мин проводят карбидиэацию внутренней поверхности путем пиролиэа спирта или ацетона.Сгособ заключается в следующем. Внутреннюю поверхность ам 11 улы споласкивают этиловым спиртом или ацетоном и нагревают внешнюю поверхность контейнера пламенем кислородноацетиленовой горелки температурой 1600-1900 С в течение 3-5 мин.П р и м е р 1. Кварцевую ампулу с внутренним диаметром 12 мм, толщи742401 Формула изобретения 10 ФСоставитель О. СамохинаРедактор Е. Полионова Техред М.Петко Корректор И, Муска Заказ 3394/24 Тираж 528 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж"35, Раушская наб., д, 4/5Филиал ППП фПатент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 ной стенок 2,5-3 мм обрабатывают по предлагаемому способу, вакуумируют, нагревают до 1500 фС и выдерживают в течение 24 ч. Размягчения кварцевого стекла не наблюдается.П р и м е р 2. В .кварцевой ампу,ле создают давление пара летучего вещества, равное 10 атм, ампулу нагревают до 1400 фС и выдерживают в течение 24 ч. Взрыва ампулы не на-. блюдаетсяП р и м е р 3В кварцевой ампуле создают давление пара летучего вещества, равное 30 атм, ампулу нагревают до 1300 С и выдерживают в течеиие 24 ч. Взрыва ампулы не наблюдается.Использование предлагаемого изобретения позволит:1) повысить температурный интервал использования контейнеров из кварцевого стекла до 1500 С; обычно применяемые в качестве контейнера ампулы из кварцевого стекла могут использоваться лишь до температурыо1170 С для синтеза соединений, не обладающих заметным давлением диссоциацииу2) использовать контейнеры иэ кварцевого стекла длясинтеза соединений с летучим компонентом под давлением его пара до 30 атм при температуре до 1300 С; обычные кварцевые ампулы выдерживают такое давление при температуре до 1050-1100 С;3) предотвратить смачивание контейнера из кварцевого стекла расплавом синтезируемого материала. Способ обработки изделий из кварцевого стекла, преимущественно ампул,высокотемпературной термообработкойповерхности, о т л и ч а ю щ и й с я15 тем, что, сцелью повышения жаропрочности, одновременно с высокотемпературной термообработкой внешней поверхности при температуре 1600-1900 С вотечение 3-5 мин проводят карбидиэа 20 цию:внутренней поверхности путем пнролиза спирта или ацетона.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Кроль Л.Я. и др.,Методика по 5 крытия кварцевых иэделий графитом,Заводская лаборатория, 1961, т. 27,9 2, с. 177-178.2Авторское свидетельство СССРР 668244, кл. С 03 С 23/00, 1977,