Травильный раствор

ОП ИСАЙИ ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскию Социалистическик Республик(51) И. Кл. 03 С ) 500 Государственный комитет СССР ио делам изобретений и открытий( 54 ) ТРАВИЛЬНЫИ РАСТВОР Изобретение относится к технологии обработки кварцевых стекол и может быть использовано в оптико-электронной промышленности при изготовлении оптических деталей.Известен травильный раствор 1, включающий, вес.Ъ:Фтористоводороднаякислота 50-6010Азотная кислота 20-30Полиакриламид 1-5Вода Остальное,Укаэанный раствор используют преимущественно для обработки фосфатных стекол. Скорость травления 0,50- -0 69 мкм/мин.Наиболее близким к изобретению по технической сущности является правильный раствор 2), включающий, вес,%:Фтористоводороднаякислота 58,5Бифторид аммония 4,5Глицерин 27 5 25Вода 9,5Наличие органической добавки (глицерина) позволяет регулировать процесс травления.Однако при обработке кварцевых стекол в данном растворе наблюдается неравномерный съем фазовых ксипонентов кварцевых стекол, на поверхности образуются микронеровности (ямки и впадины). Применение этого раствора для полирования кварцевых стекол не приводит к повышению класса шероховатостиобработанной поверхности, кроме того, не обеспечивается равномерность обработки по всей поверхности. Кварцевые стекла, обработанные в указанном растворе, не обладают блеском, присущим полированным поверхностям. Процесс травления в таком растворе протекает с низкой скоростью.Целью изобретения является повышение скорости травления.Цель достигается тем, что травиль - ный раствор, включающий фтористоводородную кислоту, глицерин и воду, дополнительно содержит полиакриламид при следующем соотношении компонентов вес.Ъ;Фтористоводороднаякислота 55-65 Глицерин 15-20Полиак риламид 3-5 Вода Остальное П р и м е р. Растворы при отаэливают путем смешения водных рас;творонфт орис тов одороднаякислота 78 18 0,5578 19 0,50Ч 9 19 0,30у 8 1.8 0,45 1,10 27,0 2,40 18,5 2,50 10,0 2,10Известный 2)55,0 60,0 3,0 15,0 17,5 20,0 65,0 Формула изобретения Составитель О. Самохина Редактор Т. Шарганова Техред М,Петко Корректор 1. РешетникЗаказ 9201/16 Тираж 528 Подпис ное11 ВИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва. Ж 35, Раушская наб., д. 4/5 Фипиял ППП Патент, г. Ужгород, Ул, Проектная, 4 полиакриламида (8 Ъ-ный) и лицеринафтористоводародной кислотой (70-ная) При использовании предлагаемого травильного раствора дефекты на по- щ верхности стекла не обнаружены.Оптимальным является введение в раствор 60 вес.Ъ фтористоводороцной кислоты.Наличие в травильном растворе поверхностно-активных веществ (глицерин и полиакриламйд) позволяет регулировать процесс химического травления .Полиакриламид обладает ярко выраженными реантиадсорбционными свойст- М вами, что дает возможность увода с обрабатываемой поверхности продуктов реакции травления. При этом обеспечивается подвод свежего раствора к обрабатываемой поверхности, травление протекает равномерно по всему объему образца с повьпденной скоростью что приводит к образованию полированной поверхности.Малое содержание полиакриламида 40 не обеспечивает указанного эффекта, поэтому класс шероховатости обработанной поверхности не повышается.Большое содержание полиакриламица уменьшает скорость травления эа счет блокирования активных центров обрабатываемой поверхности, что приводит к снижению механической прочности.Наличие в растворе пленкообразующего вещества (полиакриламида) уменьшает интенсивность испарения фтористого водорода, что улучшает условия труда и обеспечивает сохранность травильной ванны. Результаты сранниэельных испытанийприведены я таблице,Применение предлагаемого травильного раствора для обработки кварцевых стекол приводит к повышению класса шероховатости обрабатываемых поверхностей на 1-2 класса (с р 7 до 9 с Ч 8 до 9);улучше нию к ачес тв а обра 6 а тыв аемых поверхностей при химическом полировании;повышению скорости хаотического травления в 1.,5-2 раза;повышению механической прочности обрабатываемых изделий;улучшению условий труда. Травильный раствор, преимущественно для кварцевого стекла, включающий фтористоводородную кислоту, глицерин и воду, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения скорости травления, оно дополнительно содержит полиакриламид при следующем соотношении компонентов, вес.Ъ:Фтористоводородная кислота 55-65Глицерин 15-20Полиакриламид 3-5Вода ОстальноеИсточники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРпо заявке У 2588605/29-3 3,кл. С 03 С 15/00, 1978,2, Патент СШл 9 3374130,кл, 156-24, опублик, 1968.