Способ получения тонких металлических пленок

Номер патента: 69703

Автор: Тейтель

ZIP архив

Текст

",;цг Н. С. Тейте Способ получения тонких металлических пл аявлено 13 июля 1945 года в Народный комиссариат электропромышленностиза1050 (3408 б 9)Опубликовано 30 ноября 1947 года по отношеобы вылеи металла илиндра 1 том капли Изобретение касается способа получения тонких металлических пленок путем нанесения слоя металла шоопированием на поверхность стального цилиндра с последующим механическим отделением нанесенного слоя.Отличительной особенностью предлагаемого способа получения тонких металлических пленок является то, что для облегчения отделения нанесенного слоя распыляемым частицам сообщают в процессе шоопирования электрический заряд наложением внешнего электрического поля с целью увеличения тангенциальной по отношению к покрываемой поверхности слагающей скорости полета указанных частиц,На чертеже схематически изображена установка для получения тонких металлических пленок.На закаленную поверхность вращающегося стального цилиндра 7, охлаждаемого изнутри, с помощью пистолета 2 наносят тонкий слой распыленного металла.Пистолет 2 расположеннию к цилиндру 1 так, чттающие из пистолета каплпопадали на поверхность цпод острым углом; при э18 ф хорошо расплющиваются и слабо пристают к поверхности цилиндра 1, что облегчает снятие пленки.Процесс ведется в атмосфере нейтрального газа под пониженным давлением, чтобы капли не окислялись и мало охлаждались при полете.Для еще большего облегчения отделения пленки нанесенного металла пистолет 2 направляют параллельно поверхности цилиндра 1. На пути полета капель металла помещают сетку (на чертеже не показана), соединяемую с одним полюсом источника напряжения; второй полюс источника присоединяется к поверхности цилиндраПри этих условиях вылетающие из пистолета 2 капли металла под влиянием электрического поля приобретают скорость, направленную перпендикулярно или почти перпендикулярно поверхности цилиндра 7. Эта скорость, складываясь со скоростью, сообщенной каплям пистолетом, дает результирующую скорость, направленную под острым углом к поверхности цилиндра 1.Для непрерывности процесса поверхность цилиндра 7 предварительно покрывают тонкой пленкой олова, меди, кадмия или никеля, отдирают27,ь69703 Ффюо Оооф вручную 50 - 70, этой пленки 3 и конец ее прикрепляют к вспомогательному вращающемуся цилиндру 4, ось которого параллельна оси цилиндра 7. Цилиндр 4, вращаясь в сторону, противоположную вращению цилиндра 7, отдирает от него пленку и наматывает на себя, в результате чего процесс автоматизируется. Предмет изобретения Способ получения тонких металлических пленок посредством нанесеОтв, редактор М. М. Аиишин276 ния слоя металла шоопированием на поверхность стального цилиндра с последующим механическим отделением нанесенного слоя, о т л и ч аю щ и й с я тем, что для облегчения отделения нанесенного слоя распыляемым частицам сообщают в процессе шоопирования электрический заряд посредством наложения внешнего электростатического поля с целью увеличения тангенциальной по отношению к покрываемой поверхности слагающей скорости полета указанных частиц. Редактор С. П. Мысовский

Смотреть

Заявка

1050, 13.07.1945

Тейтель Н. С

МПК / Метки

МПК: C23C 4/02, C23C 4/12

Метки: металлических, пленок, тонких

Опубликовано: 01.01.1947

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-69703-sposob-polucheniya-tonkikh-metallicheskikh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения тонких металлических пленок</a>

Похожие патенты