Мишень видикона

(и 672668 Сее 1 СоветскихСцмлистичасваРеспублик 61) Дополнительное к авт. сеид-ву22) Заявлено 06, 02. 78 (21) 2575420/18 - 25Я) 51) М 1 Х 2936 1 Х 31/38 соединением заявки ретееиеый еемветСССРевам хаоеретеейи еткрмте 23) Приоритет -Опубликовано 05. 07. 79. Бюллетень25 Дата опубликования описания 05. 07. 79 621, 385.32 (088,8) 2) Авторы изобретени А. И, Акселевич, С. Г, Дом ов и И, К. Евлан(7) Заяви 54) МИШ Изобретение относится к телевизионным пере. дающим трубкам типа видикона, в частности к мишеням виликонов.Известна мишень видикона, состоящая из под. ложки, сигнальной пластины, фотослоя и расположенного между сигнальной пластиной и фото. 3 слоем высокопористого изолирующего слоя 111. В этой мишени фотопроводник проникает в поры изолирующего слоя и образует множество кон- тактов с сигнальной пластиной. Ввиду того что контакт сигнальной пластины с фотослоем в раз. 10 ных точках мишени различный, конструкция име ет множество микродефектов в виде малопроводящих участков, рассеянных по поверхноспми. шени. Эти дефекты проявляются затем на изображении и ухудшают его качество.Известна также мишень видикона, содержащая подложку, проводящую сигнальную пластину, фотослой и сплошной непроводящий слой между сигнальной пластиной и фотослоем 12.В этой мишени проводящим слоем является про.26 зрачная металлическая пленка, а непроводящий слой иэ А 10, выполняет функцию блокирующе. го контакта,С течением времени тип контакта между сигнальной пластиной и фотослоем в такой мишени видикона может измениться на омический, что выражается в уменьшении темпового сопро.тивления мишени, Это связано с тем, что ионы щелочных металлов, особенно ионы натрия, дрейфуют в электрическом ноле как по поверхности, так и внутри окисла мелочные ионы движутся из стеклянной подложки к фотослою, уменьшая постепенно эффективную толщину блокирующе. го барьера. Изменение типа контакта между сигнальной пластиной и фотослоем приводит к выходу мишени и видикона из строя.Целью изобретения является повышение процента выхода годных приборов и увеличение срока службы.; Указанная цель достигается тем, что непрово. дящий слой выполнен иэ иитрида элемента 1 П и В группы, например ингрида кремния,Мишень видикона представляет собой под. ложку, на которой расположены сигнальная пластина, непроводящйй слой и слой фотопровод. ника, Подложка, являющаяся фронтальным ок. . ном видикона, выполнена иэ прозрачного матеФормула изобретения Составитель В, Белоконь Редактор Т. Орловская Техред Н. Бабурка Корректор О. КовинскаяЗаказ 3901/51 Тираж 922 ПодписноеЦНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж 35, Раушская наб д. 4/5 Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 672668 риала, например стекла, кварца, В зависимости от применения видикона в качестве подложки может быть использована оптоволоконная плас тина, лейкосапфир и другие материалы. Сигналь.ная пластина в виде прозрачного проводящего слоя располагается на стороне подложки, обра.щенной внутрь видикона.Сигнальная пластина представляет собой тон.кую пленку из металла, обеспечивающего тре.буемое спектральное светопропускание. Напри. о мер, при работе видикона в ближней ультрафи.олетовой области, используется пленка благородных металлов, таких как палладий или платина.В зависимости от области применения сигнальная пластина может быть вьпвлнена из Прозрачных проводящих окислов, например окиси индия, окиси олова, окиси железа и др Сигналь.ная пластина обеспечивает контакт с внешним выводом видикопа,Поверх сигнальной пластины находися не- проводящий слой нитрида элемента Ю и 1 Ч груп-: пы; например нитрида алюминия, нитрида герма ния и т, д.Наилучшие результаты дает слой из нитрида.кремния. Этот слой выполняет функций барьер 25 ного зайирающего слоя и обеспечиваМ высокое . темповое сопротивление виакона. Его толщина может быть, от 100 до 1500 А. Нижняя граница определяется возрастанием темпового тока, а верхняя - нарушением работы вйдикона в свя- зо зи с затрудненной разрядкой мишенй.Поверх слоя нитрида размещен фотопрово.дяший слой. Этот слой может, быть выполнен на основе аморфнего селена с добавками Да, ЯЬ и 8 или представляет собой систему полупровод- зс д 4ников группы А В, например СОБе - СОТе. Материал и толщина полупроводникового слоя определяются требуемыми параметрами виднкона Фотопроводящий слой может состоять из нескольких прослоек.Использование в качестве непроводящего слоя, расположенного между сигнальной пласти. ной и фотослоем, пленки нитрида кремния обеспечивает мишени видикона высокую стабильность, так как нитрид кремния является стойкой маской от диффузии для различных ионов, в том числе и ионов щелочных металлов. В результате этого возрастает срок службы видиконов,Применение нитрида кремния обеспечивает также повышение процента выхода годных види- конов по темновому фону. 1, Мишень видикоиа, содержащая подложку,проводящую сигнальную пластину и сплошнойнепроводяший слой между. сигнальной пластинойи фотослоем, отличающаяся тем, что, с цельюповышения процента выхода годных приборови увеличения срока, службы, непроводящий слой,выполнен из нитрида элемента 1 П и 1 Ч группы.2, Мишень по п. 1, отличающаяся тем,что непроводящий слой выполнен йз нитридакремния,Источники информации, принятые во внима.ние при экспертизе1. Патент С 1 йА Мо 288 И 40, кл. 313 в , 1956,2. Авторское свидетельство СССР Мф 498662,кл, Н 01 У 31/38, 1977.