Способ получения пленок

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ о 1662508 Союз Советскик Социалистических Республик(22) Заявлено 21,1277 (21) 2558142/29-33с присоединением заявки Йо(51)М. Кл.2 С 03 В 18/00 Государственный комитет СССР по делам изобретении и открытий(088. 8) Опубликовано 15.05.79, Бюллетень йо 18 Дата опубликования описания 15.05.79( 54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК Изобретение относится к областипроизводства стекда и может бытьиспользовано при получении тонколистового, пленочного стекла,Известен способ получения листового. стекла, при котором лента стек"ла формуется путем непрерывной прокатки между двумя валами и затемпропускается через ванну с расплавленным металлом с целью улучшенйякачества поверхности. Температураванны и состав. атмосферы над ваннойрегулируются 111.Недос таток этого способа заключается в том, что при получениистеклянных листов илиленты с"тоюййиной менее 0,5 мм происходит волнообраэование после прохождения валов,лента может обрываться.Наиболее близким к описываемомуспособу получения стеклянных пленокявляется способ получения пленок изстекла, заключающийся в нанесении вглубоком .вакууме паров, составляющихпленкообразный материал, конденсации паров на поверхности жидкой,например, ртутной ванны, имеющейферму изготавливаемого листа и отделении полученной пленки от жидкости. В случае использования жндкости меньшей плотности, чем плотность материала пленки, можно получать лист с загнутыми вверх бортами. На борта может быть нанесен материал, увеличивающий поверхностное натяжение 2.Недостаток известного способа заключается в том, что с поверхности жидкометаллической ванны, на которую в вакууме осаждают пленку, происходит интенсивное испарениео вещества ванны. Например, при 300 С давление паров ртути составляет 250 мм рт.ст., а при 500 С 2230 мм рт.ст. Продукты испарения заполняют объем камеры, сохранение заданной степени вакуума затрудняется, вследствие чего ухудшается качество получаемой пленки.Цель изобретения - повышение ка" чества пленок.Поставленная цель достигается тем, что способ получения пленок, преимущественно стеклянных, т 1 утем конденсации в вакууме паров пленкОобразующего материала на поверхность ванны с металлом с последующим отделенйем пленки, конденсацию паров пленкообраэующего материала. осуществляют на поверхность Ферро3 6магнитной жидкости, размещенной вовнешнем магнитном йоле с регулируемой напряженностью, причем приконденсации паров осуществляютотверждение ферромагнитной жидкости,а при отделении пленки - ее ожижают.Согласно описываемому способуванну,на поверхности которой осуществляют осаждение и отделениепленки, образуют из ферромагнитнойжидкости. Ванну размещают во внешнем магнитном поле и, регулируя егонапряженность, обеспечивают отверждейие-ванны при нанесении пленки изпаровой фазы и ожижение ванны приотделении пленки от поверхности ванны. При твердом состоянии ванны интенсивность парообразования с ееповерхности существенно уменьшается,поскольку диффузионные процессы втвердом теле происходят гораздо менее интенсивно, чем в жидких средах,Поэтому в процессе осаждения пленкисохраняется и легко поддерживаетсятребуемая степень вакуума в реакционной камере. Процесс осаждения плен-.ки идет равномерно в вакууме, структура пленки не загрязняется продуктами испарения вещества ванны и еекачество повышается,Способ осуществляют следующимобразом.В реакционную камеру, снаружи которой размещены электромагниты, заливают ферромагнитную жидкость,состоящую из галлия с мелкодисперснымичастичками ферромагнетика, напримеркобальта, никеля, железа и т,п. материалов на их основе. Температураплавления галлия 30 С, Ферромагнитная жидкость с кобальтом обладает .магнитными свойствами вплоть до точки Кюри кобальта, равной 1140 С. С.помощью электромагнитов образуютмагнитное поле с напряженностью,обеспечивающей затвердевание феррожидкостной ванны. Напряженность, взависимости от концентрации кобальтав ферРомагнитной жидкости и температуры камеры, может составлять неско 1 гько тогяч эрстед. Затем вакуумируютреакционную камеру, нагреваютее до температуры, требуемой дляпроведения процесса, и, напуская парообразную смесь компонентов пленки,62508 4осуществляют Осаждение из паровойфазы на поверхность отвержденнойферрожидкос тной ванны. После получения пленки с требуемой толщинойи составом уменьцают напряженностьмагнитного поля, обеспечивая тем са 5 мым ожижение феррожидкости, и отделяют пленку от поверхности феррожидкостной ванны.В качестве феррожидкостей могутбыть использованы расплавы легкоплав 1 О ких металлов и сплавов, солей и т.п.веществ с мелкодисперсными добавкамитаких ферромагнетиков, как никель, .железо, кобальт и порошок из сплавов на их. основе.Предлагаемый способ полученияпленок позволяет повысить качествопленок, так как уменьшается испаре"ние с поверхности осаждения и загрязнение пленки веществом ванны. Кроме того, появляется воэможность вестипроцесс получения пленок при повышенных температурах в глубоком вакууме,а также возможность получения пленоктяжелых стекол на поверхности отвержденной феррожидкостной ванны, плот 25 ность которой меньше плотности стекла,формула изобретения30Способ получения пленок, преимуществв е нно с текля ннЫх, путем к онденсации в вакууме паров пленкообразующего материала на поверхность ванны35 с металлом с последующим отделениемпленки, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью повышения качества пленок,.конденсацию паров пленкообразукшего материала, осуществляют на по 40 Верхность ферромагнитнОЙ жидкОстиразмещенной.во внешнем магнитномполе с регулируемой напряженностью,причем при конденсации паров осуществляют отверждение ферромагниткой жидкости, а при отделении плен"ки - ее ожижают,Источники информации, принятыево внимание при экспертизе1, Справочник по производствустекла. Т.1.М Государственное издательство литературы по строительству, архитектуре и строительнымматериалам , 1963, с. 382.Составитель О.Кольцова Редактор Э.Шибаева ТехредЗ.фанта Корректор О,Билак т Заказ 2633/27Тираж 555 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 11303.5 Москва, ЖРаушская набд.45 Филиал 11 ПП Патент,-г.ужгород, ул.Проектная,4