Способ измерения отклонения размеров изделий от эталонной величины

"тнФеК,; ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскиа Социалистическик Республик(51) М. Кл. 6 01 В 11/00 Государственный комитет СССРо делам изобретений и открытий(71) Заявитель Университет дружбы народов им.Патриса Лумумбы(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ОТКЛОНЕНИЯ РАЗМЕРОВ ИЗДЕЛИЙ ОТ ЭТАЛОННОЙ ВЕЛИЧИНЫИзобретение относится к области измерительной техники в оптическом и СВЧ-диапазонах электромагнитных волн, а именно к способам измерения отклонения размеров изделий от эталонной величины и может быть использовано для измерения диаметров сферическихили цилиндрических тел и для измерения профилей контролируемых изделий. 10Известен способ измерения отклонения размеров изделий от эталонной величины, заключающийся в том, что двухлучевой интерферометр предварительно юстируют по эталонному изделию 1 и и вносят в плечо интерферометра контролируемое изделие. По смещению интерфереционных полос оценивают отклонение размеров контролируемого изделия от эталонной величины 11. ЯОНедостатком такого способа является неустойчивость устройства, реализующего способ, к вибрациям и его высокая чувствительность к флуктуациям показателя преломления среды, в кото-о 5 рой проводят измерения.Известен также способ измерения отклонения размеров иэделий от эталонной величины, заключающийся в том, что из электромагнитного излучения ЗО формируют две когерентные пространственно разнесенные волны, в поле одной из которых устанавливают эталонное изделие, а в поле другой - контролируемое, совмещают обе волны и измеряют разность фаз, по которой судят об отклонении размера контролируемого изделия от эталонного 2.Недостатком этого способа является его невысокая точность, обусловленная большими габаритами устройства, реализующего способ, что, в свою очередь, вызвано возможностью юстировки только при больших длинах оптических путей опорной и зондирующей волны; необходимостью термостатирования пространства из-за малых интервалов корреляции показателя преломления среды на пути пространственно разнесенных опорной и сигнальной волн.Целью предлагаемого изобретения является повышение точности измерения.Это достигается тем, что две пространственно разнесенные волны преобразуют в поверхностные.Предлагаемый способ иллюстрируется чертежом.Излучение от когерентного источника 1 подают на систему 2,пля разделения когерентного пучка на две простс,653506 Формула изобретения Составитель В. КлимоваТехред М.Петко Корректор Д.Мельниченко Редактор Н.Козлова Тираж 865 ПодписноеЦНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Х, Раушская наб д,4/5 Заказ 1276/30 Филиал ППП Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 ранственно разнесенные волны 3 и 4, после чего объемные пространственно разнесенные волны 3 и 4 устройством 5 преобразуют в поверхностные волны 6 и 7. Эталонное изделие 8 и контролируемое изделие, 9 устанавливают в поле поверхностных опорной 6 и зондирую щей 7 волн соответственно. При внесении в поле поверхностных волн эталонного изделия 8 и контролируемого изделия 9 меняется фазовая скорость поверхностных волн, причем величина 1 О изменения фазовой скорости зависит от размеров эталонного и контролируемого изделийЗатем обе волны пространственно совмещают системой 10. По измеренной разности фаз в месте прост ранственного перекрытия опорной и зондирующей волн оценивают величину отклонения размеров изделия от эталонной величины.Предлагаемый способ позволяет повысить точность измерения за счет преобразования объемных волн в поверхностные, распространяющиеся в диэлектрическом волноводе, и возможности внедрения изделий в поля поверхностных волн, так как габариты устройства., реализующего способ, существенно уменьшаются (" в 10 раз) по сравнениюас известным. Кроме того, при использовании предлагаемого способа отпада 30 ет необходимость в термостатировании,так как опорная и зондирующая волныраспространяются не в случайно-неоднородной среде, а в статически однородной среде - диэлектрическом волноводе,Способ измерения отклонения размеров изделий от эталонной величины, заключающийся в том, что из электромагнитного излучения формируют две когерентные пространственно разнесенные волны, в поле одной из которых устанавливают эталонное изделие, а в поле другой - контролируемое, совмещают обе волны и измеряют разность фаз, по которой судят об отклонении размера контролируемого изделия от эталонного, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, две пространственно раз- несенные волны преобразуют в поверхностные.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР 9 63059, кл. С 01 В 11/24, 1944.2. Патент Франции Р 2146752, кл. 6 01 В 11/00, 1973.