Термопластичная деколь

Номер патента: 444832

Опубликовано: 30.09.1974

Автор: Александров

МПК: C23C 13/00

Метки: вакууме, нанесения, слоев

...камеру, а также поддержания требуемого давления в последней предусмотрен натекатель 20.В камере 1 создают давление не меньше 30 5 10 -мм рт. ст. Через натекатель 20 подают 15 О П И С А Н И Е (и) 444832ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУаргон до 1 - 3 10 вмм рт. ст, На дополнительный электрод 19, выполненный из тантала, подают 200 - 250 в. Через 15 - 20 мин при помощи вала 7 подложкодержатели начинают вращать со скоростью 50 - 70 об/мин, На танталовый катод 17 подают напряжение 4000 в, устанавливают разрядный ток катода 100 ма. При этих режимах наносят слой тантала на подложки, расположенные на подложкодержателе 2. После нанесения слоя между катодом и подложками устанавливают заслонку (на чертеже не показана), стержню 9 придают...

Номер патента: 1157350

Опубликовано: 23.05.1985

Авторы: Лупашко, Овчаренко, Шкляревский

МПК: G01B 11/06

Метки: многослойных, нанесением, покрытий, слоев, ультрафиолетовых

...невысока 25из-за неодинаковости условий осаждения слоев на чистую поверхность подложки свидетеля и поверх слоя, уженанесенного на рабочую подложку.Целью изобретения является упроще иие процесса контроля и повышениеего точности.Укаэанная цель достигается тем,что согласно способу контроля зананесением слоев многослойных ультра-Зфиолетовых покрытий, заключающемусяв том, что пропускают через наносимыйслой монохроматическое излучение видимой области спектра, регистрируютпоток прошедшего излучения и прекра- щощают нанесение слоя по достижениипотоком заданной величины, излучениепропускают через слой, наносимый нарабочую подложку, а длину волны 1излучения, пропускаемого через наносимый слой, выбирают из соотношения 1 де М - Рабочая длина...

Номер патента: 1567873

Опубликовано: 30.05.1990

Авторы: Байгильдин, Гавриленко, Гайнутдинов

МПК: G01B 11/06

Метки: многослойных, нанесении, оптических, подложку, покрытий, слоев, толщин

...иэ того, что матрица, являющаяся результатом произведения матриц, соответствующих четырем чередующимся слоям, при выборе длины волны излучения согласно (1) эквивалент на единичной матрице. Другими словами, пропускание системы слоев на длине волны, вычисленной по (1), не зависит от числа систем (ВН) или (НВ)2 нанесенных на подложку (В и Н - слои 45 с высоким и низким показателями преломления).Из (1) видно, что аргумент арксинуса не превышает единицу при любом Х. Таким образом, предлагаемый способ 50 позволяет использовать вещества с любыми показателями преломления.Длина волны Фк в зависимости от Х. системы;и - показатель преломления подложки; и - показатель преломоления исходной среды (воздух). Результаты для Х и 1/Х аналогичны.Видно, что...

Номер патента: 1585669

Опубликовано: 15.08.1990

Авторы: Байгильдин, Гайнутдинов

МПК: G01B 11/06

Метки: многослойных, нанесении, оптических, подложку, покрытий, слоев, толщин

...отсюда получены формулы (3) и (4).Для второго слоя из (6) получаем формулу (2).Нанесение первого слоя прекращается по достижении им определенной величины, Очевидно, что наименьшаяошибка в толщине слоя получается когда нанесение слоя прекращается в точке перегиба, т.е. в точке, гдеДифференцируя дважды (5), получа-.ют формулу (1)Доказательство расширения диапазона показателей преломления наносимых слоев и подложки. Т = 3.+Б+Рф(5) Я ного Я 0 14 ---2Нанесение слоя прекращают по достижении потоком прошедшего (отраженного) излучения экстремального значения.При выполнении указанных условий оптическая толщина каждого слоя равна 0,25 ДЭто вытекает из следующих рассуждений: п ип - показатели преломления череП+ 1дующихся слоев.Поток пропущенного...

Номер патента: 1608412

Опубликовано: 23.11.1990

Авторы: Вугальтер, Глазов, Кирзон

МПК: G01B 5/06

Метки: покрытия, слоя, толщины

...толщины пленочного покрытия, осажденного на подложку.Цель способа - повышение информативности путем определения толщины 5 осаждаемого слоя покрытия в любой точке вращающегося подложкодержателя, а также ее зависимости от расстояния до центра вращения подложкодержателя.На чертеже приведена схема для иллю страции предлагаемого способа,Способ определения толщины слоя покрытия заключается в том, что на подложкодержателе 1 размещают и подложек 2 одинакового радиуса В по разным направ лениям от центра вращения подложкодержателя так, чтобы расстояния между центрами подложек и центром вращающегося подложкодержателя отличались у соседних подложек на постоянную величину 20 Ь, т.е. если центр первой подложки удален от оси вращения плоскодержателя...