Способ определения толщины слоя покрытия

Номер патента: 1608412

Авторы: Вугальтер, Глазов, Кирзон

ZIP архив

Текст

(19) ГОСПОПРИ К РСКОМУ СВИД ЪСТВ 2 09362/25-28(21) (22) (46) (72) (53) чались у соседних под величину Ьг,определя щ 1, В/2, Юп слоев и иэ и подложек метод толщину ЧЧ (г) осажда в произвольной точ подл ожкодержателя от расстояния г до подложкоде ржателя висимости Ю г) = А 1+ А 1, А 2, Ап - коэффициен уравнений ап 1(54)СЛО КА. = Щ.; и) -1,2г + гв Вдгссоэ 2 б Г2 г Гв и,н оди ния вра Щп - сре ил. толщина на в-й подлож ДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМГКНТ СССР 1.04.88. 3.11.90. Бюл, М 43 .С. Кирзон, Г.А. Вугальтер и В.П, Глазов 31.717(088.8) етфессель С, Тонкие пленки, их Изгоние и измерение. Под ред Н,С. Хлебва. М, - Л. Гос,энергетическое изд-во, , с.124 - 126, ПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫПОКРЪТИЯзобретение относится.к техническим рениям. Цель изобретения - повышенформативности. Способ заключаетсячто на вращающемся подложкодере 1 размещают и круглых подложек 2 кового радиуса В так, чтобы расстояежду центрами подложек и центром ающегося подложкодержателя отли(51)5 6 01 В 5/06 ложек на постоянную ютсредниетолщины окрытия на каждой ом взвешивания. а емого слоя покрытия ке вращающегося и ее зависимость центра вращения определяют по эаА 2 г++ Аг, где ты линейной системы=1 35 Составитель Н, БочароваРедактор А. Козориз Техред М,Моргентал Корректор В, Гирняк Заказ 3605 Тираж 494 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Изобретение относится к техническим измерениям толщины пленочного покрытия, осажденного на подложку.Цель способа - повышение информативности путем определения толщины 5 осаждаемого слоя покрытия в любой точке вращающегося подложкодержателя, а также ее зависимости от расстояния до центра вращения подложкодержателя.На чертеже приведена схема для иллю страции предлагаемого способа,Способ определения толщины слоя покрытия заключается в том, что на подложкодержателе 1 размещают и подложек 2 одинакового радиуса В по разным направ лениям от центра вращения подложкодержателя так, чтобы расстояния между центрами подложек и центром вращающегося подложкодержателя отличались у соседних подложек на постоянную величину 20 Ь, т.е. если центр первой подложки удален от оси вращения плоскодержателя на г 1, а центр в-й на гп, то (гп 1 - г 1) =(в - 1) Лг, где в = 1, 2. З,п, и осаждают покрытие на вращающийся подложкодержатель 1, 25Далее определяют средние толщины И/1, В/2 Юл СЛОЕВ ПОКРЫТИЯ На КажДОй ИЗ П подложек методом взвешивания, а толщину Ю(г) осаждаемого слоя в произвольной точке вращающегося подложкодержателя оп ределяют по зависимости Рl(г) = А 1+ А 2 г++ Аи где А 1, А 2 А, - коэффициенты линейной системы уравнений 2 ггп,+( В 1 + гй - В аы = - 1 гг агссоз ф 12 гщ - Й 2 г гп 1О/п - средняя толщина слоя на в-й подложке;гп - расстояние от центра в-й подложки до центра вращения подложкодержателя.Формула изобретения Способ определения толщины слоя покрытия, осаждаемого на подложку, заключающийся в том, что взвешивают подложку до и после нанесения слоя покрытия и определяют среднюю толщину слоя по зависимости между весом и площадью слоя, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения информативности способа путем определения толщины осаждаемого слоя покрытия в любой точке, размещают на вращающемся подложкодержателе п круглых подложек одинакового радиуса й так, чтобы площади подложек не перекрывались, определяют средниетолщины Ю 1, ЧЧ 2 Ю слоев покрытий на каждой иэ иподложек, а толщину И(г) осаждаемого в произвольной точке определяют по зависимостиуч(г) = А 1+ А 2 гАпг"где А 1, А 2 Ал - кбэффициенты линейной системы уравнений=12 +Вйг +.1 и - й апа = У" г" агссоз " бг2 гп 1 - Й 2 г Гп 1МАп - средняя толщина слоя на в-й подложке; гп - расстояние от центра в-й подложки до центра вращения подложкодержателя.

Смотреть

Заявка

4409362, 11.04.1988

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2194

КИРЗОН ВЛАДИМИР СЕМЕНОВИЧ, ВУГАЛЬТЕР ГРИГОРИЙ АБРАМОВИЧ, ГЛАЗОВ ВЯЧЕСЛАВ ПАВЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01B 5/06

Метки: покрытия, слоя, толщины

Опубликовано: 23.11.1990

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1608412-sposob-opredeleniya-tolshhiny-sloya-pokrytiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения толщины слоя покрытия</a>

Похожие патенты