Камера образцов для электроннозондового микроанализатора

ОЛ ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Респубттик(61) Дополнительное свид ву 2) Зая 1.01.77 (21) 2442294/18-2 511 А 1, Кл Н 01 .Г 37/20 присоединением заявки3) Приоритет3) Опубликовано 15,11,78, рюллет судврственный комитетавета Министров СССРоо делан изобретенийи открытий) КАМЕРА ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО - ЗОНДОВОГО МИКРОАНАЛИЗА ТОРА чается в повьциении Цель изобретения заклоперативности анализа. Цель достигается тем что в предлагаемой энного перемещения камере механизмы прец становлень анаюртных механнз х реечных мсханиэ. я из шкал переме. столи имер, на ползуна ещения, а кажда мах, напр мов перем щения сто двух коорди.образца и виде лика выполнс атных сеток, соответств талонов, нанесенных на нно, для ланку,: ментом соестко скреп тветств мегцени ленную сщего мех одвижным эл Усложнение механизмов,кууме, снижает надежность низма нрецнзио ример, с винт змов. того, корпус)движных эл юго пе м одно аходящихся в 20 нз ви столика, навых меха аботы, замедля. ния высокогою изготовления,т и затрудняет иакуума, усложнядорожает констр цесс полу технологи меры снабжен упо транспо ртми для. Изобретение относится к электронно зондо вым микроанализаторам.Известна камера образцов для электроннозондовых микроанализатора, которая содержит столик образца и эталонов и механизмы его перемещения. Для повышения оперативности анализа столик снабжен двумя каретками, од. на из которых предназначена для образца, другая для эталонов, каретка с образцом пе. ремещается точным винтовым механизмом, каретка. с эталонами толкателем. Однако быст о рое перемещение осуществляется только по одной координате. По второй координате транспортное перемещение осуществляет механизм прецизионного перемещения. В вакуумном объе. ме камеры размещена дополнительная каретка 15 с эталонами и ряд дополнительных механизмов, обеспечивающих взаимосвязь и нужную последовательность движения кареток 11. Известны камеры образцов для электроннозондовых микроенализаторов, содержащие вакуумный корпус, столик для образца н эталонов, механизмы прецизионного перелещения столика по двум координатам (винтовые) и цкалы пере. мещения столика по каждой нз координат 12,Недостатком известных камер является медленный переход от образца к эталонам и обрат. но, что снижает оперативность анализа.ных механизмов, например, ползунов реечных механизмов, и фиксаторами указанных элементов.Сущность изобретения поясняет чертеж, Камера образцов содержит герметичный высоковакуумный корпус 1, в котором расположен столик 2 с образцом 3 и эталонами 4, Столик снабжен направляющими 5 и 6. Два идентичных привода перемещения 7 и 8 распо. ложены вне вакуума, Привод имеет винт 9,проходящий в вакуумный объем через уплоткние 10 и гайку 11, составляющую одно целое с барабаном 12, Гайка 11 вращается в подшипниках 13 ползуна 14. Ползун 14 надет на ци. линдрический корпус 15 и своим торцом прижат к упору 16 с помощью фиксатора 17.Ползун 14 имеет зубчатую рейку 18, находящуюся в зацеплении с трибкой 19, Винт 9 удерживается от вращения шпонкой 20, несущей на себе планку со шкалой 21 коорди-, нат эталонов и шкалой 22 координат образца.Камера работает следующим образом.При вращении барабана 12 винт 9 двигается поступательно, толкая столик 2, при этом шкала 22 перемещается относительно торца барабана 12, давая отсчет положения образца, Тяга 23 отводит фиксатор 17, после чего поворот трибки 19 перемещает ползун 14 с гайкой 11 и винтом 9, приводя в движение столик 2, при этом шкала 21 перемещается относительно корпуса 1, давая отсчет положения эталона.Основной эффект от применения изобретения получается за счет сокращения времени цниипи Тираж 91 Заказ 656 Подписное иал ППП "Патент",жгород, ул. Проектная 633095анализа и большей достоверности результатов,обусловленной жесткой фиксацией анализируемойточки образца.Формула изобретения1, Камера образцов для электронно-зондового микроанализатора, содержащая вакуумный корпус, столик для образца и эталонов, механизмыпрецизионного перемещения столика в корпусе подвум координатам, например винтовые и шка.лы перемещения столика по каждой из коорди.нат, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, сцелью повышения оперативности анализа, механизмы прецизионного перемещения столикаустановлены в транспортных механизмах, напри.мер, на ползунах реечных механизмов перемещения, а каждая шкала перемещения столика выполнена в виде двух координатных сеток, соот.ветственно, для образца и эталонов, нанесенныхна планку, жестко скрепленную с подвижнымэлементом соответствующего механизма прецизионного перемещения столика, например с винтомодного из винтовых механизмов.2. Камера по п. 1, о т л и ч а ю щ а я с ятем, что ее корпус снабжен упорами для под.вижных элементов транспортных механизмов,например ползунов реечных механизмов, и фиксаторами указанных элементов,Источники информации, принятые во вни.мание при экспертизе:1. Авторское свидетельство СССР У 397827,6 01 М 23/22, 1973.2, Проспект фирмы 30, ЭХАР 682, 113-35 Тр, 7, 9