Патенты с меткой «электроннозондового»

Номер патента: 633095

Опубликовано: 15.11.1978

Авторы: Денисов, Макаров, Морозов, Панов

МПК: H01J 37/20

Метки: камера, микроанализатора, образцов, электроннозондового

...(винтовые) и цкалы пере. мещения столика по каждой нз координат 12,Недостатком известных камер является медленный переход от образца к эталонам и обрат. но, что снижает оперативность анализа.ных механизмов, например, ползунов реечных механизмов, и фиксаторами указанных элементов.Сущность изобретения поясняет чертеж, Камера образцов содержит герметичный высоковакуумный корпус 1, в котором расположен столик 2 с образцом 3 и эталонами 4, Столик снабжен направляющими 5 и 6. Два идентичных привода перемещения 7 и 8 распо. ложены вне вакуума, Привод имеет винт 9,проходящий в вакуумный объем через уплоткние 10 и гайку 11, составляющую одно целое с барабаном 12, Гайка 11 вращается в подшипниках 13 ползуна 14. Ползун 14 надет на ци....