Гидравлический привод

(11) 3 Свез Советских Социалистических РеспубликВТОР СКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Ф лнительное к авт. свид 15 В 15/О(23) П Государственный комите Совета Министров ССС т 3) Опубликовано 30.10.78, Бюллетень5) Дата опубликования описания 15,09,78(71) Заявитель 4) ГИДРАВЛИЧЕСКИЙ ПРИВ Изобретение относится к приводам, преимущественно для механизмов точных перемещений, и может быть использовано, в частносп, для прецизионного перемещения подвижного зеркала интерферометра Майкельсона.Известен прецизионный гидравлический привод, предназначенный для осуществления линейных микроперемещений объекта, например зеркала интерферометра,Известный гидравлический привод представляет собой камеру с установленным в ней винтом-поршнем, заполненную жидкостью, а одна стенка камеры выполнена в виде тонкой металлической мембраны. Работа этого привода основана на перемещении упомянутой мембраны при изменении приложенного к одной из ее сторон гидростатичсского давления, создаваемого вытесненной поршнем жидкостью 1.Недостатки вышеописанного привода заключаются в том, что оно не обеспечивает достаточной точности и плавности перемещения зеркала интерферометра и его плоскопараллельность вследствие влияния вибрации привода винт-поршень на мембрану, а отсутствие точной дозировки жидкости в камеру ведет к ее протеканию через уплотнения; кроме того, большое время холостого хода винта-поршня снижает производительность микропозиционера. Наиболее близким к данному изобретению техническим решением является гидравлический привод, содержащий гидроцилиндр с полым поршнем, образующим под поршневую и надпоршневую полости, и неподвижно закрепленный на крышке цилиндра полый шток, внутренняя полость которого связана с исполнительным механизмом 2. С помощью этого гидропривода осуще- О ствляется ускоренное предварительное перемещение поршней силовых цилиндров исполнительного механизма и автоматическое переключение на подачу в нпх жидкости высокого давления.5 Недостатками этого привода является то,что конструкция его не дает возможности регулировать скорости перемещения силовых поршней и не обеспечивает ее стабильности; производительность его низка вслед- О ствие большого времени холостого хода,почти равного времени рабочего ода; конструкция его сложна и громоздка пз-за потребности в дополнительных коммуникациях для сжатого воздуха.5 Цель изобретения - повышение то гностии стабильности перемещения, а также повышение производительности привода,Поставленная цель достигается тем, чтов поршне параллельно оси выполнен сквоз- О ной канал для сообщения подпоршневой инадпоршневой полостей и поршень снабжен630463 11 ад, 1 ха б 72 Заказ 1807/1 б Тираж 87 б Подписное Типография, пр, Сапунова, 2 закреплсшюй на торце питью и механизмом типа ворот, связанным с нитью,1-1 а переже схематически изооражсн гдравлический привод, продольный разрез.Гидравлический привод содержит гидроцилипдр 1 с полым поршнем 2 внутри, образу 1 ощим надпоршневую 3 и подпоршневую 4 полости, соединенные каналом 5; на крышке б установлен полый шток 7, через канал 8 которого внутренняя полость поршня 9 связана с маслопроводом 10. Гидравлический привод снабжен механизмом типа ворот 11 с нитью 12 и индивидуальным электроприводом (на чертеже не показан). Маслопровод 10 связан с рабочей камерой 13 исполнительного механизма 14, снабженного подвижным органом 15, осуществляющим точные перемещения.Гидравлический привод работает следующим образом.В исходной позиции поршень 2 находится в нижнем положении (объем подпоршневой полости 4 минимальный). Прп включении электропривода механизма ворот 11 нить 12 поднимает цилиндр 1. Рабочая жидкость из подпоршневой полости 4 через маслопровод 10 поступает в камеру 13 исполнительного механизма 14, в котором давление жидкости преобразуется в точные перемещения подвижного органа 15 исполнительного механизма 14. При отключении механизма ворот 11 от электропривода поршень 2 под действием силы тяжести падает вниз (при этом скорость его подбирают конструктивно сечением капала 5), а жидкость нз поршневой полости 4 по каналу 5 поступает в подпоршневую полость 3. Затем цикл работы повторяется. 4Благодаря тому, что гидравлический привод выполнен отдельно от исполнительного механизма точных перемещений и соединен с ним гибким маслопроводом, вибрации, 5 возникающие в гидроприводе, не передаются на исполнительный механизм, а принудительное перемещение полого поршня вверх (рабочий ход) от механизма ворот и его свободное падение вниз (холостой ход) по зволяют выбрать оптимальную скоростьподвижного органа исполнительного механизма. 15 Фор мула изобретения Гидравлический привод, преимущественно для механизма точных перемещений, содержащий гидроцилиндр с полым поршнем,20 образующим подпоршневую и надпоршневую полости, и неподвижно закрепленныйна крышке цилиндра полый шток, внутренняя полость которого связана с исполнительным механизмом, о т л и ч а ю щ и й с я25 тем, что, с целью повышения точности истабильности перемещений, а также повышения производительности, в поршне параллельно оси выполнен сквозной канал длясообщения подпоршневой и надпоршневой30 полостей, а поршень снабжен закрепленнойна торце нитью и механизмом типа ворот,связанным с нитью.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе35 1. Приборы для научных исследований,1978, Ка 5, с, 30.2, Лвторское свидетельство СССРМ 89 б 68, кл. г 15 В 3/00, 1950,