Биметаллический трафарет
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 620936
Авторы: Литваковский, Мелик-Оганджанян, Ситникова, Скопцова
Текст
Союз Соввтских Соцналистицвскнх РеспубликОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ вгоаЗВ) 2440336 3,01,7 присоединением заявки Хе осударственныа комитетСоаета Иинистрое СССРоо делам изобретенийи открытий 3) Прн т -8.бюллетень М. 31 писания 13,07,78,(53) УДК) Авторы изобретен 1) Заявител РАФАРЕТ МЕТАЛЛИЧЕС о больше, чем размеры пре ерстия 3 в слое второго м к фотолнтогрвм для экспон 1 ионного лла 1 н исунков межного слоя в врет накладывается основ 5, нанесенного на подорези фотошаблоньпленке 11 ботает следующим о тия 3 фотошвблоно оннык покры ый вызывает ел оляции мвкнавеса вто осве- уменьшаеталлически ову с отльше раз пенность пон экспонировании ся до О, Соответственно рас освешенности происходит уме еделениюшение а лое второго реэистойст ы слоя омошь лш С ва многоус иуче дл разцы,ту на с ра оляци ет 171 пересечен межслоевых перех попложку термичес ореэисте.ертеже.собой бим вакууме наноситс ма и формиру)тсровня коммутаци яший из осазмеры котопервогоодом центрия проводник и. Затем м 25 Изобретение относитсяфии, в именно к устройстварования при изготовлении рслоевой изоляции или эвшипленочных системвк.Известны эмульсионные на стекле или органической Недостатком известных является получение изоляци тий с резким краем, котор разрыв верхник проводнико Известны так же бимет трафареты, содержащие осн стием, размер которого бо прецизионного отверстия в металла 121,С целью повышения качслойных пленочных структу) ния рисунка межслоевой и проколов и с пологим краем устройстве размещена на фоУстройство показано на Устройство представляет таллический трафарет, состо новы 1 с отверстием 2, р ложку 6,Устоойствс раразом.Размер прецизионного отв в слое второго металла 4 оп границы слоя межслоевой иэ симальной толшины. Р зоне рого металла 4 над основой р вв изготовлены об едстввляет собой плвподложке. Нлатв имеие проводников и 160опоя. На ситвлловую ким напылением в медь с подслоем хроЗаказ 4653/43 Тираж 564 ПодписноеЦНИИПИ Государственного комитета Со-ета Министров СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП "Патент" г, Ужгород, ул. Проектная, 4 фугирования наносится слой негативногофоторезиста фН 11 к и проводится формирование межслоевой изоляции через биметаллический трафарет. Проводники второго уровня коммутации формируются аналогично проводникам первого уровня. Биметаллический трафарет дает пологий крайфоторезиста практически при любой еготолйине. Экспонирование ведется черезокна в металле, в связи с чем дефекты,которые обычно имеются на эмульсионном слое и на основе фотошаблона, отсуствуют. формула изобретения Биметаллический трафарет, содержащий основу с отверстием, размер которого болыпе размера пряди;инно Отверстия в слое второго металла, о т - л и ч в ю ш и й с я тем, что, с целью повышения качества многослоВпх пленочных структур для получения рисунка межслоевой изоляции без проколов и с пологим краем при экспонировании негативного фоторезиста, основа в нем раз мешена на фоторезисте,Источники информации, принятыевовнимание при экспертизе: 1. Куоносов А, И.,Юдин В, В, Технология производства полупроводниковых приборов, М., 1974, с. 70-71, 76-77,2, Берри РХолл П., Тонкопленочная технология, М 1972, с. 122,
СмотретьЗаявка
2440336, 03.01.1977
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4677
ЛИТВАКОВСКИЙ БОРИС АДОЛЬФОВИЧ, МЕЛИК-ОГАНДЖАНЯН ПАРСАДАН БАГРАТОВИЧ, СИТНИКОВА СВЕТЛАНА ИВАНОВНА, СКОПЦОВА ОЛЬГА СТЕПАНОВНА
МПК / Метки
МПК: G03F 7/20
Метки: биметаллический, трафарет
Опубликовано: 25.08.1978
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-620936-bimetallicheskijj-trafaret.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Биметаллический трафарет</a>
Предыдущий патент: Устройство для сушки диэлектрических лент, например, кинопленок
Следующий патент: Цифровой измеритель одиночных временных интервалов
Случайный патент: Способ предупреждения самовозгорания угля