Поляризационный интерферометр переменного сдвига

ОПИЕ ИЗОБРЕТЕНЙЯ Союз Сенетскнк СОциэпнстическн х Республик(45) Дата опубликования опис Государствеииый комитетСовета Мииистров СССРио делам изобретекийи открытий етеиь % Зо ия 010778.Л, Арлов 1) Заявитель 54) ПОЛЯРИЗАЦИОЯНЬФ ИЯТБРФЕРОИЕТРСДВИГА ЕИЕЯН для Чсщепления световых вог лу ей.Яедосттоянное налных полос,лению сдвиделенные оисследуемыхтодику иэм нтерФерометра - о ие иитерФеренциондикулярное направнакладывает опрвния на геометрию тов и усложняет ме ткой равле перпе а, чт ранич объе рений двух ,ного Изобретение относится к контрольно-измерительиой технике и может быть использовано, в частности при измерении взаимных линейных смещений деталей приборов и при изуче" нии прозрачных неоднородностей.Известен поляриэационный интерФерометр сдвига, содержащий устрой ство для получения переменного направления интерФеренционных полос в виде двух призм Волластона, развернутыхпо отношению друг к другу на 90 Щ . Однако такой интерферометр обладает постоянной величиной сдвига, что ограничивает его возможности при измерении разнообразных объектов.Наиболее близким к изобретению но технической сущности и достигаемому эФФекту является поляризационный интерФерометр переменного сдвига, содержащий последовательно рас положенные на одной оптической оси источник света, коллнматор, устрой- ство сдвига волновых Фронтов, установленное с воэможностью перемещения вдоль оптической оси, теле копи-. ческую систему и приемный блок 21, В качестве устройства сдвига волновых Фронтов может быть использовано любое иэ известных приспособлений Цель изобретения - расширение .технологических воэможностей интерФерометра.Поставленная цель достигается тем, что в предлагаемом иитерферометре устройство сдвига волновых Фронтов выполнено в виде трех поляриэационных призм Волластона, первая и третья иэ которых идентичны по своим параметрам и развернуты на 180 относительно друг другао а вторая призма развернута на 90 относительно двух других и установлена в плоскости промежуточного иэоб.ражения объекта.В такой схеме величина сдвига изображений определяется параметрами и разностью расстояний первыхпризм от плоскости промежуточиэображения, а ширина полос619787 Формула изобретения оставитель Л. ехред З.Чужию оваКорректор С. ГПодписноеИинистров СССРй Редактор И. МарголисЗаказ 4491/37ЦНИИПИ Государспо д113035 Иоск асиня Тираж 872твенного комитета Совеелам изобретений и отква ЖРаушская наб ы ПП Патент, г. Ужгород, ул, Проектная, 4 Филиал параметрами призмы, расположеннойв этой плоскости,На чертеже изображена принципиальная схема описываемого интерФерометра.Интерферометр содержит источник 1света, коллиматор 2, полупрозрачную 8пластину Э, поляроид 4, устройство 5сдвига волновых Фронтов, выполненноев виде трех поляризационных призмВолластона, телескопическую системуб, приемный блок в виде объектива 7 Юи микроскопа 8,Предлагаемый интерферометр работает следующим образом.Свет от источника 1, помещенногов. Фокусе коллиматора 2, параллельным 5пучком проходит полупрозрачную плас-.тину 3, поляроид 4, устройство 5сдвига волновых Фронтов и через телескопическую систему б параллельнымпучком иалравляется на объект,9. Коллимационное изображение объекта 9 переносится объективом 7 в предметнуюплоскость микроскопа 8. В поле зрения МикрОскопа наблюдаются исследуемые зеркально отражающие поверхности и соответствующие им системыиитерФеренционных полос. Относительное смещение систем интерференцнонных полос, выраженное количествомполос, определяет изменение величиныуступа между исследуемыми поверх.ностями т.е. величину линейного смещения деталей. Измерение же величины смещения между системами интерФеренционных полос выполняется способом, известным в интерферометрии. Поляриэационный интерферометр переменного сдвига, содержащий последовательно расположенные на одной оптической оси источник света, кол-лиматор, устройство. сдвига волновых Фронтов, установленное с воэможностью перемещения вдоль оптической оси, телескопическую систему и приемный блок, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей интерферометра, устройство сдвига волновых Фронтов выполнено в виде трех поляризационных призм Волластона, первая и третья иэ которых идентичны по своим параметрам и развернуты на 180 относительно друг дрязга, а вторая призма развернута на 90 относительно двух других и установлена в плоскости промежуточного изображения объекта.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1, Оптико-механическая промышленность 1, 1970, 9 1, с. 29.2, Авторское свидетельство СССР 9 438865, кл.01 В 9/02, 1972.