Устройство для определения параметров сканирующего электронного пучка

Номер патента: 1098513

Опубликовано: 27.03.1996

Авторы: Завьялов, Зверев, Лисин, Мартынов

МПК: H01J 29/48, H05H 5/02

Метки: атмосферу, вывода, инжектор, пучка, электронов

1. ИНЖЕКТОР ЭЛЕКТРОНОВ ДЛЯ ВЫВОДА ПУЧКА В АТМОСФЕРУ, содержащий электронную пушку с анодным фланцем, на котором закреплено устройство для проводки пучка, содержащее магнитные линзы, и газодинамический тракт с газодинамическим затвором, снабженный системой охлаждения и содержащий встроенные конусные диафрагмы, расположенные вдоль оси тракта, и соединенный переходниками с индивидуальными вакуумными насосами, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности при работе устройства в непрерывном режиме, корпус газодинамического тракта выполнен монолитным с внешней поверхностью в форме параллелепипеда, одна грань которого расположена параллельно анодному фланцу, а в боковых гранях выполнены вакуумные переходники, оси которых лежат в одной...

Номер патента: 484341

Опубликовано: 15.09.1975

Автор: Елизаров

МПК: F16H 15/48

Метки: вариатор, вращения, осей, планетарный, сателлитами, скорости, физических, фрикционный

...6 щаться боковыс диски 7,шестерни 8 и 9 приводят 30 мый вал 3., а снима аясь вокр засгавл Последн во вращенцентраль- подавать ть с вала уг непо;- яют враис через ие ведоИзобретение относится к механ редачам и может быть использов личных отраслях машиностроения. Известен фрикционный планета атор скорости с сателлитами без осей вращения, содержащий корпу и выходной валы, сателлиты в вид идов вращения, центральный и дв щаемых вдоль осей боковых фра подшипникахНа среднейла 2 свободно влен центральнтактирующий с аждый сателлитида и также нос цо н ы хи и о и 7. Диски 6 лицах. Ступицы 9 сцеплены с веный подшипнико диска 6, Для щения дисков 6змом осевого пенечивает одно- в 6 и 7 каждого равлеии центРедакто ильк орре Тираж 869овета...

Номер патента: 977965

Опубликовано: 30.11.1982

Авторы: Бундыч, Дегтярев, Порубаймех

МПК: G01M 1/12

Метки: вращения, оси, положения, ротора

...ро тора, датчик перегрузок устанавливают в произвольном месте, после перемещения его до достижения нулевого уровня сиг10 формула изобретения 3 9779нала датчика перегрузок последний поворачивают на 90 о в плоскости рогора иповторно перемешают датчик перегрузокв этом направлении до достижения нулевого уровня сигнала датчика.На чертеже изображена схема, поясняющая предлагаемый способ.Способ определения положенйя осивращения ротора осуществляется следующим образом.Б произвольном месте на плоскостиротора 1, которая перпендикулярна осиего вращения, устанавливают датчик2 перегрузок в произвольном направленииАА оси его чувствительности. Приводятротор 1 во вращение и на постоянныхоборотах перемешают датчик 2 по направлепию ААиз положения 1...

Номер патента: 1072148

Опубликовано: 07.02.1984

Авторы: Назаров, Полиновский

МПК: H01J 37/30

Метки: изделия, ионного, обрабатываемого, относительно, пучка, установки

...и датчики 2-4,регистрирующие ионный ток, сигналы которых подаются на входы приборов 5 для измерения величины тока. Датчики 2-4выполнены в виде проводящих зондов и установлены в контрольных тачках поверхности шаблона 1. Датчик 2,служащий для центрирования оси ионного пучка с осью вращения изделия,размещен в геометрическом центне шаблона, датчики 3-4, используемые припроверке точности рабочих перемещений ионного пучка относительно изделия - на окружности, диаметр которойравен световому диаМетру изделия впротиволежащих относительно центраточках,Юстировку положения ионного пучка относительно. обрабатываемого изделия (в данном случае центрировку осипучка с осью вращения изделия) осуществляют следующим образом (Фиг.2).Шаблон 1 с...

Номер патента: 1748202

Опубликовано: 15.07.1992

Авторы: Асалханов, Домбровский, Желаев

МПК: H01J 29/48

Метки: медленных, моноэнергетических, пучка, пушка, электронная, электронов

...поло сти диаметром 10 мм на глубину 2 мм так,что внутри цилиндра образована перегородка толщиной 1 мм, по центру которой сделано отверстие диаметром 1,5 мм дляпрохождения электронного луча, Выходнойэлектрод 14 электростатической личзы пристыковывается к коллектору отраженных от образца электронов также с помощью керамических трубок 11 описанным выше способом. Коллектор отраженных электронов представляет собой диск 16 толщиной 1 мм, и диаметром около 30 мм, в центре переходящий в цилиндр высотой 7 мм с наружным диаметром 9 мм, На внутренней поверхно. сти данного цилиндра нарезана сквозная резьба М бх 1, Вторая часть коллектора отражен н ых электроновсостоит из выходного электрода 17 пушки, представляющего собой трубку длиной 15 мм и...