ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е и 1 ьо 796ИЗОБРЕТЕН ИЯ Своз Советских Социалистических Республик(22) Заявлен 51)М, К 6 01 К 7/16 исоединением заявкиГасударственный намнтет Сееетв Мнннстрав СССР ва денем нэабретеннй н аткрытнй(43) Опубликовано 15,04,78, Бюллетень1 (45) Дата опубликования описания 17.03.78 3) УДК 536,531 (08(71) Заявитель 54) ТЕРМОМЕТР СОПРОТИВЛЕН Изобретение относится к области температур.гх измерений, а именно к пленочным термометКонструктивлнен в виде ди ю термометр сопротивления вы лектрической подложки с кон. дками, на которую методом эпикпения нанесена пленка кремния,м сопротивле ктными площа аксиального оса Известны термометрельный элемент которыхсопротивленвыполнен из вго золотом 1 ьность, однакая зависимост ного кремния, легированнимеют высокую чувствитестатком является нелинейн Термометр сопротивления имеет линейнуюзависимость сопротивления от температуры в интер.вале температур от - 100 до +400 С. Область изме.рения температур простирается до - 200 С. пения от температурыратур ком диапазоне тем Удел ьн е сопротивление гетероэп жит в пределах 0,0007 - енин термометра сопроти дельным сопротивлением итаксиальнои 0,007 Ом см. вления из ма. ометров сопротивления наи.еской сущности к предлачный термометр сопротивый элемент которого вы б сталлических слоев твердых известных термиэким по технич вляется плен аемо пения полне вышев его харак 1, чувствительнвиде монокрив бе+5,днако такой терм является нелинеинос ство ометр отличается непазоном измеряемых те Величина номинального сопротпв метра может изменяться в тшроких и 100 Ом до 10 кОм и определяется за ствительностью, необходимой точность условиями теплоотвода. Например, при нии термометра, равном 5 кОм и нанр тания 5 В его чувствительность составля дус при точности измерения 0,5 С, статочно широким ди мрение сопротивлеяжении питер- ной гаем ксиал т 2,5 мВ/гра. иератур,Целью изобретения является расшипературного диапазона измерений.Цель достигается тем, что в предлмометре элемент выполнен из гетероэпструктуры "кремний на сапфире". ия, чувстви- кокоом. Они их недосопротив структуры лПри изготовтериала с0,007 Ом смтеристике. ения термоределах от данной чувю измерения,602796 Составитель В. КуликовТехред М.дев ицкая Редактор И, Шубина Корректор А, Кравченко Тираж 831 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Заказ 1836/37 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4 Термометр сопротивления стоек к радиационному излучению. Его удельное сопротивление не изменяется вплоть до доз облучения 510нейтронов(с з.Выполнение чувствительного элемента термометра иэ структуры "кремний на сапфире" позволя. ет испольэовать при изготовлении термометра сопро. тивления хорошо отработанную технологию изготовления кремниевых приборов и микросхем. Малая толщина эпитаксиальной пленки кремния л 1 мкм 1 О позволяет изготавливать термометры сопротивлений с любым начальнь 1 м сопротивлением и размерами. не превышающими 11 мм . Формула изобретенияТермометр сопротивления, содержащий чув.ствительный элемент в вице пленки, нанесенной надиэлектрическую подложку, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью расширения температурногодиапазона измерений, чувствительный элемент выполнен из гетероэпитаксиальной структуры "крем.ний на сапфире",Источники информации, принятые во вниманиепри экспертизе:1. Патент США У 3292129,кл. 338 - 22, 1966,2, Авторское свидетельство СССР Ме 478202кл. 6.01 К 7/16 1973,

Смотреть

Заявка

2347142, 12.04.1976

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3759

БЕЛОГЛАЗОВ АЛЕКСЕЙ ВАСИЛЬЕВИЧ, КАРНЕЕВ ВЛАДИМИР МИХАЙЛОВИЧ, ПАПКОВ ВЛАДИМИР СЕРГЕЕВИЧ, СЕМЕНОВ ВЛАДИМИР ФЕДОРОВИЧ, СТУЧЕБНИКОВ ВЛАДИМИР МИХАЙЛОВИЧ, СОКОЛОВА АЛЛА АЛЕКСЕЕВНА, СУХАНОВА НАТАЛЬЯ НИКОЛАЕВНА, ШКОЛЬНИКОВ ВЛАДИМИР МИХАЙЛОВИЧ, ТЕРЕХОВ ГЕННАДИЙ ДМИТРИЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01K 7/16

Метки: сопротивления, термометр

Опубликовано: 15.04.1978

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-602796-termometr-soprotivleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Термометр сопротивления</a>

Похожие патенты