ZIP архив

Текст

ПИСАНЗОБРЕТЕй Союз Советскнк Социалистических Республик Ф(61) Дополнительное н а (22) Заявлено 070676(2 т) с присоединением заявки св 0141/29 - 333 10 ГюьрбюрютюьВВЬ 66 юьаютьт6 юььтю Мюююьтрьа 666 Рюю ааааа юаьбрьтаВВВю ьтюритай Приорите(088.8) 43) Опубликовано 0511 45) Вата опубликования толлетень В 4 исания 23,11.7(72) Авторы изобретени ерчиков, У. Я, Седмалис и Я. П. Лиепинь нь Рижский Орден политрудового Красного энамеический институттеклам ческог вывать ь ческой пеи макси-1450 С.вой мельнисева фрак"0 мкми я нанесениеого терми" дом плаэ 5 ерос - понижение коэффирасширения стеклатонких пленок на еде а б л и ц ание, вес,В Номер стекрат рки АЕ,О М 0 10,65ф 7 134 138 142 2,0 2,1 4,1 15,05 0,5 19,1 3,0 25 5 5,8 57,45 19,2 47,3 13,8 37 5 5 4 11 17 Изобретение относится к сс низким коэффициентом термирасширения, способным образотонкие пленки на кремнии и другихполупроводниковых материалах, испзуемых в радиоэлектронной и радиотехнической промышленности.Известно стекло, включающее510 49-51 т ДЕ 0 23-25 т МО,4,5; Еп 0-5-10 Т Со.0 7-8; В о 555; СоО 2535 1)Указанноестекло нв облаДаетдостаточно низким коэффициентом тмического расширения и не способнобразовывать тонких пленок при рапылении в вакууме,Цель изобретенияциента термическогои получение из него кремнии при термическ вакууме. Это достига стекло имеет следующ синтезу), вес.: 510 АГ О, - 5-25; Л 1 ц 0 26; Сд 0 - 0,5-6; 5 г 0 0 5-6 Стекло варят в электри в корундовых тиглях иальных температурах - 1текла размалывают в шаре и полученные после раии порошка стекла 200-3иже 63 мкм используют дла деталь методом вакуумнеского распыления и метенного напыления.Пример составов стекотабл. 1.579241 8 ф физико-химические свойства сос 0,05 0,07 0,10 0,07 0,09 0,12 6,0 6,8 8,3 600 650 680 35 41 52 895 918 с я тем, что, с целью понижениякоэФфициента термического расширенияи получения пленочного покрытия наполупроводниковых материалах, преи- ЯО мущественно на кремнии, оно дополнительно содержит 5 гО и ВцО при следующем соотношении между компонентами,вес.%: Полученные стекла имеют ряд преимуществ по сравнению с известными.Они обладают малыми коэффициентами термического расширения. Благодаря отсутствию фкиси бора и щелочныхокислов они способны сохранять свой сос ав при термическом распылении в вакууме и даже при плазменном напылении и давать также пленочные покры тия на кремнии и других полупровод- Я 5 никовых материалах. Стекла являются бесщелочнымн и имеют высокие диэлектрические свойства и хорошую химическую устойчивость к воде,510 АЕ,Оз Мо ЕпО Са 0 5 гО ВоО формула изобретения Составитель А. ЦуриковРедактор С. Головенко Техред А,Богдан Корректор Н.КовалевВ Заказ 4327/24 Тираж 583 ПодписноеЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 СтеклоФ включающее 5102 Д 6203МО,ЕлО,СцО, отличающеетазов стекол приведены з таблице 2,Таблица 235-60 5-25 5-17 15-26 0,5-6 0,5-6 0,5-6 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1. Авторское свидетельство СССР В 380599, кл. С 03 С 3/04, 1973

Смотреть

Заявка

2370141, 07.06.1976

РИЖСКИЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

ГЕРЧИКОВ АЛЕКСАНДР АРКАДЬЕВИЧ, СЕДМАЛИС УЛДИС ЯНОВИЧ, ЦИМДИНЬ РУДОЛЬФ АВГУСТОВИЧ, ЛИЕПИНЬ ЯНИС ПЕТРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: C03C 3/10

Метки: стекло

Опубликовано: 05.11.1977

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-579241-steklo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Стекло</a>

Похожие патенты