Способ соединения кремния со стеклом

Номер патента: 1028619

Авторы: Матвеев, Хоменко

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСНИХЫВЛФеКРЕСПУБЛИК ию а 1)(54) (57) СП НИЯ СО СТЕ пей аа,счет п ду ними от и причем анод лнч ающ обеспеченйя кр счет контропи пронзвоцят до 10-25 %. СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОЧНР(56) 1. Авторское свидетельство СССРИ 601246, кп, С 03 С 27/02, 1976.2, Ча 111 в 6., Оогьеу .,"РощегапйьА пеи д 1 аьь ьеа 11 пц ргосеьа" . Че 10.,11970, М 9,11 11 852-857; ОСОБ СОЕДИНЕНИЯ КРЕМКЛОМ, путем нагрева детарипоження напряжения меж- сточника постоянного тока, оециняют с кремнием, о т -. и й с я тем, что, с цепью ачественного соецийения ва рования его времени, нагрев повышения напряжения на619 Нача напр 2 20-250 8 0-1 00 000 100-1250 3 1 1 1 2 500 И 40ки кузпатироуэпоподьсект ставитепьхРед А,Ач елобокова КоРРектоРВ, Ги актор М, Бандур аказ 4884/1 6 Тираж 486ВНИИПИ Государственногпо делам изобретени 13035, Москва, Ж, Раушс Подписноекомитета ЯССи открытийая наб.,д. 4/5 иал ППП "Патент, г, Ужгород, ул, Проектная, 4 1 1028Изобретение относится к созданию узлов попупроводниковых текзометрическихпреобразователей давления, силы, акселерометров и может быть испопьзоваго дляпопучения нераэъемных соединений кремния со стекпом, входящих в эти преобразователи,Известен способ спайки стекла с металлом, включающий нагрев деталей с соэданием напряжения между ними от источника постоянного тока, причем анод соединяют с металлической деталью,а нагревосуществцяют до падения напряжения меж-ду анодом и катодом на 520% 113,Однако этот способ не является определяющим дпя стеклокремниевого соединения , так как кремний со стеклом сваривается при высоких эпектрических напряжениях и низких температурах,Наиболее близким к иэобретеьию является способ соединения кремния со стеклом, включакиций нагрев детапей с подачей на сборку электрического напряженияпостояннооо така, причем анод соединяютс кремнием2.25Известный способ не позволяет контропировать момент завершения процесса свар.ки кремния со стекпом,Цепь изобретения - обеспечение качественного соединения за счет контролирова- З 0ния его времени.Цепь достигается тем, что согласноспособу соединения кремния со стекломпутем нагрева деталей эа счет приложениямежду ними от источника постоянного токацричем анод соединяют с кремнием, на-грев производят до повышения напряже-;ния на 10-25%.П р и м е р 1.Сваривают деталь из стек.ла Пирекс" в виде трубки диаметром и высотой 6 мм с кремниевой. мембраной диаметром 6 и толщиной 1 мм. После разогрева деталей до 400 С на сборку. подают напряжение величиной 3.ОООВ постоянного тока(положительный потенциал подают на кремний), Процесс сварки при ус 1 тановившейся температуре завершают в тот момент, когда напряжение достигает максимальной вепичины, равной 1100 В, Испытанием узлов на отрыв кремниевой мембраны установлена равнопроч ность соединения, все разрушения происходят по стекпу. Натекание гелия при испытании на герметичность составпяет не более 1,5,.10 л, мм. рт, ст/с.-бП р и м е р 2, Производят сварку кремниевой мембраны со стекпометаппическим узлом (стеклянной деталью из "Пирекса"); Т = 400 С О = 600 В; при достижении напряжения 750 В напряжение отключают дают сборке остыть и извлекают из печи. Испытания на отрыв показывают 100%-й контакт, герметичность узла по натеканию гелия не выше 1 ф 10 и. мкм рт. ст:/с.Возможные режимы соединения кремния со стеклом, приведены в табпице. спользование предпагаемого способа пяет автоматизировать процесс сваремния со стеклом применитепьно к м преобразователей и при этом гаран ать высокий процент выхода годных в. На десять узлов сваренных с ис ованием способа пишь один имел де-в виде неполного провара.

Смотреть

Заявка

3345759, 06.10.1981

ЧЕРНИГОВСКИЙ ФИЛИАЛ КИЕВСКОГО ПОЛИТЕХНИЧЕСКОГО ИНСТИТУТА, ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1891

ХОМЕНКО НИКОЛАЙ НИКОЛАЕВИЧ, МАТВЕЕВ АЛЬБЕРТ КОНСТАНТИНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: C03C 27/02

Метки: кремния, соединения, стеклом

Опубликовано: 15.07.1983

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1028619-sposob-soedineniya-kremniya-so-steklom.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ соединения кремния со стеклом</a>

Похожие патенты