Устройство управления установкой электролитического травления

О П И С А Н И Е нц 526624ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистицеских Республик(23) ПриоритетОпубликовано 15.1Дата опубликован осударственный коми Совета Министров СС оо делам изобретенийи открытий УДК 621.382(088,8)(71) Заявит 54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ УСТАНОВКО ЭЛЕКТРОЛИТИЧ ЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯи ско ости изготовления з тва являютзамедлять стадии для параметров 25 й травления а проводимовления загоо устроис щественно конечной контролясть условир- и п-тип сть изгото атками данбходимостьтравления нния точности; неодинакоов заготовкиснижает точ-типа,настоящего ог Недо ст ся: нео процесс обеспече заготовк кристалл сти, что товок р Цельюиво бретения является по Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов.Известно устройство для управления установкой электролитического травления полупроводниковых материалов, содержащее полу проводниковую заготовку, источники измерительного тока и тока травления, схемы сравнения и коммутации 1.Недостатком данного устройства является прерывание технологического процесса трав ления на время измерения параметров заготовки.Известно устройство для электролитического травления, в котором данный недостаток в значительной мере устранен 2, Известное 15 устройство содержит полупроводниковую заготовку, источники тока, источник напряжения, соединенный с одним входом усилителя, сигнализатор, коммутатор, диод и катод, через который поступает электролит. 20 вышение точности р аготовок.Поставленная цель достигается тем, что в предлагаемое устройство введен операционный усилитель, между входом и выходом которого включена полупроводниковая заготовка, вход операционного усилителя соединен с источником эталонного тока, а его выход - с сигнализатором и вторым входом усилителя, выход которого через диод соединен с катодом и источником тока,На чертеже показана схема устройства управлення установкой электролитического травления. Оно содержит операционный усилитель 1, первьш источник тока 2, сигнализатор 3, источник напряжения 4, усилитель - ограничитель 5, диод 6, второй источник тока (травления) 7, коммутатор 8, катод 9 с центральным отверстием 10, через которое поступает электролит 11. В устройство загружается заготовка полупроводникового прибора, содержащая кристалл 12 и электрод 13. Поверхность кристалла 12 в начале травления имеет форму 14, изображенную сплошной линией, а в конце травления - форму 15, изображенную штриховой линией.Устройство работает следующим образом.После загрузки заготовки сигнализатор 3 выключается, включая ток травления коммутатором 8 и ток первого источника тока 2, Наг,76024 Заказ 2280/16 Изд.813 Тираж 995 Подписное Типография, пр, Сапунова 2 участке цепи обратной связи операционного усилителя 1, состоящем из электрода 13 и входа операционного усилителя 1, устанавливается ток, равный алгебраической сумме тока травления, протекающего по цепи: вход операционного усилителя 1, электрод 13, кристалл 12, катод 9, а также выходного тока операционного усилителя 1, протекающего по цепи обратной связи операционного усилителя 1, состоящей из кристалла 12, электрода 13, входа операционного усилителя 1. Указанная выше алгебраическая сумма токов поддерживается операционным усилителем 1 равной току первого источника тока 2, который выбирается равным пиковому току изготавливаемого из заготовки туннельного диода.В процессе травления электролит поступает через центральное отверстие 10 катода 9, достигает поверхности кристалла 12 и отводится по внешней поверхности катода 9. В начале травления кристалл 12 имеет форму 14, изображенную сплошной линией в конце травления - форму 15, изображенную штриховой линией (для наглядности размеры электродов 10 и области травления преувеличены).Когда пиковый ток заготовки из-за изменения конфигурации кристалла 12 снижается до величины, равной току первого источника тока 2, на заготовке, а следовательно и на выходе операционного усилителя 1, происходит скачкообразное увеличение напряжения. При этом включается сигнализатор 3, который, воздействуя на коммутатор 8, размыкает цепь тока травления, а также выключает ток эта лонного источника тока 2. Формула изобретенияУстройство для управления установкойэлектролитического травления, содержащее 10 полупроводниковую заготовку, источники тока, источник напряжения, соединенный с одним входом усилителя, сигнализатор, коммутатор, диод и катод, через который поступает электролит, отл ич а ющееся тем, что, с целью повышения точности и скорости изготовления заготовок, в устройство введен операционный усилитель, между входом и выходом которого включена полупроводниковая заготовка, вход операционного усилителя сое динен с первым источником тока, а его выход - с сигнализатором и вторым входом усилителя, выход которого через диод соединен с катодом и вторым источником тока. 25 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР М. 327422,кл. 6 01 Р 31126, 20.05.70,2. Авторское свидетельство СССР Мо 503190,30 кл, 6 010 31/26, 22.06.73 (прототип),