Способ изготовления микрофильтров
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 574044
Авторы: Барашенков, Третьяков, Флеров, Щеголев
Текст
ГОСУДМфСТВЕННЫЙ КОМИТЕТии ииииииииииии и ВпаааюПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЭО К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛ(71) Объедннеынай институт ядерныхисследований(56) Патент США У 3335278,кл. 250-83.1, опублик. 1963.Патент США У 3303085, кл. 16опублик. 1962. Изобретение относится к использованию ионизирукщих излучений в технологии,Известна способы ения мик"рофильтров.Блккайшим техническим решением является известный способ изготовлениямикрофипьтров, заключающийся в том,что полимерную пленку облучвют пучком тяиелых ионов и производят трав"ление, в результате чего в ппенке образуются жкроканапы.В известном техническом решениииспользуют осколки деления атомныхядер и тяыелые иона, полученные насоответствующем ускорителеИспользование осколков деленияатомных ядер обусловливает образование неоднородных по диаметру жкрокаиалов, а кроме того, невозмоано использовать пленки с толщиной, большейчем пробег осколков деления. 2Г 54) (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЖКРОФИЛЬТРОВ, заключающийся в том, что полимерную пленку облучают пучком тяжелых ионов и производят травление, о т - л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения качества жкро 4 нльтров, пучок тяхелых ионов направляют под непрерывно изменякщимся в заданном интервапе углом к поверхности ппенки. В случае использования пучка тя- :келйх ионовполученного на ускорителе, укаэанные недостатки частично ус" 3 траыяются, однако существует значительная вероятность перекрывания жк" . роканапов, образованвых в результате падения иа один и тот ае участок ,. лпенки нескольких частиц, что приводит такые к неоднородности ппощади сечения.микроканапов, ухудшакщей качество жкро 4 ильтров. ь иэобретвыия заключается вчтобы повысить качество жкроов. Поставленная цель достигается тем, что пучок тяаелых ионов ыаправляют под непрерывно нзменянщимся в заданном иытервале углом к поверхности , ппенки.Способ .реапиэуют следукщим обре зом.,Заказ 269 Тираж 261 Подписно еВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прн ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент"; г.ужгород, ул, Гагарина,101 Полимерную ппенку иэ лавсана, по-. ликарбоната и других полимеров, регистрирукщих заряженные частицы, об-, лучают пучком ионов с определенной энергией при непрерывном изменении в заданном интервале угла падения пуч-ка на поверхность пленки, Материал облучаемой пленки, ее толщину и тип ионов выбирают .таким образом, чтобы удельные потери энергии выбранного типа ионов при прохождении через полимер превышали величину критических потерь энергии данного типа ионов в выбранном материале. После облучения полимерная ппенка травится в выбранном травителе, который удапяет деструктированный вдоль трека материал.При этом образуются сквозные цилиндрические микроканапы с существенно од.нородным диаметром ( Е) по всей длине канала. Непрерывное изменение угла падения позволяет устранить перекрытие каналов, а выбор. углового интервала углов падения " более эффективно использовать ускоритель тяжелых ионов.
СмотретьЗаявка
2054365, 15.08.1974
ОБЪЕДИНЕННЫЙ ИНСТИТУТ ЯДЕРНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ
ФЛЕРОВ Г. Н, БАРАШЕНКОВ В. С, ТРЕТЬЯКОВ С. П, ЩЕГОЛЕВ В. А
МПК / Метки
МПК: G21H 5/00
Метки: микрофильтров
Опубликовано: 15.02.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-574044-sposob-izgotovleniya-mikrofiltrov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления микрофильтров</a>
Предыдущий патент: Устройство для записи и считывания голограмм
Следующий патент: 3-нитро-4-аминофенил-2-(алкоксикарбонил)-фенил-метаноны как исходные продукты в синтезе антигельминтного препарата фталбендазола
Случайный патент: Способ фиксации цезия