Способ химического травления пленок хрома

Номер патента: 571939

Авторы: Бухтенко, Обичкин, Тянгинский

ZIP архив

Текст

(71) Заявит оск овский авиационный технологический им. К., Э, ЦиолковскогоБ ХИМИЧЕСКОГО ГРЛВЛЕЕНОК ХРОМА 54) и м е р. 2. Пл 000 А, испол травливают за нки луома толщинойьзуемые для фотошаб- З.4 сек. и з обрвтв ни я особ химического равления пленок хромируют методом фот подогретой соляной добавкой, о т л иф что, с целью интенвления, повышенияхрома, в соляную помещают металле. чающийс ем ифика очнос процесса т исунка пле 3Изобретение относится к технологии изготовления Микросхем, в частности к процесЬам создания рисунка микросхем метоаьщфотолитографии,Известен способ травления пленок хрома,в котором для активации процесса травленияпленок хрома в растворе серной кислоты с добавками фосфорной кислоты осуществляют контакт металлического стержня из металлов второй и третьей групп с пленкой хрома Я .Недостатком этого способа является воользование серной кислоты, в которой позитивные фоторезистооы разрушаются,Известен также способ химическоготравпения ппенок, хрома, рисунок которых формируютметодомфотопитографии врастворе, содержащем с опяную кисп оту и добавки, с испопьзованием метаппического активатора 2.Недостаток такого способа заключается .в недостаточно высокой интенсификации процесса травления и недостаточно высокой точности рисунка пленки хрома.По предлагаемому способу, с целью интенсификации процесса травления и повышения точности рисунка пленки хрома, в соля нуюкиспоту предваритепьно помещают метаппический хром, который присутствует в растворе и течение всего процесса травления,Изобретение иллюстрируется примерами,П р и мр 1 Пняни лрола . Огсйимой250-300 А, служащие в качестве подсчоядля пленок меди стравливают в указанномрастворе за 2-3 сек. Подтравпиванне ппенокмеди толщиной 5-6 мк не превышает 1 О 15 мкм"Л ре1500-2 а, рисунок которых фор литографии, в растворе аслоты с активирующей д кислоту предваритель571939 Состави пель В, ЛякишевТехред И. Гоксич Корректор П. Макаревич Редактор 8. Фельдман Заказ 3292 41 Тираж 1003 Подписнее ОНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб, д,14/бФилиал ППП фПатентф, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 3ческий хром, который; присутствует в .растворе в течение всего процесса травления. Источники информации, прииитые во Янимание при експертиае 1. Патент СССР, кл, В 41 С 1/16,Ж 319124, заявл. в 1968 г.2 Авторское свидетельство СССР,кп. С 23 Р 1/00, М 366227, заявп.10 еОба 7 1

Смотреть

Заявка

2336031, 23.03.1976

МОСКОВСКИЙ АВИАЦИОННЫЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМЕНИ К. Э. ЦИОЛКОВСКОГО

ТЯНГИНСКИЙ АЛЕКСАНДР ЮРЬЕВИЧ, ОБИЧКИН ЮРИЙ ГЕННАДЬЕВИЧ, БУХТЕНКО ЮРИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H05K 3/00

Метки: пленок, травления, химического, хрома

Опубликовано: 05.09.1977

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-571939-sposob-khimicheskogo-travleniya-plenok-khroma.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ химического травления пленок хрома</a>

Похожие патенты