Устройство для перемещений объекта
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОП ИСАЙИ 6 ИЗОБРЕТЕНИЯ п 11 ээ 70867 Союэ Советских Социалистических Республик(51) М. Клб 03 В 71 1) 2183442121 яв кп о Государственный комитет Совета Министров СССР 53) УДК 621.396.6,00.5(088,8) 51 оллстспь Л"е 321 исаппя 20.10.77 Опубликовано 30.08,7 Дата опубликования по делам изобретений и открытий(54 Бий О.". в впдс шаровых эсмснтов, устанозлспных на плоском основании.1-1 а фпг, 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг, 2 - вид по стрелке А на фиг. 1.Устройство для перемещений объекта, преимущественно в установках для изготовления микроэлектронных изделий, содержит координатный стол 1, обхвачснный кольцевой направляющсй 2 и установленный на трех шаровых опорах 3, которые опираются на плоскос оспозание 4. Кольцевая направляющая 2 связана с элементом 5 направляющего механизма посредством шарнира 6. Направляющий механизм служит для перемещения стола 1 в горизонтальной плоскости. Угловой поворот прсществляется с кольцсвИспользование трехных с предметным стоможность персмещатьсвиях горизонтальной пта предметного столикющая 2 снабжена шарДля устранения нспповерхностями Б и В врепа регулировка полопо высоте с последующния. Изобретение относится к прецизионным устройствам координатных перемещений в горизонтальной плоскости с угловым поворотом для точной установки объекта и может применяться при производстве полупроводни ковых и микроэлектронных приборов.Извсстен микроманипулятор, содержащий координатный стол, выполненный из двух частей, одна из которых установлена на шариковых опорах с возможностью перемещения 1 О во взаимно перпендикулярных направлениях горизонтальной плоскости 11.Однако в таком координатном столе отсутствует нспосредствснная передача необходимых движений объекту, установленному на 1,; предметном столике, что приводит к нсплоскостности при перемещениях объекта и делает конструкцию относительно сложной. Цель изобретения - обеспечение минимальной неплоскостности при линсйных и угловых перемещениях объскта. Это достигается тем, что устройство для перемещений объекта, преимущественно в установках для изготовления микроэлектронных изделий, выполненное в виде установленного на опорах координатного стола с возможностью перемещения его в горизонтальной плоскости, снабжено кольцевой направляющей, обхватывающей координатный стол, д опоры выполнены дмстного столика осуой направляющей 2. шаровых опор, связан- ликом, дает ему возя в любых направлелоскости. Для повороа кольцевая направляпсами в сепараторе. араллельности между устройстве предусмотженпя шаровых опор ей фиксацией положе570867 Вид А иг. г.2 Составитель Н. Блинковаедактор Е. Караулова Техред И, Карандашова Аук ректо Тираж 585Совета Министров ССй и открытийшская наб., д. 4/5 Изд. Ю 715 Государственного комитет по делам изобрете 113035, Москва, Ж, Раписное 2084 13 ипография, пр. Сапунов Формула изобретения Устройство для перемещений объекта, преимущественно в установках для изготовления микроэлектронных изделий, выполненное в виде установленного на опорах координатного стола с возможностью перемещения его в горизонтальной плоскости, о т л и ч а ю щ е еся тем, что, с целью обеспечения минимальной неплоскостности при линейных и угловых перемещениях объекта, оно снабжено кольцевой направляющей, обхватывающей координатный стол, а опоры выполнены в виде шаровых элементов, установленных на плоском 5 основании. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР315152,10 кл. 6 ОЗВ 7/12, 21.09.71.
СмотретьЗаявка
2183442, 13.10.1975
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8495
БЕРБАСОВ ВЛАДИМИР ВАСИЛЬЕВИЧ, СТРЕМЕНОВ ИГОРЬ АЛЕКСЕЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: G03B 7/12
Метки: объекта, перемещений
Опубликовано: 30.08.1977
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-570867-ustrojjstvo-dlya-peremeshhenijj-obekta.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для перемещений объекта</a>
Предыдущий патент: Зеркально-линзовый объектив
Следующий патент: Шторный затвор с независимым движением шторок
Случайный патент: Шаблон для раскладки проводов в жгут