Способ изготовления сетчатых металлических трафаретов

Вфесоюзттввв еатаетио техчтз 4 атф т евт11 Ц 706 Союз Советских Социалистических РеспубпикК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1) Дополнительное к авт. св 1) 2120610/ 51) М С 251.т 1/12 22) Заявле явкиисоединением осурарственный комитет овета Министров СССР 23) Приоритет(088.8) юллетень32 публиковано 30.08,7 по денем изооретеии и открытий(71) Заявитель 54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕТЧАТ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ТРАФАРЕТОВ микрон дру 5 Изобретение относится к технологии изготовления печатных форм для трафаретнойпечати (трафаретов), применяемых вэлектронике, радиотехнике, полиграфиигих областях техники.Известен способ изготовления сетчатых металлических трафаретов, включающий формирование на временной подложке металлической основы из металла, нерастворимого приэлектрофорезе, например электролитического 10никеля, с отверстиями по заданному рисунку,соединение металлической основы с металлической сеткой и удаление временной подложки 1,Цель изобретения - повышение тиражестойкости и разрешающей способности.Это достигается тем, что по предлагаемомуспособу изготовления сетчатых металлическихтрафаретов перед соединением металлическойсетки с металлической основой на нее наносятподслой металла, растворимого при электрофорезе, например меди, подтравливают его побоковым поверхностям для вскрытия участков металлической основы по краям заданного рисунка, а соединение металлической сеткис металлической основой производят латексом, который осакдают методом электрофореза из карбоксилсодержащего латекса с рабочей концентрацией сухого остаточка 5 - 20 вес. % при постоянном напряжении 100 в 2 В в течение 1 - 5 сек.П р и м е р, На титановую подложку толщиной 0,4 мм гальваническим путем осаждают никель из электролита состава, г/л:Сернокислый натрий б 0 Сернокислый никель 200 Сернокислый магний 45 Борная кислота 25 Хлористый натрий 7 при 20 - 25 С и катодной плотности тока 1 а/дм, толщиной 8 мкм. На слой никеля гальваническим путем наносят подслой меди толщиной 4 мкм из раствора состава, г/л:Борфтористоводородная медь 240 Борная свободная кислота 1 б Борфтористоводородная свободная кислота 10 при 20 - 25 С и катодной плотности тока 2,5 а/дм. После этого на медной поверхности заготовки методом фотолитографии получают защитный рисунок нужной топологии из фоторезиста марки ФПи по нему в растворе хлорного железа плотностью 1,34 г/л при 50 С химически травят слои меди и никеля до обнажения поверхности титана. Затем электрохимически в растворе хромового ангидрида концентрации 300 г/л при 20 - 25 С и анодной плотности тока 1 а/дм н течениеКорректор Л. Брахнина Редактор Е, Караулова Подписное Заказ 1977/17 Изд. М 720 Тираж 6 НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 13035, Москва, К, Раугпская наб., д, 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 1 мпн подтравливают подслой меди. Фоторезист удаляют при помощи ацетона.Заготовку плотно прижимают к натянутой на рамку сетке стороной с медным подслоем и погружают в карбоксилсодержащий акриловый латекс с глицидильными функциональными группами с содержанием сухого остатка 10 вес. %.В качестве катода применяют пластину из нержавеющей стали несколько большего, чем титановая подложка, размера. Процесс электрофореза ведут при постоянном напряжении 160 В в течение 3 сек без перемешивания. После этого трафарет подсушивают в инфракрасном свете прп 120 С в течение 5 мин. Затем осторожно отделяют титановую подложку от трафаретобразующего слоя и проводят окончательную сушку в термошкафупри 120 С в течение 40 мин. Формула изобретенияСпособ изготовления сетчатых металлических трафаретов, включающий формирование на временной подложке металлической основы из металла, нерастворимого при электрофорезе, например электролитического никеля, с отверстиями по заданному рисунку, соединение металлической основы с металлической 5 сеткой и удаление временной подложки, отл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения тпражестойкости и разрешающей способности, перед соединением металлической сетки с металлической основной на нее наносят под слой металла, растворимого при электрофорезе, например меди, подтравливают его по боковым поверхностям для вскрытия участков металлической основы по краям заданного рисунка, а соединение металлической сетки с 15 металлической основной производят латексом,который осаждают методом электрофореза из карбоксилсодержащего латекса с рабочей концентрацией сухого остатка 5 - 20 вес. % при постоянном напряжении 100 - 200 В в те чение 1 - 5 сек.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Патент СИ 1 А3772160, кл. 204 - 11,193.