Состав для химического травления алюминия

О П И С А Н И Е 1 ц) 565 О 53ИЗОБРЕТЕН И Я Сев Свветвац Свааавнвтнчевввн рвсвубанк(23) Приоритет цааретвенный квмнтет вета Мнкнстров СССРчв аеаэм нзвбретеннй 31) %РС 231/167104 (33) ГДР43) Опубликовано 15,07.77. Бюллетень М 2 45) Дата опубликования описания 20.10.77 153 621,7(088 и втврытнй(ГДР) Иностранное предприятие еФЭБ Фотохемише Верке Берланг Баумбах оль 1) Заявител 54) СОСТАВ ДЛЯ ХИМИЧЕСК АЛЮМИНИЯРАВЛЕН ИЯ или цикород, алки, атомы углерода, сыщенной темы, а в ри следупонентов,1 - 25 1 - 331 - 255 - 0,005тальцое юмн амц соешей или плексныетехнн- обеспсц цитроИзобретение относится к технологии изготовления металлических структур из алюминия, в частности, с помощью изготовленныхфотолитографическим способом масок.Известен состав для химического травления, преимущественно селектцвного, содержащий соединение с щелочной реакцией, цианокомплексную соль трехвалентного железаи растворитель.Однако данный состав имеет недостаточно 10стабильную химическую активность,С целью стабилизации химической активности за счет его саморегецерацци предлагаемый состав для химического травления алюминия дополнительно содержит тцосульфат 15цар я и смачцвающее средство, в,качествециацокомплексной соли трехвалентцого железа использованы железосцнеродцстый калий цлн ццтропруссид натрия, в качестве соединения с щелочной реакцией использованы 20концентрцрованцый водный раствор аммиаканли амин, содержащий 1 6 атомов углерода,общей формулы где К, - алкильный, гидроксильныйлоалкильный остаток, Ке и К, - водкильные или циклоалкильные остаткислорода и углерода или атомынеобходимые для образования наили ненасыщенной циклической сискачестве растворителя берут воду пющем содержании исходных комвес, %;Концентрированный водныйраствор аммиакаилцАминЦианокомнлексная сольтрехвалентного железа 0,00Тиосульфат натрия 0,00Смачивающее средство 0,000Растворитель Ос Состав для химического травлени ция выбирают следующим образом.Для травления алюминия раствор дццеций е щелочной реакцией в бол меньшей степени пригодны все ком соли трехвалецтцого железа. Одна к чески приемлемые скорости реакци чцвают железоеицеродистый калий и црееид цатрця.Корректор Л. Брахннна Редактор Т. Янова Подписное Заказ 2724/9 Изд.637 Тираж 850 НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобр.теиий и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская нао л. 4/5Типография, пр. Сапупона, 2 На скорость и чистоту травления в таких растворах благоприятно влияет наличие слабой восстановительной среды, особенно тиосульфата натрия.Для создания и поддержания необходимого для процесса травления значения рН вышеуказанных растворов хорошо пригодны, помимо соединений с щелочной реакцией, аммиак или амин, содержащий 1 - 6 атомов углерода, Последние хорошо защищают полученные фотолитографическим путем маски, не ухудшая при этом процесса травления.Составленные таким образом травильные растворы легко регенерируются 2 - 3 раза без опорожнения травлений ванны путем измерения известным способом окислнтельно-восстановительного потенциала и рН и доведения содержания израсходованных компонентов до нужного уровня, при этом обеспечивается быстрое, равномерное и чистое травление без сильного затрагивания боковых поверхностей травимых деталей. Формула изобретс нняСостав для химического травления алюминия, преимущественно селективного, содержащий соединение с щелочной реакцией, цианокомплексную соль трехвалентного железа и растворитель, отличающийся тем, что, с целью стабилизации химической активност 1 за счет его саморегснерации, он дополнительно содержит тиосульфат натрия и смачивающее средство, в качестве цианокомплексной соли трехвалентного железа нгполь. зованы железосинсродистый калий или нитропруссид натрия, в качестве соединения с щелочной реакцией использованы концентрированный водный раствор аммиака или амин, 5 содержащий 1- -6 атомов углерода, общейформулы где К, - алкильный, гидроксильный или циклоалкилвный остаток,Й 2 и Йз - водород, алкильные или цикло 15 алкпльные остатки, атомы кислорода и углерода или атомы углерода, необходимые дляобразования насыщенной или ненасыщеннойциклической системы, а в качестве .растворителя берут воду при следующем содержании20 исходных компонентов, вес. %:Концентрированныйводный раствораммиака 1 - 25ЕЕЛ ЕЕАмин 2 - 70Цианокомплексная сольтрехвалентного железа 0,001 вТиосульфат натрия 0,001 - 25Смачивающее средство 0,0005 - О;00530 Растворитель ОстальноеИсточники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент ГДР % 75001, кл. 48 И 1/00,1971.