Способ изготовления датчиков импульсной мощности свч
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(56)элект2 1. Денис ВРоны Виль "Приборы, 1970, Р 3,и ДРюс, 19техникс, 182 о ячиес, 245сперимототип 8(п ГОСУДДРСТВЕНКцй КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОЧНРЫТИЙ(21) 2313337/26 (22) 06,01,76 (46) 23.06.83, (72) С.П. Кальв чене, А.П. Верс Ю.К. Пожела, К,чяускас (71) Институт ф ков АН Литовско (53) 621.382(08(54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКОВ ИМПУЛСНОИ МО(НОСТИ СВЧ, путемвплавления.металлического сплавав приконтактную область кремниевойпластины электронного типа проводимости, о т л и ч а ю ц и й с ятем, что, с целью уменьшения зависимости показаний датчиков от температуры окружаюшей среды, в приконтактную область пластины вводятсеребро, например, диффузией, затемповерхность пластины травят в сме"си 33 НГ и 67 НБО, после чегов область пластины,.содержаШую серебро, вплавляют сплав,: Бп 65,РЬ 34 и Бь 1,557698 Корректор В Макаренко Редактор Л,Письм Техред М. Костик ФТираж 703 ПодписноеВНИИПИ Государственного комйтета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Заказ 6482/2 филиал ППП "Патент", г. ужгород, ул, Проектная, 4 Изобретение Относится к техноло-гии изготовления полупроводниковых приборов, вчастности датчиков мощности СВЧ.Известен способ изготовления датчиков импульсной мощности путем вплавления сплава иэ различных металлов в полупроводниковые пластины 1,Показания изготовленных этим способом датчиков импульсной мощности 10 в большой степени зависят от температуры окружающей среды.Известен также способ изготовления датчиков импульсной мощности СВЧ путем вплавления металлического сплава в приконтактную область кремниевой пластины электронного типа проводимости 2 .Недостатком изготовленных этим способом датчиков импульсной мощности СВЧ является изменение их показаний в интервале температур Т = - -(50-60 ОС) до 6. Это обьясняется тем, что контакт к кремниевой пластине создается вплавлением сплавазолота с примесью сурьмы, а диффузия примеси с глубокими уровнями в запрещенной зоне ведется из спла- .ва. Для получения необходимой концентрации примеси типа золота в кремниевой пластине сплав золото - сурьма необходимо нагревать до высоких температур, при которых происходит частичное испарение атомов сурьмы иэ сплава, и в результате состав , сплава в процессе изготовления датчика становится переменным и концентрация атомов сурьмы в нем - неконтро-. лируемой.Целью изобретения является уменьшение зависимости показаний датчиков от температуры окружающей среды.Цель достигается тем, что в при." контактную область пластины вводят серебро, например, дйффузией, затем поверхность пластины травят в смеси кислот НУ 33 и НМО 67, после чего в область пластины, содержащую серебро, вплавляют сплав,:Яп 65:, РЪ 34 и БЪ 1. ФП р и м е р. Полупроводниковыйчувствительный элемент выполнен измонокристалла кремния электронноготипа проводимости с удельным сопротивлением 200 Ом см при комнатнойтемпературе. На приконтактную область элемента наносят вакуумнымиспарением слой серебра 0,6 мк, затем .элемент прогревают в течение7 ч при 1200 цС в парах аргона, В результате этого в приконтактную область вводится глубокая примесь серебра концентрацией 5,0 10" см .Затем следует обработка в травителеи, наконец, при 750 дС вплавляютконтакты, содержащие,: Зп 65,РЬ 34, БЬ 1.Датчики импульсной мощности СВЧ,изготовленные предложенным способом,работают более стабильно, чем известные. Их показывания в .интервалетемператур Т = - 60-60 фС) незначительно зависят от температуры окружающей среды,
СмотретьЗаявка
2313337, 06.01.1976
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ АН ЛИТССР
КАЛЬВЕНАС С. П, ЮСКЕВИЧЕНЕ М. М, ВЕРСОЦКАС А. П, ГАВУТИС В. А, ПОЖЕЛА Ю. К, РЕПШАС К. К, ГЕЧЯУСКАС С. И
МПК / Метки
МПК: H01L 21/22
Метки: датчиков, импульсной, мощности, свч
Опубликовано: 23.06.1983
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-557698-sposob-izgotovleniya-datchikov-impulsnojj-moshhnosti-svch.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления датчиков импульсной мощности свч</a>
Устройство для измерения мощности импульсного свч генератора
Номер патента: 1166003
Опубликовано: 07.07.1985
МПК: G01R 21/06
Метки: генератора, импульсного, мощности, свч
...работает 20 следующим образом.При воздействии на полупроводниковый образец 1, расположенный в отрезке волновода 2, .включенного в измерительный мост 3, импульс СВЧ- мощ Фэсти сопротивления полупроводникового образца 1 изменяетсяИзмерительный мост 3 питается через одну из диагоналей от генератора 4 импульсов. Таким образом, появление сигнала в цепи другой диагонали измерительного .моста 3 возможно только в момент воздействия импульса от импульсов генератора 4. При отсутствии импульса СВЧ-мощности измерительный мост 3 сбалансирован и сигнала на его выходе нет. СВЧ-импульс, если он совпадает по времени с импульсом от генератора 4 импульсов, разбалансирует схему измерительного моста 3 40 и во второй его диагонали появится сигнал,...
Способ измерения импульсной свч-мощности
Номер патента: 274833
Опубликовано: 01.01.1970
Авторы: Антонец, Михайловский, Шакирз
МПК: G01R 21/01
Метки: импульсной, свч-мощности
...образца с намотанной на него катушкой, помещаемого в тракт измеряемой мотцностп в постоянном магнитном поле Нд, величину последнего подбирают из условия возбуждения в феррите дополнительного феного резонанса.Следует отметить, что в режиметельного резонанса ферритовый обра5 модействует с СВЧ-полем гораздочем в режиме основного резонанствие чего колебания в низкочастоттуре возникают при значительномощностях.0 Предлагаемый способ позволяетмощность порядка нескольких сотени пригоден для измерения широкосигналов, поскольку ширина дополнрезонанса во много раз больше ш5 новного резонанса. Как и все ферритовые безынерционные (нетепловые) датчики, так и датчик, реализующий предлагаемый способ, позволяет прп на личин стробирования измерять...
Устройство для автоматического измерения импульсной свч мощности
Номер патента: 1838794
Опубликовано: 30.08.1993
Автор: Трегер
МПК: G01R 29/10
Метки: импульсной, мощности, свч
...создают условия для обеспечения другими схемными методами постоянства коэффициента детектирования Кд в широком диа пэзоне температур в рабочем диапазоне . амплитуд СВЧ-сигналов.Коэффициент детектирования определяется соотношениемОвых= 35Кд = -Огп свчОвых - выходное напряжение усилителя интегратора, являющееся мерой входной СВЧ-мощности Рвх СВЧТаким образогл, из (9), (7),(6) 40 Овых=Кд ОгпСВЧрп=Кд Кпер ОгпвхСВЧ= КХ Кхх ХхХ РвхСНЧххххвхс (1 - 1 Г )= Кпр Ъ РвхСВЧ Кпр=Кд Кпер 2 Явхс (1 - 1 г )2 45Кпр РезУльтиРУющий коэффициент преобразования входной СВЧ-мощности РвхСВЧ В ВЫХОДНОЕ НаПряжЕНИЕ ПОСтаяННОГО токд ОвыхИз (10) и (11) слеДУет, что только оДновременное обеспечение постоянства Кд. Кпер и минимизация ( г (1 г 1-н О) обеспечивают...
Измеритель пиковой мощности импульсных сигналов свч
Номер патента: 1429046
Опубликовано: 07.10.1988
Авторы: Кисляковский, Лобас, Топчиев
МПК: G01R 21/04
Метки: измеритель, импульсных, мощности, пиковой, свч, сигналов
...покрыта поглощающим материалом (не показан). После поляризующей решетки 4 линия передачи соединена с индикатором 5 опорного уровня.Электромагниты 11 магнитной системы 12 расположены взаимно перпендикулярно, Линия 1 передачи помещена в магнитную систему 12 напротив диэлектрического цилиндра 2 с гидро- магнитными резонаторами 8. Электро" магниты 11 питаются от источника питания устройства, в которое входит измеритель пиковой мощности сигналов СВЧ.Устройство работает следующим,образом.На вход линии 1 передачи поступает СВЧ-сигнал, который, проходя поляризующую решетку 3, приобретает строго фиксированную плоскость поля-. ризации (совпадает с плоскостью чертежа). Гидромагнитные резонаторы 8 помещены в постоянное магнитное поле, создаваемое...
Измеритель импульсной мощности свч
Номер патента: 859940
Опубликовано: 30.08.1981
Автор: Мыльников
МПК: G01R 21/04
Метки: измеритель, импульсной, мощности, свч
...мощности СВЧ 10работает следующим образом,Перед измерением производят калибровку ваттметра, для чего выключатель5 устанавливают в выключенное положение и на вход инерционного приемного 15преобразователя 1 подают периодические радиоимпульсы СВЧ, Пилообраэнь:еимпульсы с приемного преобразователяпосле усиления поступают через сумматор 6 на вход импульсного вольтметра 208, Блоком 2 отсчета средней мощностиизмеряют среднюю мощность периодических радиоимпульсов Р Р, с помощьюсрчастотомера 7 определяют период повторения импульсов Т, а импульсным 25вольтметром 8 измеряют амплитуду пилообразного напряжения, которая пропорциональна энергии радиоимпульсаСр 30Для измерения импульсной мощности выключатель 5 переводят во включенное положение На...
Предыдущий патент: Трековая камера
Следующий патент: Рабочая среда для передачи давления
Случайный патент: Способ определения текущей пожарной опасности леса