Способ травления многослойных контактов

и Щ. гг .Ю РЯРЯбф 1 ЯДЯ й О П И-б% ЙИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Респуолии(45) Дата опубликования описания 15.09.77(51) Ч.Кл. Н 05 К 306 Государственный комитет Совета Министров СССР ло делам изобретенийи открытий(54) СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЪХ КОНТАКТОВдят до насыщения соль металла резистивного слоя,Контактные слои травят раздельно, вво.дя в каждый травитель ингибитор. Так, притравлении двойного никель-медного контактного слоя сначала травят слой никеля, чтобыобнажить медь. Это необходимо для того,чтобы по исчезновению на втором этапе травления цвета розовой меди можно было контролировать окончание процесса травленияи визуально не допустить перегрева. Достигается эта цель тем, что при травлении данным спосооом многослойных контактов, преимущественно при изготовлении методом фотолитографии тонкопленочных тен зорезисторов малогабаритных датчиков физических величин, включающем последовательное травление в селективных травителях контактного, а затем резистивного слоев, при травлении контактного слоя в травитель вво- -0 Изобретение относится к измерительной технике, может быть использовано при из.готовлении тонкопленочных малогабаритных датчиков физических величин повышенной точности. 5Известен способ травления многослойных контактов, преимущественно при изготовлении методом фотолитографии тонкопленочных тензорезисторов малогабаритных датчиков физических величин, включающий после довательное травление в селективных травителях контактного, а затем резистивного слоев 11.Однако при этом способе для получения рисунка очередного слоя приходится обраба тывать подложку травильным раствором.Цель изобретения - предотвращение подтрава нижележащего резистивного слоя и получение воспроизводимых результатов по номиналу,20 В травитель для никеля в качестве ингибитора вводят бихромат аммония (или калия) или сернокислую медь до насыщения. Бихромат создает на меди пассивную пленку, которая замедляет ее растворение при снятии слоя никеля. Насыщение травильного раствора сернокислой медью должно препятствовать новому поступлению ионов меди из напыленного слоя. Таким образом, и то, и лругое вещество играет роль ингибитора для меди. Оставшийся контактный слой меди травят в растворе с добавлением в качестве пнгибитора 5 - 15 г/л урогропина при комнатной температуре. Все это дает возможность избежать подтрава резистивного слоя и получить воспроизводимые номиналы.П р и м е р. В качестве многослойного контактного слоя были взяты никель и медь.553764 Формула изобретения Составитель О. Богомолов Текред В, Рыбакова Корректор И. Симкина Редактор Б. Федотов Заказ 527/1413 Изд. М 85 Тираж 1069 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Тип. Харьк, фил. пред. Патент Резистивными слоями были нихром 20 ХН 75 Ю и РС.Цвета верхнего слоя никеля и данных резистивных сплавов очень близки, и,визуальный контроль за окончанием процесса травления затруднен. Послойное травление никеля и меди позволяет судить об окончании процесса, Никель травили в растворе следующего состава (объемн. ч.):Фосфорная кислота 3 Азотная кислота 1 с добавлением до насыщения бихромата калия (аммония) или сернокислой меди при комнатной температуре в течение 5-;10 сек, Открывалась поверхность розовой меди, которую после промывки в деионизованной воде травили в растворе надсернокислого аммония 50 в 1 г/л с добавлением в качестве ингибитора 5 - 15 г/л уротропина при комнатной температуре в течение 1 - 1,5 мин.Об окончании процесса можно судить по исчезновению розовой окраски меди. Способ травления многослойных контактов, преимущественно при изготовлении ме тодом фотолитографии тонкопленочных тензорезисторов малогабаритных датчиков физических величин, включающий последовательное травление в селективных травптелях контактного, а затем резистивного слоев, о т личающийся тем, что, с целью предотвращения подтрава нижележащего резистивного слоя и получения воспроизводимых результатов по номиналу, при травлении контактного слоя в травитель вводят до насыще ния соль металла резистивного слоя. Источник информации, принятый во внимание при экспертизе: 20 1 Патент США3649392, кл. 15 б, 14.03,73.