Интерферометрическое сканирующее устройство

Сотоа Советскик Социалистических Реслуалик(61) Лоцолццтельцос авт. стц -,-Пг - (21) 217052112 151) .1.Ь;,1, 6 О 1 1 3 06 аявлецо 18,0 с присоединением заявки осударсгаеннык комите(43) Опубликовано ета Министров СС делам изобретени 5,02.77. 1 тюл.степь ЛЪ 5 5,5) УДК 530.8 дч.03.7 2) Авторы изобретеш рхипо аценк2 Изобретение относится к техцическои фцзцкс, в частности к интерференциоштым приборам, предназначенным для сканирования спектра при спектральном анализе оптического излучения.Известно интерферометрическое сканирующее устройство, используемое в Фурье-спектромстре типа ИТ, содержащее светоделитель, неподвижцое и подвижное зеркало, привод подвижного зеркала, винтовую пару, состоящую из винта и гайки, подвижное зеркало установлено ца гайке, привод соедицен с винтом 1.Сканирующее устройство в ИТ, обеспечтгвая большие величины изменеш 1 я разности ход, цмсст невысокую скорость скаццроватшя, обусловливая низкую производительность Фурье-спектрометра.Ближайшим к предлагаемому устройству цо технической сущности является ицтсрферометрцческос сканирующее устройство, использованное в Фурье-спсктрометре модели ЕТ 5- 14 фирмы Это 11 Ь. Оцо содержит зеркало ицтерферометра со средством для его перемещения вдоль направления светового луча, выполненным в ви;1 е поплавка, соединенного с приводом и размещенного внутри неподвижной детали - статора, и источник сжатого газа 2.Такое сканирующее устройство обеспсчивает большие величвы изменения разцостхода при высоких скоростях сканирования,Недостатками этого сканирующего устрой ства является то, что сжатый газ подводитсяк поплавкт е 1 тез гиокий шгтацг, которыЙ прикладывает дополнительное переменное усилие к поплавку ц затрудняет его перемещение, создавая наклоны зеркала и ухудшая ста- О бцльцость скорости сканирования, сложнаяконструкция поплавка и трудности прц полу сниц трсоусмой точности его изготовления и обеспечения чистоты рабочих поверхностей конструкции. 1 хромс того, прц перемещении 5 поплавка гибкий шланг непрерывно деформируется ц может выйти цз строя, приводя Фурье-спсктрометр к потере работоспособности, . - .тц недостатки п 1 тцводят к понижению тоНости сканц 1)овация, надежности раооты 20 и уменьПсцшо контрастности 1 штсрферснццоццой картццы, а следовательно, к понижению спектрального разрешения Фурье-спектроаст 1)а, цадсжцост 1 1:-.го работы и точности измеряемого спектра.25 Цель изобретения - повышение точностисканирования ц надежности устройства в табо гс.Для этого в предлагаемом устройстве статор иыполцсц полым, его внутренняя стенка3 ЗО Ооращецная к поплавку, сцаб;1 сепа Отвсрстня 545876ми наддува, а полость статора соединена систочником сжатого газа.На чертеже изображена функциональнаясхема пнтерфсрометрического сканирующегоустройства,Устройство содержит светодслитель , неподвижное 2 и подвижюе 3 зеркала, подвижную деталь - поплавок 4, привод 5 подвижного зеркала, например, электродинамического типа, пеггодвижнуго деталь - статор 6, цилиндрическую полость 7 в корпусе статора,источник Я сжатого газа, шланг 9, отверстиянаддува 70.Ицтсрфсрометрическое сканируОщее устройство работает следующим образом.При включении прибора сжатый газ отисточника 8 через шланг 9 подается в цилиндрическую полость 7 статора б, Из полости через отверстия наддува О сжатый газ поступает в зазор между статором и поплавкоми создаст в зазоре рабочее давлешс ,около2 ат,г), под действием которого поплавок 4оказывается во взвешенном состоянии и способным без трения перемещаться вдоль статора под действием привода 5, обеспечиваяравномерное перемещение подвц 7 кного зеркала 3, что сопровождается сканированием оптического пзггу ения, которое прп поступлении ца свстоделительразделяется цм надва потока, направляемых ца неподвижное 2и подвижное 3 зеркало. Перемещением подвижного зеркала обеспечивается изменениеразности хода между спектральными состявлягощими обоих потоков. Отраженные от зеркал потоки рекомбицируют светоделитслем исоздают в месте наблюдения псремепну:о ицтерферепциоцную картину - результат группировапия спектральньгх составляющих потока по разности ходя, что является целью ряботы интер ферометрического сканирующего устройства,Данное интерферометрическое сканирующее устройство по сравнению с известными 5 устройствами обладает более высоким быстродействием и большей величиной изменения разности ходя, что позволяет обеспечить высокую производительность и спектральное разрешение Фурье-спектрометров, Зффектив 1 О ность устройства ооеспечивается также меньшим весом подвижной части - поплавка, что приводит к меньшему расходованию энергии привода подвижного зеркала, вследствие исключения дополнительного усилия, создавае мого гибким шлангом при движении.Формула изобретенияИцтерферометрическое сканирующее уст ройство, содержащее зеркало ицтерферометрасо средством для его перемещения вдоль направления свстового луча, выполненным в виде поплавка, соедппецно;о с приводом и размещенного внутри неподвижной дстал и - 25 статора, и источник сжатого газа, отл и ч а ющ е с с я тем, что, с це.ью повышения точности скаппровгишя и надежности его в работе, статор выполнен полым, его иутренняя стенкя, Ооращецга 5 и поглагку, ссбыся Овср - ЗО стиями наддува, а полость статора соединенас источником сжатого газа.Источники информации, принятые во внимание при экспсртпзс изобретения:351, 1 хиссггев С. Х, Пунисцц Ю. Д. Фурьесггскрозстр, О"ЪП, 1960, М 8, с, 33 - 37.2. Описгние Фурье-спсктрометра моделиГТЬфирмы 1)гоаЬ, 1970 - прототип.