Стекло для защиты полупроводниковых приборов

Номер патента: 543625

Авторы: Афанасьев, Коптев, Любимов, Марин, Хохлов, Шевченко

ZIP архив

Текст

Ьоеоокэзнан атентно-техничеон.;, о ,., тс;нР -/. ОП ИСАЙКЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик) ополнительиое к авт. свид 22) Заявленос присоединени23) Приоритет 7.07.75 (21)м заявки52080/ М, Кл,гС 03 С 3/10 Государственныи комитет Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий. Афанасьев, К. Г. Марин, В, К. Любимов, А. И. Хохл Б. И. Шевченко и Е. А. Коптев 71) Заявите 54) СТЕКЛО ДЛЯ ЗАЩИТЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ) нахоцитсг не обеспечив свойств и привв ка ирующего слоя данного в пределах (6.10) 10 т необходимых стабили дит к дрейфу параметров стекла (Й 1/см, чт зирующих прибора.Целью туры онл стабилизации и за боров и интегральн В микроэлектрстекла на основе Рактивных элементо изобретения явля авлениг стекла и п х свойств. стигаетсг тем, чт указанные и игре х, вес.%: РЬОется снижение темпер идание стеклу стаб лизирующи Это д одержит количествовышенно актеризуютсгходимой адгези о легкоплавкое стекло диенты в следующих и и согласо расширенияв указанных циентом термическогх материалов. Но ют стекла, имеющие 65 8одновремен(примерно е стабилизи.Ог гОз ературу оплавлени этим обладающие ами значений пар риборов.ли эким к- 10- 3 тров п ООО 2 изобретению является Ог, ВгОз, ТОг, Сс 10,В таблиих свойств стекло 2 пО 3Темп кл ючающее ература о высокая (нанесения нзистора. че ской устойчиврвому гидролитиых в таблице указанного стекла доучитывая необходи.еночную структуру ациг заряда в поверханзистора при нанесеилавлен10-520 воеи хи сти в воде стекческому классу. характеристик указанных стео стекла. Кроме ла относятся к п ольно Из приведен видно, что темпер кол более низкая его наКонце нтр мос тура оплавлени чем у известно состояниях МДЛ-тр 1,21.Эти стеклавлагостойко стью,ванием с коэффиполупроводниковсоставах отсутствно низкую темп400 С) и нарядуРующими свойствпров одников ых пНаиболее б ситсг к составам легкоплав мых в микроэлектронике длг ты полупроводнтковых присхем.нике известны легкоплавкие 810 г, Вг Оз длг герметизатпти полупроводниковых приборов аны конкретные составы стекол,0 мула и зо бре те ни 10 оО 1 - 4 ПО 2 - 4 Стекло для за оров включающее ЕпО, отличающ ния температуры о табилизирующих св нгредиенты в следу щиты полупроводни РЬО Я 10 г, ВгО е с я тем, что, с ковыхТОг при- СОО, иже- еклу внимание целью сн плавленияойств, о данияжит указ 1619 одер ества ные 3 х коли,ве 541,РЪО 65 - 76 510 ъ 8 - 14 Ь,О, 6-10 8544 Буровце орректор С. Болди мьяно Подписное ета Министров СССРомитета С етений и о 5, Раушск по делам иго13035, Москва, Ж 1 ти наб д 4/5 илиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 того, значение концентрации заряда в поверхностных состояниях указывает на возможность получения полупроводниковых приборов со стабильными параметрами.Таким образом, применение этих стекол при герметизации полупроводниковых приборов позволяет снизить температуру процесса оплавления присмерно на 100 С, а следовательно, использовать их в стандартной технологии МДП-транзисторов с алюминием в качестве проводящего слоя,Кроме того, стандартная технология МДП-транзисторов предусматривает стабилизацию параметров прибора путем дополнительного осаждения сиСоставительактор Л. Народная Техред А. ликата свинца или фосфорно-силикатного стекла, обеспечивающих неподвижность ионов щелочных металлов, ионов водорода и других заряженных примесей.Использование же герметизирующего стекла данного состава позволяет исключить из общей технологии изготовления полупроводниковых приборов операцию по нанесению стабилизирующего слоя.В качестве исходного сырья используются окислы указанных элементов со спектральной чистотой по отношению к щелочным и щелочно-земельным Источники информации, принятые впри экспертизе:1. Авторское свидетельство СССМ.Кл. С ОЗ С 3/10, 1971 г.2, Авторское свидетельство СССРМ.Кл. СОЗ С 3/10,19771 г,3, Авторское свидетельство СССРМ.Кл.г С 03 С 3/10, 1966 г. прототип.

Смотреть

Заявка

2152080, 07.07.1975

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5476

АФАНАСЬЕВ ВАДИМ ЯКОВЛЕВИЧ, МАРИН КОНСТАНТИН ГАВРИЛОВИЧ, ЛЮБИМОВ ВИКТОР КОНСТАНТИНОВИЧ, ХОХЛОВ АНАТОЛИЙ ИЛЬИЧ, ШЕВЧЕНКО БОРИС ИВАНОВИЧ, КОПТЕВ ЕВГЕНИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: C03C 3/10

Метки: защиты, полупроводниковых, приборов, стекло

Опубликовано: 25.01.1977

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-543625-steklo-dlya-zashhity-poluprovodnikovykh-priborov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Стекло для защиты полупроводниковых приборов</a>

Похожие патенты