Устройство для окисления полых цилиндрических катодов в тлеющем разряде

н 1 543039 Ьаа Советских Социалистических Республик(51) М. Кл, Н 013 3/38С 23 С 13/О 22) Заявлено 29.05.74 (21) 2031638/2 присоединением заявки осударствеиныи комитет 23) Приорите Совета Чикист убликовано 15,01.77 та опубликования о) УДК 621,382(088 юллетеньо делам иаооретеиий и открытий(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОКИСЛЕНИНДРИЧЕСКИХ КАТОДОВ В ТЛЕЮ Л ЪХ РАЗРЯД катодеркаапуска оиств являетсавномернойолого цилинд невозкисной 1 ческо 21 ляетсявойст ерхноИзобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам для окисления полых цилиндрических катодов в тлеющем разряде.Известны устройства для окисления дов, содержащие вакуумную камеру, тель катода, системы для откачки и т газа.Недостатком этих устря мож ность получения р о пленки на поверхности п ри го катода.Известно также устройство для окисления полых цилиндрических катодов в тлеющем разряде, содержащее вакуумную камеру, анод, катод-обрабатываемое изделие, держатсль катода, системы для откачки и напуска газа, в котором анод расположен вне полости катода.Недостатком указанного устройства является расположение анода вне полости холодного катода, приводящее к неоднородности окисной пленки.Целью настоящего изобретения яв получение равномерной по толщине и с вам окисной пленки на внутренней пов сти катода.Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве анод расположен коаксиально внутри катода и равноудален от его поверхности,а держатель катода имеет центр альное о г. верстие с диаметром, равным диаметру внутренней полости катода, и боковые отверстия, расположенные по окружности центрального отверстия, причем держатель катода выполнен из материала катода,На чертеже показано предлагаемое устройство, разрез.Устройство состоит нз вакуумного колпака 1, соединенного с основанием 2 через уплотнение, держателя 3, установленного на нем катода 4, подлежащего обработке, и анода 5, расположенного коакспально внутри катода 4,Для ограничения рабочей зоны внутреннюю полость 6 катода 4 снизу закрывают изолятором 7.Держатель 3 катода имеет центральное отверстие 8, диаметр которого равен диаметру внутренней полости 6 катода 4. Для наполнения внутренней полости 6 окисляющей газовой средой держатель 3 катода имеет боковые отверстия 9, расположенные по окружности центрального отверстия 8. Соотношение диаметра и длины боковых отверстий 9 выбирают такими, чтобы исключить проникновение разряда через них на внешнюю поверхность катода 4.Элементы конструкции, находящиеся ниже изолятора 7, имеют дополнительную изоляцию 10. Для уменьшения неравномерности по543039 Составитель Е, ГрафольскийТекрсд Л. Каменская Корректор Л, Денискина Шуби РедакторЗаказ 37/1 1019Министровий.,д,4(5 Тиражта Совета 1 и открмт ушская на одписное Изд,107ПИ Государственного компт по делам пзобретепи 113035, Москва, )К, Ра Типография, пр. Сапунова, 2 толщине и свойствам окиспой пленки па границе катода 4 держатель 3 катода вымолпеп из материала катода и имеет одинаковый с ним внутренний диаметр.Вакуумный колпак 1 имеет отверстия для подсоединения к системам для откачки и напуска газа.Устройство работает следующим образом.Катод 4 устанавливают в держатель 3, надевают вакуумный колпак 1 и осуществляют откачку до давления порядка 1 10 -мм рт. ст. Затем производят напуск окисляющей среды в камеру до давления 1 - 3 мм рт, ст, и зажигают разряд, В процессе окисления поддерживается постоянный ток разряда.Предлагаемое устройство обеспечивает получение равномерной по толщине к свойствам окисной пленки на внутренней поверхности катода. Формула изобретения 1. Устройство для окисления полых цилиндрических катодов в тлеющем разряде, содер жащее вакуумную камеру, анод, катод-обрабатываемое изделие, держатель катода, системы для откачки и напуска газа, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью получения равномерной по толщине и свойствам окисной плен ки на внутренней поверхности катода, анодрасположен коаксиально внутри катода и равноудален от его поверхности, а держатель катода имеет центральное отверстие с диаметром, р авным диаметру внутренней полости 15 катода, и боковые отверстия, расположенныепо окружности центрального отверстия.2. Устройство по п. 1, отличающеесятем, что держатель катода выполнен из материала катода.