Способ исследования микроструктуры тонких образцов

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советскик Социалистические Республик) Заявлено 120 П 5 (21) 2106361 д 6 51) М. Кл й 23/04 с присоединением зая23) Приоритет43) Опубликовано 15045) Дата опубликован цмервтееееые еаветатавета Ыееевтрав ееаРв деева еваврвтеееее атврытее УДХ 621. 386.8ковский ордена Трудового Красного Знамен:инженерно-физический институт аявит 54) СПОСОБ ИССЛЕДОВАНИЯ МИКРОСТРУКТУТОНКИХ ОБРАЗЦОВ получения мягкого учения, заключаю- а мишень направляют используют мягкоеучение лазерной плаз" ентге" аэцов, ец про излумик озца ные Изобретение относится К абсорбцион ной микрорентгенографии.Известен способ микрорентгенографии, заключающийся в том, что тонкий образец просвечивают рентгеновским излучением и получают изображение микроструктуры.Кроме того, известно, что использованиемягйого рентгеновского,излучения увеличивает контрастность получаемых изображений.Известен способрентгеновского иэлщийся в том, что низлучение лазера ирентгеновское иэл Известен способ получения р новских изображений тонких обр заключающийся в том, что образ свечивают мягким рентгеновским чением и получают изображение р структуры.Недостатком этого способа являются значительные выдержки, необходимые Чля получения иэображения.Цель изобретения - сокращение времени получения изображений микрострук туры тонких образцов. Цель достигается тем, что на вспомогательную мишень направляют излучение лазера, энергия которого достаточна для образования лазерной плазмы,и просвечивают образец мягким рентгеновским излучением лазерной плазмы.Для получения качестненного иэображения достаточно одного-двух импуль,сов лазера, длительность которых составляет от одной до десяткон наносекунд, с интервалом между импульсами от долей секунды до десятков секунд.П р и м е р, Образец просвечивают мягким рентгеновским излучением лазерной плазмы, формируют рентгеновское изображение образца на детекторе, чувст нительном к мягкому рентгеновскому излучению, выявляют с помощью этого иэображения места расположения примесей в образце и анализируют эти примеси масс-спектрометрическим способом с ионизацией пробы лазерным излучением,Как известно, при взаимодействии с поверхностью мишени лазерного иэлучеи ния с плотностью потока более 10 Вт/см возникаетлазерная плазма, которая испускает мягкое рентгеновское излучение (длины волны от 2 до 50 А).При просвечивании обра рентгеновским издучением раэлич части534983 Формула изобретения Составитель К.Кононов Техред Н.Бабурка Редактор П.Горькова КорректорВ.Сердюк Заказ 3192/47 Тираж 1112 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП Патент, г, Ужгород, ул, Проектная, 4 образца по-разному поглощают это излучение, и на детекторе, расположен:ном за образцом, возникает рентгеновское изображение структуры образца. Мягкое рентгеновское излучение поглощается веществом сильнее, чем жесткоерентгеновское иэлучейие (длина волныменьше 2 А). Поэтому при использовании мягкого рентгеновского излучениявозможно получение гораздо болееконтрастного изображения структурытонких образцов (толщиной от долеймикрона до нескольких миллиметров),чем при использовании жесткого рентгеновского излучения, Регулируяспектр падающего на образец мягкого )5рентгенонского излучения, можно получить рентгеновское изображение образца на детекторе, которое, будет сост"ветствовать распределению какой-тоопределенной примеси либо группы 20примесей по площади образца. Обнаруженные примеси подвергаются количественному элементному анализу массспектрометрическим способом с лазерной иониэацией пробы. 25 Использование мягкого рентгеновско" го излучения позволяет производить исследование распределения примесей н любых образцах (как в диэлектричес О ких, так и металлических). Лазернаяплазма представляет собой мощный импульсный источник мягкого рентгеновского излучения, что позволяет получать контрастные изображения образца за один - дна импульса лазера. Необходимое для этого время значительно меньше времени, которое требуется для получения таких изображений с помощью известных источников мягкого рентгеновского излучения,йналнэ тонких образцов предложенным способом по сравнению с массспектрометриче"ким способом количественного анализа с лазерной иониэацией пробы может быть проведен в 3-4 раза быстрее и без снижения качества анализа. Удобстно объединения указанных способов заключается н воэможности использования одного лазера. Способ исследования микроструктуры тонких образцов, заключающийся в том, что образец проснечинают мягким рентгеновским излучением и получают изображение микроструктуры, о т л, ич а ю щ и й с я тем, что, с целью сокращения времени получения изображений на вспомогательную мишень напранляют излучение лазера, энергия которого достаточна для образования лазерной плазмы, и просвечивают образец мягким рентгеновским излучением лазерной ,плазмы.